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公開番号2025110010
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-28
出願番号2024003685
出願日2024-01-15
発明の名称保持部材
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人弁理士法人暁合同特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250718BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保持部材の冷却性能を向上させる。
【解決手段】本開示の保持部材は、第1表面S1、及び第1表面S1の反対側に位置する第2表面S2を有する絶縁性の板状部材10と、板状部材10の内部に形成され、熱伝導ガスが流れるガス流路90と、板状部材10の内部に形成される冷却電極70と、板状部材10の内部に形成され、一端が冷却電極70に接続される内部配線と、を有する保持部材であって、ガス流路90は、第1表面S1に対して略平行に延びた横流路部91Bを有し、冷却電極70は、横流路部91Bと第1表面S1との間に配され、内部配線の他端は、横流路部91B内に露出して配される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１表面、及び前記第１表面の反対側に位置する第２表面を有する絶縁性の板状部材と、前記板状部材の内部に形成され、熱伝導ガスが流れるガス流路と、前記板状部材の内部に形成される冷却電極と、前記板状部材の内部に形成され、一端が前記冷却電極に接続される内部配線と、を有する保持部材であって、
前記ガス流路は、前記第１表面に対して略平行に延びた横流路部を有し、
前記冷却電極は、前記横流路部と前記第１表面との間に配され、
前記内部配線の他端は、前記横流路部内に露出して配される、保持部材。
続きを表示（約 960 文字）【請求項２】
第１表面、及び前記第１表面の反対側に位置する第２表面を有する絶縁性の板状部材と、前記板状部材の内部に形成され、熱伝導ガスが流れるガス流路と、前記板状部材の内部に形成される冷却電極と、を有する保持部材であって、
前記ガス流路は、前記第２表面側に開口したガス流入口を含み、前記ガス流入口から前記第１表面側に延びた縦流路部と、前記縦流路部と接続し、前記第１表面に対して略平行に延びた横流路部と、を有し、
前記冷却電極は、前記横流路部と前記第２表面との間に配され、かつ前記縦流路部内に露出して配される、保持部材。
【請求項３】
第１表面、及び前記第１表面の反対側に位置する第２表面を有する絶縁性の板状部材と、前記板状部材の内部に形成され、熱伝導ガスが流れるガス流路と、前記板状部材の内部に形成される冷却電極と、を有する保持部材であって、
前記ガス流路は、前記第２表面側に開口したガス流入口を含み、前記ガス流入口から前記第１表面側に延びた縦流路部と、前記縦流路部と接続し、前記第１表面に対して略平行に延びた横流路部と、を有し、
前記冷却電極は、前記縦流路部と前記第１表面との間に配され、かつ前記横流路部内に露出して配される、保持部材。
【請求項４】
前記第１表面側から見て前記冷却電極は前記横流路部と重なる部分の面積よりも大きい平面電極である、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の保持部材。
【請求項５】
前記板状部材の前記第２表面側に配されるベース部材をさらに備え、
前記ベース部材の内部には、冷媒が流れる冷媒流路が形成されており、
前記冷却電極は、前記第１表面側から見て前記冷媒流路と重ならない位置に配されている、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の保持部材。
【請求項６】
前記横流路部は、前記第１表面側から見て前記保持部材における外周側に延びる第１横流路部と、前記第１横流路部から分岐してさらに前記第１横流路部よりも前記保持部材の外周側に延びる複数の第２横流路部と、を有しており、
前記内部配線の他端は、前記第２横流路部内に露出して配される、請求項１に記載の保持部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、保持部材に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
保持部材の一例として、下記特許文献１に記載の静電チャックが知られている。この静電チャックは、第１の面と第２の面とを有するプレートと、第１の面に近接してプレート内に埋め込まれた第１の電極と、第２の面に近接してプレート内に埋め込まれた第２の電極と、第１の電極を第２の電極に連結する複数の導電性要素と、プレート内で、かつ第１の電極と第２の電極との間に配置された第１のガスチャネルと、プレートの第２の面から第１のガスチャネルへ延在するガス注入口と、プレートの第１の面から第１のガスチャネルへ延在する複数のガス排出口とを含む。
【０００３】
基板やウェハ等のプラズマ処理を行う際には、プラズマ処理チャンバ等の内部に、プレートの第１の面が上面、第２の面が下面となる姿勢で静電チャックを配置し、第１の面上に基板等を保持させる。そして、プレートの下方に配される金属製の冷却板に高周波電力を印加し、プラズマを発生させるとともに、基板等にバイアス電圧を生じさせる。また、プレートの第１の面に保持された基板等の温度制御性を高めるため、ヘリウム等の熱伝導性ガスが、第２の面側からプレート内のガス流路を介して第１の面側に送られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開第２０２０／１８５３９５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、処理の高速化を図るため、処理時のプラズマのハイパワー化が進んでいる。ハイパワー化に伴い、ウェハが熱を帯びやすくなるため、保持部材によるウェハからの抜熱性能に関する要求レベルも上がっている。
【０００６】
本開示は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、保持部材の冷却性能を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の保持部材は、第１表面、及び前記第１表面の反対側に位置する第２表面を有する絶縁性の板状部材と、前記板状部材の内部に形成され、熱伝導ガスが流れるガス流路と、前記板状部材の内部に形成される冷却電極と、前記板状部材の内部に形成され、一端が前記冷却電極に接続される内部配線と、を有する保持部材であって、前記ガス流路は、前記第１表面に対して略平行に延びた横流路部を有し、前記冷却電極は、前記横流路部と前記第１表面との間に配され、前記内部配線の他端は、前記横流路部内に露出して配される、保持部材である。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、保持部材の冷却性能を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、実施形態１にかかる静電チャックの外観構成を模式的に表した斜視図である。
図２は、実施形態１にかかる静電チャックの内部構造を模式的に表した断面図である。
図３は、図２の一部を拡大した断面図である。
図４は、図２の冷却電極の配置を示す平面図である。
図５は、第１横流路部及び第２横流路部の配置を示す平面図である。
図６は、実施形態２にかかる静電チャックの内部構造を模式的に表した断面図であって、図３に対応する図である。
図７は、実施形態３にかかる静電チャックの内部構造を模式的に表した断面図であって、図３に対応する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施形態を列挙して説明する。
（１）本開示の保持部材は、第１表面、及び前記第１表面の反対側に位置する第２表面を有する絶縁性の板状部材と、前記板状部材の内部に形成され、熱伝導ガスが流れるガス流路と、前記板状部材の内部に形成される冷却電極と、前記板状部材の内部に形成され、一端が前記冷却電極に接続される内部配線と、を有する保持部材であって、前記ガス流路は、前記第１表面に対して略平行に延びた横流路部を有し、前記冷却電極は、前記横流路部と前記第１表面との間に配され、前記内部配線の他端は、前記横流路部内に露出して配される。
（【００１１】以降は省略されています）

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