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公開番号2025079078
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-21
出願番号2023191509
出願日2023-11-09
発明の名称レチクルケース及び半導体装置の製造方法
出願人三菱電機株式会社
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類G03F 1/66 20120101AFI20250514BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】レチクルケースとレチクルのパターン面との摩擦に伴う発塵を抑制する。
【解決手段】
レチクルケース101は、パターン面210と、平面視においてパターン面の外縁に接続されている複数の外側面211～214とを有するレチクル200を収容可能なレチクルケースである。レチクルケース101は、レチクルを出し入れするための開口部が前後方向の前側に形成されているケース本体1と、開口部を開閉する蓋2と、蓋の開閉に伴い前後方向に往復移動する移動部3Cと、複数の外側面の各々と接触可能な複数の支持部とを備える。複数の支持部は、左側面213と接触可能な左側接触面を有する左側支持部4Cを含む。レチクルケース101は、移動部3Cの往復移動に伴い、左側支持部4Cを左側接触面と交差する左右方向に往復移動させる第1リンク機構5Cをさらに備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
パターン面と、平面視において前記パターン面の外縁に接続されている複数の外側面とを有するレチクルを収容可能なレチクルケースであって、
前記レチクルを出し入れするための開口部が前後方向の前側に形成されているケース本体と、
前記開口部を開閉する蓋と、
前記蓋の開閉に伴い前記前後方向に往復移動する移動部と、
前記複数の外側面の各々と接触可能な複数の支持部とを備え、
前記複数の支持部は、前記複数の外側面のうち前記前後方向と交差する左右方向を向いている左側面又は右側面と接触可能な第１接触面を有する第１支持部を含み、
前記移動部の往復移動に伴い、前記第１支持部を前記第１接触面と交差する方向に往復移動させる第１リンク機構をさらに備える、レチクルケース。
続きを表示（約 3,500 文字）【請求項２】
前記第１リンク機構は、
前記移動部に接続されている第１アームと、
前記ケース本体に接続されており、上下方向に沿って延びる第１シャフトと、
前記第１シャフト周りに回転自在である第２アームと、
前記第２アームに対して前記第１アームを回動自在に接続する第１回転対偶とを有し、
前記第１支持部は、前記第１回転対偶に接続されており、
前記移動部の前記前後方向への往復移動に伴い、前記第２アームが前記第１アームに対して相対的に回動し、前記第１回転対偶及び前記第１支持部が前記前後方向と交差する左右方向に往復移動する、請求項１に記載のレチクルケース。
【請求項３】
前記移動部は、前記蓋に接続されている前端と、前記ケース本体に接続されている後端と、前記前後方向に弾性変形する第１弾性部とを有し、
前記第１弾性部は、前記移動部のうち前記第１アームに接続されている部分と前記後端との間に配置されている、請求項２に記載のレチクルケース。
【請求項４】
前記複数の支持部は、前記複数の外側面のうち前記前後方向の前側を向いている後側面と接触可能な第２接触面を有する第２支持部と、前記複数の外側面のうち前記前後方向の後側を向いている前側面と接触可能な第３接触面を有する第３支持部とを含み、
前記第３支持部は、前記蓋に接続されており、
前記第２支持部を前記ケース本体に対して前側に付勢可能である第２弾性部をさらに備える、請求項２又は３に記載のレチクルケース。
【請求項５】
前記複数の支持部は、前記複数の外側面のうち前記前後方向の前側を向いている後側面と接触可能な第２接触面を有する第２支持部を含み、
前記移動部の前記前後方向への往復移動に伴い、前記第２支持部を前記第２接触面と交差する方向に往復移動させる第２リンク機構をさらに備え、
前記第２リンク機構は、
前記ケース本体に接続されており、前記前後方向と交差する左右方向に沿って延びる第２シャフトと、
前記移動部に接続されており、前記第２シャフト周りに回転自在である第３アームとを有し、
前記第２支持部は、前記第３アームに接続されており、
前記移動部の前記前後方向への往復移動に伴い、前記第３アームが前記第２シャフト周りに回動し、前記第２支持部が前記前後方向に往復移動する、請求項２又は３に記載のレチクルケース。
【請求項６】
パターン面と、平面視において前記パターン面の外縁に接続されている複数の外側面とを有するレチクルを収容可能なレチクルケースであって、
前記レチクルを出し入れするための開口部が前後方向の前側に形成されているケース本体と、
前記開口部を開閉する蓋と、
前記蓋に接続されている前端と前記ケース本体に接続されている後端とを有し、前記蓋の開閉に伴い前記前後方向に往復移動する移動部と、
前記複数の外側面の各々と接触可能な複数の支持部とを備え、
前記複数の支持部は、前記複数の外側面のうち前記前後方向の前側を向いている後側面と接触可能な第２接触面を有する第２支持部を含み、
前記蓋の開閉に伴い、前記第２支持部を前記第２接触面と交差する方向に往復移動させる第２リンク機構をさらに備える、レチクルケース。
【請求項７】
パターン面と、平面視において前記パターン面の外縁に接続されている複数の外側面とを有するレチクルを収容可能なレチクルケースであって、
前記レチクルを出し入れするための開口部が前後方向の前側に形成されているケース本体と、
前記開口部を開閉する蓋と、
前記蓋に接続されている前端と前記ケース本体に接続されている後端とを有し、前記蓋の開閉に伴い前記前後方向に往復移動する移動部と、
前記複数の外側面の各々と接触可能な複数の支持部と、
前記移動部の前記前後方向への往復移動に伴って移動する第４アーム及び第５アームを有する第３リンク機構とを備え、
前記ケース本体は、前記レチクルが載置される台座を有し、
前記複数の支持部は、前記台座上に載置された前記レチクルの前記複数の外側面のうち前記前後方向と交差する左右方向を向いている左側面又は右側面と接触可能な第１接触面を有する第１支持部と、前記複数の外側面のうち前記前後方向の前側を向いている後側面と接触可能な第２接触面を有する第２支持部とを含み、
前記レチクルが前記台座上に載置されている第１状態において、前記第１接触面は前記左側面又は右側面に接触可能な第１の位置に配置され、前記第２接触面は前記後側面に接触可能な第３の位置に配置され、
前記レチクルが前記台座上に載置されていない第２状態において、前記第１接触面は前記第１状態に対して前記左右方向に後退している第２の位置に配置され、前記第２接触面は前記第１状態に対して前記前後方向に後退している第４の位置に配置され、
前記第３リンク機構は、前記移動部の往復移動に伴い、前記第１の位置から前記第２の位置への前記第１支持部の移動を前記第４アームが制限しかつ前記第３の位置から前記第４の位置への前記第２支持部の移動を前記第５アームが制限する第３状態と、前記第１の位置から前記第２の位置への前記第１支持部の移動を前記第４アームが制限不能でありかつ前記第３の位置から前記第４の位置への前記第２支持部の移動を前記第５アームが制限不能である第４状態とを切り替えるように設けられている、レチクルケース。
【請求項８】
前記第３リンク機構は、
前記ケース本体に接続されており、上下方向に沿って延びる第３シャフトと、
前記第３シャフト周りに回転自在である第６アームと、
前記第４アームに対して前記第６アームを回動自在に接続する第２回転対偶と、
前記第６アームに対して前記第５アームを回動自在に接続する第３回転対偶とをさらに有し、
前記第４アームは、前記移動部に接続されており、
前記移動部の前記前後方向への往復移動に伴い、前記第４アームが前記前後方向に往復移動し、前記第６アームが前記第３シャフト周りに回動し、前記第５アームが前記左右方向に往復移動し、前記第１支持部が前記第４アームに接続されておりかつ前記第２支持部が前記第５アームに接続されている前記第３状態と、前記第１支持部が前記第４アームに接続されておらずかつ前記第２支持部が前記第５アームに接続されていない前記第４状態とが切り替えられる、請求項７に記載のレチクルケース。
【請求項９】
前記第１支持部及び前記第２支持部の各々は、
前記平面視において前記台座の外縁よりも内側に位置する一端と、前記台座の外縁よりも外側に位置する他端とを有する下辺部と、
前記下辺部の前記他端に接続されている下端と、前記台座よりも上方に突出している上端と、前記第１接触面又は前記第２接触面とを有する上辺部と、
前記下辺部の前記一端に接続されており、前記第１状態において圧縮し前記第２状態において伸張する第３弾性部とを有する、請求項７又は８に記載のレチクルケース。
【請求項１０】
前記複数の支持部は、前記第１支持部よりも前側に配置されており、第３接触面を有する第３支持部をさらに含み、
前記第３接触面は、前記レチクルの前記複数の外側面のうち前記第１接触面が接触可能な前記レチクルの前記左側面又は右側面と接触可能であり、
前記第１状態において、前記第３接触面は前記左側面又は右側面に接触可能な第５の位置に配置され、前記第２状態において前記第３接触面が前記第１状態に対して後退している第６の位置に配置され、
前記移動部の前記前後方向への往復移動に伴って移動する第７アームを有する第４リンク機構をさらに備え、
前記第７アームは、前記第３状態において、前記第５の位置から前記第６の位置への前記第３支持部の移動を制限可能であり、前記第４状態において、前記第１の位置から前記第２の位置への前記第３支持部の移動を制限不能である、請求項７に記載のレチクルケース。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、レチクルケース及び半導体装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特開平７－１３６２５７号公報（特許文献１）には、レチクルにおいて転写パターンが形成されているパターン面と、それとは反対側に位置する裏面とを挟み込む１対のピンを備えるレチクルケースが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平７－１３６２５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記レチクルケースでは、レチクルがレチクルケース内を動くことを抑制することは困難である。レチクルが動いた場合、パターン面とピンとの摩擦が転写パターンに近い領域で発生し、摩擦により発塵した異物が転写パターンに影響を与えるおそれがある。
【０００５】
本開示では、レチクルケースとレチクルのパターン面との摩擦に伴う発塵を抑制するための技術が提案される。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一実施の形態のレチクルケースは、パターン面と、平面視においてパターン面の外縁に接続されている複数の外側面とを有するレチクルを収容可能なレチクルケースである。レチクルケースは、レチクルを出し入れするための開口部が前後方向の前側に形成されているケース本体と、開口部を開閉する蓋と、蓋の開閉に伴い前後方向に往復移動する移動部と、複数の外側面の各々と接触可能な複数の支持部とを備える。複数の支持部は、複数の外側面のうち前後方向と交差する左右方向を向いている左側面又は右側面と接触可能な第１接触面を有する第１支持部を含む。レチクルケースは、移動部の往復移動に伴い、第１支持部を第１接触面と交差する方向に往復移動させる第１リンク機構をさらに備える。
【発明の効果】
【０００７】
本開示に従うと、レチクルケースとレチクルのパターン面との摩擦に伴う発塵を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施の形態１に係るレチクルケース１０１の蓋が閉じられている状態を示す上面図である。
図２Ａは図１に示されるレチクルケース１０１の部分拡大上面図である。図２Ｂは、図２Ａに示されるレチクルケース１０１の部分拡大左側面図である。
レチクルケース１０１の蓋が開かれている状態を示す上面図である。
図４Ａは図３に示されるレチクルケース１０１の部分拡大上面図である。図４Ｂは、図４Ａに示されるレチクルケース１０１の部分拡大左側面図である。
図５Ａは図１及び図２に示されるレチクルケース１０１の第１支持部を示す部分拡大斜視図である。図５Ｂは、図３及び図４に示されるレチクルケース１０１の第１支持部を示す部分拡大斜視図である。
図６Ａは図１及び図２に示されるレチクルケース１０１の第２支持部を示す部分拡大斜視図である。図６Ｂは、図３及び図４に示されるレチクルケース１０１の第２支持部を示す部分拡大斜視図である。
図１～図６に示されるレチクルケース１０１を用いた半導体装置の製造方法一例のフローチャートである。
実施の形態１に係るレチクルケース１０１の変形例の蓋が閉じられている状態を示す上面図である。
図８に示されるレチクルケース１０１を用いた半導体装置の製造方法のフローチャートである。
実施の形態２に係るレチクルケース１０２の蓋が閉じられている状態を示す上面図である。
図１１Ａは図１０に示されるレチクルケース１０２の部分拡大上面図である。図１１Ｂは、図１１Ａに示されるレチクルケース１０２の部分拡大左側面図である。図１１Ｃは、図１１Ａに示されるレチクルケース１０２の部分拡大右側面図である。
レチクルケース１０２の蓋が開かれている状態を示す上面図である。
図１３Ａは図１２に示されるレチクルケース１０２の部分拡大上面図である。図１３Ｂは、図１３Ａに示されるレチクルケース１０２の部分拡大左側面図である。図１３Ｃは、図１３Ａに示されるレチクルケース１０２の部分拡大右側面図である。
実施の形態３に係るレチクルケース１０３の蓋が閉じられている状態を示す上面図である。
図１５Ａは図１４に示されるレチクルケース１０３の部分拡大上面図である。図１５Ｂは、図１５Ａに示されるレチクルケース１０３の部分拡大左側面図である。図１５Ｃは、図１５Ａに示されるレチクルケース１０３の部分拡大右側面図である。
レチクルケース１０３の蓋が開かれている状態を示す上面図である。
図１７Ａは図１６に示されるレチクルケース１０３の部分拡大上面図である。図１７Ｂは、図１７Ａに示されるレチクルケース１０３の部分拡大左側面図である。図１７Ｃは、図１７Ａに示されるレチクルケース１０３の部分拡大右側面図である。
図１８Ａはレチクルケース１０３の蓋が閉じられたときの吸着部のシリンダ及びピストンの動作を説明するための図である。図１８Ｂはレチクルケース１０３の蓋が開かれたときの吸着部のシリンダ及びピストンの動作を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、実施形態について図に基づいて説明する。以下の説明では、同一の部品および構成要素には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、これらについての詳細な説明は繰り返さない。図面では、説明の便宜上、構成を省略または簡略化している場合もある。実施形態から任意の構成が抽出され、それらが任意に組み合わされることも、当初から予定されている。
【００１０】
実施の形態１．
＜レチクルケース１０１の構成＞
図１～図４に示されるように、実施の形態１に係るレチクルケース１０１は、レチクル２００を収容して保管することができるとともに、レチクル２００を搬出入することができるように設けられている。レチクル２００は、転写パターンが形成されているパターン面２１０と、パターン面２１０の外縁に接続されている複数の外側面とを有する。以下では、パターン面２１０に沿っており、かつレチクル２００がレチクルケース１０１に対して搬出入される方向を、前後方向と称する。パターン面２１０に沿っており、かつ前後方向と直交する方向を、左右方向と称する。パターン面２１０と直交する方向を、上下方向と称し、パターン面２１０が向く側を上側と称する。レチクルケース１０１を上側から視た視野を、平面視と称する。レチクル２００の複数の外側面は、前側面２１１、後側面２１２、左側面２１３、及び右側面２１４を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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