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公開番号2025099151
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-03
出願番号2023215584
出願日2023-12-21
発明の名称基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/02 20060101AFI20250626BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】処理終了時刻が変動する場合でも、処理後放置時間の制限値を守れなくなる状況を抑制又は防止することにある。
【解決手段】第1処理槽において複数の基板に対して実際に第1処理を実施して得た実測処理時間を使用して学習ネットワーク又は統計的計算方法により算出した正又は負のマージン時間を、レシピで設定された第1処理の処理時間に加算して搬送スケジュールを生成する。これに代えて又はこれに追加して、センサから取得する検出値から第1処理槽における1又は複数の処理の全ての処理が終了する処理終了見込時刻を推定し、処理終了見込時刻が、搬送スケジュールに設定された搬送開始予定時刻よりも遅れると判定した場合に、搬送開始予定時刻を処理終了見込時刻に修正し、修正後の前記搬送開始予定時刻に合わせて、搬送スケジュールの調整を実施しても良い。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板処理装置であって、
基板に対して処理を行う複数の処理槽と、
前記基板を搬送する搬送機と、
前記複数の処理槽の間で前記基板を搬送して処理する搬送スケジュールを作成し、前記搬送スケジュールに基づいて、前記搬送機による前記基板の搬送及び前記複数の処理槽での基板処理を制御する制御装置と、を備え、
前記複数の処理槽は、基板に対して第１処理を含む１又は複数の処理を実施する第１処理槽を含み、
前記制御装置は、前記第１処理槽において複数の基板に対して実際に前記第１処理を実施して得た実測処理時間を使用して学習ネットワーク又は統計的計算方法により算出した正又は負のマージン時間を、レシピで設定された第１処理の処理時間に加算して搬送スケジュールを生成する、基板処理装置。
続きを表示（約 2,400 文字）【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記マージン時間は、前記第１処理槽において実際に複数の基板に対して第１処理を実施したときの実測処理時間を含む測定値の統計的計算に基づいて、前記複数の基板のうち、標準偏差σの３倍である３σ値の範囲内の基板の実測処理時間が、前記レシピで設定された第１処理の処理時間に前記マージンを加算した時間を超えないように算出される、基板処理装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の基板処理装置において、
前記第１処理槽は、前記第１処理の進行度を検出するセンサを含み、
前記制御装置は、前記センサから取得する検出値から前記第１処理槽における前記１又は複数の処理の全ての処理が終了する処理終了見込時刻を推定し、前記処理終了見込時刻が、前記搬送スケジュールに設定された搬送開始予定時刻よりも遅れると判定した場合に、前記搬送開始予定時刻を前記処理終了見込時刻に修正し、前記搬送スケジュールの調整を行う、基板処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載の基板処理装置において、
前記制御装置は、前記搬送スケジュールから、前記処理終了見込時刻が前記搬送開始予定時刻よりも遅れると判定された前記基板の前記第１処理槽からの搬出以降の部分に対応する前記搬送スケジュールの第１部分と、上流側で当該基板の搬送の影響を受ける１又は複数の基板の未搬送部分に対応する前記搬送スケジュールの第２部分と、基板収容器内にある後続の未処理の１又は複数の基板に対する前記搬送スケジュールの第３部分とを、一旦、前記搬送スケジュールから取り除き、前記搬送開始予定時刻を前記処理終了見込時刻に修正し、修正後の前記搬送開始予定時刻に合わせて、前記第１から第３部分を前記搬送スケジュールに再挿入することで、前記搬送スケジュールの調整を行う、基板処理装置。
【請求項５】
請求項３に記載の基板処理装置において、
前記制御装置は、前記第１処理槽における前記１又は複数の処理の全てが終了した処理終了時刻以後に、前記処理終了時刻が、前記搬送開始予定時刻を経過していると判定した場合に、前記搬送開始予定時刻を前記処理終了時刻に所定の時間を加算した時刻に修正し、前記搬送スケジュールの調整を行う、基板処理装置。
【請求項６】
請求項５に記載の基板処理装置において、
前記制御装置は、前記搬送スケジュールから、前記処理終了時刻が前記搬送開始予定時刻を経過していると判定された前記基板の前記第１処理槽からの搬出以降の部分に対応する前記搬送スケジュールの第１部分と、上流側で当該基板の搬送の影響を受ける１又は複
数の基板の未搬送部分に対応する前記搬送スケジュールの第２部分と、基板収容器内にある後続の未処理の１又は複数の基板に対する前記搬送スケジュールの第３部分とを、一旦、前記搬送スケジュールから取り除き、前記搬送開始予定時刻を前記処理終了時刻に所定の時間を加算した時刻に修正し、修正後の前記搬送開始予定時刻に合わせて、前記第１から第３部分を前記搬送スケジュールに再挿入することで、前記搬送スケジュールの調整を行う、基板処理装置。
【請求項７】
請求項１又は２に記載の基板処理装置において、
前記制御装置は、グラフネットワーク方式のスケジューラ、シミュレーション方式のスケジューラ、又は機械学習方式のスケジューラを用いて、前記搬送スケジュールの生成を実施する、基板処理装置。
【請求項８】
請求項１又は２に記載の基板処理装置において、
前記第１処理はめっき処理であり、
前記第１又は複数の処理は、めっき処理のみ、又は、めっき処理とリンス処理とを含む、基板処理装置。
【請求項９】
基板処理装置であって、
基板に対して処理を行う複数の処理槽と、
前記基板を搬送する搬送機と、
前記複数の処理槽の間で前記基板を搬送して処理する搬送スケジュールを作成し、前記搬送スケジュールに基づいて、前記搬送機による前記基板の搬送及び前記複数の処理槽での基板処理を制御する制御装置と、を備え、
前記複数の処理槽は、基板に対して第１処理を含む１又は複数の処理を実施する第１処理槽であって前記第１処理の進行度を検出するセンサを有する前記第１処理槽を含み、
前記制御装置は、前記センサから取得する検出値から前記第１処理槽における前記１又は複数の処理の全ての処理が終了する処理終了見込時刻を推定し、前記処理終了見込時刻が、前記搬送スケジュールに設定された搬送開始予定時刻よりも遅れると判定した場合に、前記搬送開始予定時刻を前記処理終了見込時刻に修正し、修正後の前記搬送開始予定時刻に合わせて、前記搬送スケジュールの調整を行う、基板処理装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の基板処理装置において、
前記制御装置は、前記搬送スケジュールから、前記処理終了見込時刻が前記搬送開始予定時刻よりも遅れると判定された前記基板の前記第１処理槽からの搬出以降の部分に対応する前記搬送スケジュールの第１部分と、上流側で当該基板の搬送の影響を受ける１又は複数の基板の未搬送部分に対応する前記搬送スケジュールの第２部分と、基板収容器内にある後続の未処理の１又は複数の基板に対する前記搬送スケジュールの第３部分とを、一旦、前記搬送スケジュールから取り除き、前記搬送開始予定時刻を前記処理終了見込時刻に修正し、修正後の前記搬送開始予定時刻に合わせて、前記第１から第３部分を前記搬送スケジュールに再挿入することで、前記搬送スケジュールの調整を行う、基板処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置、基板処理装置の制御方法、基板処理装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納した記憶媒体に関する。
続きを表示（約 2,700 文字）【背景技術】
【０００２】
電解めっき装置において、めっき性能向上策の１つとして基板（例えば、ウエハ）毎のめっき膜厚のバラつきを低減させるため、めっき膜厚の計測値に基づいてめっき終了タイミングを調整することが必要になる可能性が出てきている。同じめっき設定電流でもモジュール毎の個体差、基板の個体差、薬液成分の違い等によってめっき成膜レートが異なるためである。
【０００３】
従来の搬送スケジューラでは予め指定されたレシピのめっき処理時間（レシピ設定時間）に基づいて基板搬送スケジュールを予め生成してから基板処理を行っていた。この仕様はめっき処理における実際の所要時間が変動しないことを前提としていた。しかし、実際の所要時間が変動した場合には、予め生成していた基板搬送スケジュール通りには搬送できなくなり、搬送の乱れによって、処理モジュールでの処理後放置時間（めっき処理後に搬出までにウエハがめっき液内に漬かっている時間）が制限値を守れなくなる可能性が出てくる。このような問題は、めっきに限らず、他の基板処理においても発生し得る。
【０００４】
従来の搬送スケジュールの調整方法として、例えば、特許文献１～３に記載されたような技術がある。特許文献１には、処理ユニットの処理終了時刻が検出されたときに、搬出までの残時間が再スケジュール所要時間以上の場合に、再スケジュールを実施する制御が記載されている。特許文献２には、半導体製造装置で直前に処理したロットの実測処理時間をデータタグ（レシピの配列）と対応付けて格納しておき、次に処理を予定するロットの処理時間を、格納された実測処理時間に基づいて予測することが記載されている。特許文献３には、再スケジュールで先ず仮スケジュールをブロックとして時間調整した上で、全体スケジュールを再作成することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２２－１８１３６８号公報
特開２０１１－０１８７３８号公報
特開２０２１‐３６５８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の搬送スケジュールの調整方法では、基板の実際の処理終了時刻がレシピ設定の処理終了時刻より遅れ、搬送の乱れによって、処理モジュールでの処理後放置時間（処理完了から搬出までに、基板が処理液内又は処理モジュール内に放置される時間）の制限値を守れなくなる状況については、考慮されていない。
【０００７】
本発明の目的は、上述した課題の少なくとも一部を解決することである。本発明の目的の１つは、処理終了時刻が変動する場合でも、処理後放置時間の制限値を守れなくなる状況を抑制又は防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面によれば、基板処理装置であって、基板に対して処理を行う複数の処
理槽と、前記基板を搬送する搬送機と、前記複数の処理槽の間で前記基板を搬送して処理する搬送スケジュールを作成し、前記搬送スケジュールに基づいて、前記搬送機による前記基板の搬送及び前記複数の処理槽での基板処理を制御する制御装置と、を備え、前記複数の処理槽は、基板に対して第１処理を含む１又は複数の処理を実施する第１処理槽を含み、前記制御装置は、前記第１処理槽において複数の基板に対して実際に前記第１処理を実施して得た実測処理時間を使用して学習ネットワーク又は統計的計算方法により算出した正又は負のマージン時間を、レシピで設定された第１処理の処理時間に加算して搬送スケジュールを生成する、基板処理装置が提供される。
【０００９】
本発明の一側面によれば、基板処理装置であって、基板に対して処理を行う複数の処理槽と、前記基板を搬送する搬送機と、前記複数の処理槽の間で前記基板を搬送して処理する搬送スケジュールを作成し、前記搬送スケジュールに基づいて、前記搬送機による前記基板の搬送及び前記複数の処理槽での基板処理を制御する制御装置と、を備え、前記複数の処理槽は、基板に対して第１処理を含む１又は複数の処理を実施する第１処理槽であって前記第１処理の進行度を検出するセンサを有する前記第１処理槽を含み、前記制御装置は、前記センサから取得する検出値から前記第１処理槽における前記１又は複数の処理の全ての処理が終了する処理終了見込時刻を推定し、前記処理終了見込時刻が、前記搬送スケジュールに設定された搬送開始予定時刻よりも遅れると判定した場合に、前記搬送開始予定時刻を前記処理終了見込時刻に修正し、前記搬送スケジュールの調整を行う、基板処理装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
一実施形態に係る基板処理装置の全体配置図である。
基板処理装置の制御構成を説明する説明図である。
基板処理装置の制御構成の更に詳細を説明する説明図である。
めっき槽における搬送スケジュールの例である。
めっき槽における搬送スケジュールの例である。
搬送スケジューリングの全体の処理を示すフローチャートである。
調整搬送スケジュールを生成する処理のフローチャートである。
対象基板のめっき槽取出以降の搬送スケジュール（第１部分）を全体搬送スケジュールに再挿入する処理のフローチャートである。
上流側で対象基板の影響を受ける未搬送部分の搬送スケジュール（第２部分）を全体搬送スケジュールに再挿入する処理のフローチャートである。
最初に生成した搬送スケジュールを表す搬送タイムテーブルである。
対象基板のめっき槽取出以降の搬送スケジュール（第１部分）、上流側で対象基板の影響を受ける未搬送部分の搬送スケジュール（第２部分）、後続未処理の基板の搬送スケジュール（第３部分）を取り除いた搬送スケジュールを表す搬送タイムテーブルである。
対象基板のめっき槽取出以降の搬送スケジュール（第１部分）を再挿入した搬送スケジュールを表す搬送タイムテーブルである。
上流側で対象基板の影響を受ける未搬送部分の搬送スケジュール（第２部分）を更に再挿入した搬送タイムスケジュールを表す搬送タイムテーブルである。
後続未処理の基板の搬送スケジュール（第３部分）を更に再挿入した搬送スケジュールを表す搬送タイムテーブルである。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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