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公開番号2025104979
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-10
出願番号2023223205
出願日2023-12-28
発明の名称ロール洗浄部材の支持機構、洗浄装置
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250703BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ロール洗浄部材の支持機構において、機構側に漏れ出る洗浄液を低減できる技術を提供する。
【解決手段】ロール洗浄部材の支持機構は、洗浄液供給配管が接続される配管接続口と、洗浄液を吐出する吐出口とを有するノズル体と、ロール洗浄部材と係合して前記ロール洗浄部材と共に回転するカバーと、前記ノズル体と前記カバーとの間に収容される軸受と、を備える。前記ノズル体と前記カバーの少なくとも一方には、前記ロール洗浄部材の回転軸線に対して半径方向に延びる逆流防止壁が設けられている。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
洗浄液供給配管が接続される配管接続口と、洗浄液を吐出する吐出口とを有するノズル体と、
ロール洗浄部材と係合して前記ロール洗浄部材と共に回転するカバーと、
前記ノズル体と前記カバーとの間に収容される軸受と、
を備え、
前記ノズル体と前記カバーの少なくとも一方には、前記ロール洗浄部材の回転軸線に対して半径方向に延びる逆流防止壁が設けられている、
ロール洗浄部材の支持機構。
続きを表示（約 580 文字）【請求項２】
前記カバーは、前記ノズル体の前記吐出口よりも前記ロール洗浄部材側に延伸する延伸部を有し、
前記逆流防止壁は、前記延伸部から前記半径方向内向きに延びるように設けられている、
請求項１に記載のロール洗浄部材の支持機構。
【請求項３】
前記回転軸線を含む断面で見たときに、前記吐出口の内周と前記逆流防止壁の先端との間の前記半径方向の隙間は、前記ノズル体の前記吐出口が形成された端面と前記逆流防止壁の側面との間の前記回転軸線方向の隙間より小さい、
請求項２に記載のロール洗浄部材の支持機構。
【請求項４】
前記ノズル体は、前記カバーよりも前記ロール洗浄部材側に延伸する延伸部を有し、前記吐出口は、前記延伸部の先端に形成されており、
前記逆流防止壁は、前記延伸部から前記半径方向外向きに延びるように設けられている、
請求項１に記載のロール洗浄部材の支持機構。
【請求項５】
前記ノズル体は、第２洗浄液供給配管が接続される第２配管接続口をさらに有する、
請求項１～４のいずれかに記載のロール洗浄部材の支持機構。
【請求項６】
ロール洗浄部材と、
請求項１～３のいずれかに記載のロール洗浄部材の支持機構と、
を備えた洗浄装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロール洗浄部材の支持機構、洗浄装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板の洗浄やロール洗浄部材の自己洗浄のためにロール洗浄部材の内部に洗浄液を供給することが知られており、そのためのロール洗浄部材の支持機構が特許文献１および特許文献２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第３８５３１３０号公報
特開２０２０－９６０８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
基板の洗浄やロール洗浄部材の自己洗浄の性能を向上するために、洗浄液の供給流量を増加させることが求められている。しかし、その際に、ロール洗浄部材の支持機構から吐出される洗浄液の一部がロール洗浄部材の内部に供給されず、機構側で漏れが発生してしまう問題がある。
【０００５】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたものである。本発明の目的は、機構側に漏れ出る洗浄液を低減できるロール洗浄部材の支持機構および洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様に係るロール洗浄部材の支持機構は、
洗浄液供給配管が接続される配管接続口と、洗浄液を吐出する吐出口とを有するノズル体と、
ロール洗浄部材と係合して前記ロール洗浄部材と共に回転するカバーと、
前記ノズル体と前記カバーとの間に収容される軸受と、
を備え、
前記ノズル体と前記カバーの少なくとも一方には、前記ロール洗浄部材の回転軸線に対して半径方向に延びる逆流防止壁が設けられている。
【０００７】
このような態様によれば、吐出口から吐出されてロール洗浄部材の内部の背圧により押し返される洗浄液の流れ（逆流）の進行方向に逆流防止壁があって流れが妨げられるため、機構側に漏れ出る洗浄液を減少できる。また、軸受で生じるパーティクルが逆流防止壁により妨げられるため、ロール洗浄部材の内部にパーティクルが混入することを防止できる。
【０００８】
本発明の第２の態様に係るロール洗浄部材の支持機構は、第１の態様に係るロール洗浄部材の支持機構であって、
前記カバーは、前記ノズル体の前記吐出口よりも前記ロール洗浄部材側に延伸する延伸部を有し、
前記逆流防止壁は、前記延伸部から前記半径方向内向きに延びるように設けられている。
【０００９】
このような態様によれば、カバーの剛性を向上できる。
【００１０】
本発明の第３の態様に係るロール洗浄部材の支持機構は、第２の態様に係るロール洗浄部材の支持機構であって、
前記回転軸線を含む断面で見たときに、前記吐出口の内周と前記逆流防止壁の先端との間の前記半径方向の隙間は、前記ノズル体の前記吐出口が形成された端面と前記逆流防止壁の側面との間の前記回転軸線方向の隙間より小さい。
（【００１１】以降は省略されています）

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