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公開番号2025115521
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-07
出願番号2024010012
出願日2024-01-26
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人弁理士法人暁合同特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250731BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】パーティクル(欠落粒子)の発生が抑制された複数の凸部を含む板状部材を備えた保持装置の提供。
【解決手段】本発明の保持装置1は、基準面111を含む基部100と、基準面111から盛り上がった形をなす複数の凸部14とを有する板状部材10を備える保持装置1であって、凸部14は、中央側に配される開口部141と、開口部141の周囲に配される周壁部142とを含み、周壁部142の上面143は、基準面111側から平面視した際、切れ目のない環状面143、又は一部に切れ目を含む不連続な環状面143Aをなしている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
基準面を含む基部と、前記基準面から盛り上がった形をなす複数の凸部とを有する板状部材を備える保持装置であって、
前記凸部は、中央側に配される開口部と、前記開口部の周囲に配される周壁部とを含み、
前記周壁部の上面は、前記基準面側から平面視した際、切れ目のない環状面、又は一部に切れ目を含む不連続な環状面をなしている保持装置。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
前記周壁部は、前記基準面側から平面視した際、円環状をなし、
前記周壁部の前記上面は、切れ目のない円形の環状面をなしている請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
前記周壁部は、前記基準面側から平面視した際、１つ又は複数の切れ目を含む不連続な円環状をなし、
前記周壁部の前記上面は、１つ又は複数の切れ目を含む不連続な円形の環状面をなしている請求項１に記載の保持装置。
【請求項４】
前記基準面側から平面視した際、前記環状面の幅が、前記開口部の開口半径よりも大きい請求項１から請求項３の何れか一項に記載の保持装置。
【請求項５】
前記凸部の前記周壁部を、前記板状部材の厚み方向で切断して得られる断面を見た際、前記周壁部の前記上面は、上側に突出した凸状をなしている請求項１から請求項３の何れか一項に記載の保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体を製造する際にウエハ（半導体ウエハ）を保持する保持装置の一例として、静電チャックが挙げられる（特許文献１参照）。静電チャックは、絶縁性のセラミックス（例えば、アルミナ）を主体とした板状部材を備えており、その板状部材の表面上でウエハが静電引力により保持される。静電引力は、板状部材の内部に設けられたチャック電極に電圧が印加されることで、発生する。
【０００３】
なお、板状部材の表面には、特許文献１に示されるように、複数の凸部が設けられており、ウエハは、それらの凸部の上面に載せられる形で、板状部材で保持される。凸部は、平面視で円形状をなしている。このような複数の凸部を備えた板状部材は、例えば、板状のセラミックス部材をブラスト加工等することで得られる。この場合、板状のセラミックス部材における表面に複数の凸部が形成されるように、前記表面の所定箇所がブラスト加工される。その後、セラミックス部材の前記表面が研磨されることで、複数の凸部を備えた板状部材が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２２－１５８４９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したように、凸部の形成過程において、セラミックス部材の表面が研磨されると、凸部は丸みを帯びた形となる。そのため、ウエハが載せられる凸部の上面は、半球状（ドーム状）に盛り上がった形となる。また、凸部の形成時においては、凸部の上面が平坦形状だった場合にも、静電チャックが使用されているうちに、凸部の上面が、半球状（ドーム状）に盛り上がった形となる場合もある。ウエハが板状部材で保持される際、丸みを帯びた凸部の上面に、ウエハの板面が押し付けられるため、ウエハと凸部とは、互いに点接触のような形となる。つまり、丸みを帯びた凸部の上面には、ウエハを保持する際に、局所的に大きな力が加えられるため、凸部において、マイクロクラックが生じたり、ウエハと擦れたりして、凸部からパーティクル（欠落粒子）が発生する虞があった。このようなパーティクルが発生すると、静電チャックで保持される加工対象物（ウエハ）の歩留まりが低下する虞がある。
【０００６】
本発明の目的は、パーティクル（欠落粒子）の発生が抑制された複数の凸部を含む板状部材を備えた保持装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するための手段は、以下の通りである。即ち、
＜１＞基準面を含む基部と、前記基準面から盛り上がった形をなす複数の凸部とを有する板状部材を備える保持装置であって、前記凸部は、中央側に配される開口部と、前記開口部の周囲に配される周壁部とを含み、前記周壁部の上面は、前記基準面側から平面視した際、切れ目のない環状面、又は一部に切れ目を含む不連続な環状面をなしている保持装置。
【０００８】
＜２＞前記周壁部は、前記基準面側から平面視した際、円環状をなし、前記周壁部の前記上面は、切れ目のない円形の環状面をなしている前記＜１＞に記載の保持装置。
【０００９】
＜３＞前記周壁部は、前記基準面側から平面視した際、１つ又は複数の切れ目を含む不連続な円環状をなし、前記周壁部の前記上面は、１つ又は複数の切れ目を含む不連続な円形の環状面をなしている前記＜１＞に記載の保持装置。
【００１０】
＜４＞前記基準面側から平面視した際、前記環状面の幅が、前記開口部の開口半径よりも大きい前記＜１＞から＜３＞の何れか１つに記載の保持装置。
（【００１１】以降は省略されています）

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