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公開番号
2025074875
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-05-14
出願番号
2023185966
出願日
2023-10-30
発明の名称
異物合成画像生成装置、異物合成画像生成方法及びデータ構造
出願人
オムロン株式会社
代理人
弁理士法人秀和特許事務所
主分類
G01N
21/956 20060101AFI20250507BHJP(測定;試験)
要約
【課題】効率的に検査パラメータを設定できる不良画像をより容易に生成する。
【解決手段】基板の画像に基づいて、該基板上の異物の有無の検査に適用する検査プログラムの検査パラメータを調整するために、基板の画像に異物の画像を合成した異物合成画像を生成する異物合成画像生成装置であって、前記基板の画像である基板画像と、前記異物の画像である異物画像と、前記異物画像に関連する情報である異物関連情報と、を取得する基礎情報取得部と、前記基板画像の、所定の規則に従って決定された合成位置に、前記異物画像を合成して前記異物合成画像を生成する合成部と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲
【請求項1】
基板の画像に基づいて、該基板上の異物の有無の検査に適用する検査プログラムの検査パラメータを調整するために、基板の画像に異物の画像を合成した異物合成画像を生成する異物合成画像生成装置であって、
前記基板の画像である基板画像と、前記異物の画像である異物画像と、前記異物画像に関連する情報である異物関連情報と、を取得する基礎情報取得部と、
前記基板画像の、所定の規則に従って決定された合成位置に、前記異物画像を合成して前記異物合成画像を生成する合成部と、
を備えたことを特徴とする異物合成画像生成装置。
続きを表示(約 1,000 文字)
【請求項2】
前記規則は、前記検査における見逃しの有無を含む指標値に基づくことを特徴とする請求項1に記載の異物合成画像生成装置。
【請求項3】
前記規則は、前記異物の計測値と前記検査パラメータとの差分を含む指標値に基づくことを特徴とする請求項1に記載の異物合成画像生成装置。
【請求項4】
前記規則は、前記異物の平均色と、前記異物画像を合成すべき前記基板画像の位置の色との差分を含む指標値に基づくことであり、
前記合成部は、該差分の小さい順に前記合成位置を決定することを特徴とする請求項1に記載の異物合成画像生成装置。
【請求項5】
前記合成位置は、前記基板のランド周辺、レジスト及び自動設定のいずれかを選択可能であることを特徴とする請求項1に記載の異物合成画像生成装置。
【請求項6】
前記異物画像を、前記異物関連情報と関連付けて表示する異物画像表示領域と、
前記異物画像表示領域に表示された前記異物画像ごとの合成位置及び合成される前記異物画像の数を表示する合成内容表示領域と、
を含む確認画面を表示する表示部を備えたことを特徴とする請求項1に記載の異物合成画像生成装置。
【請求項7】
前記基礎情報取得部は、前記異物画像及び前記異物関連情報を、前記異物画像と、前記異物関連情報とを関連付けて記憶した異物ライブラリから取得することを特徴とする請求項1に記載の異物合成画像生成装置。
【請求項8】
前記異物ライブラリを備えたことを特徴とする請求項7に記載の異物合成画像生成装置。
【請求項9】
基板の画像に基づいて、該基板上の異物の有無の検査に適用する検査プログラムの検査パラメータを調整するために、基板の画像に異物の画像を合成した異物合成画像を生成する異物合成画像生成方法であって、
前記基板の画像である基板画像を取得するステップと、
前記異物の画像である異物画像を取得するステップと、
前記異物画像に関連する情報である異物関連情報を取得するステップと、
前記基板画像の、所定の規則に従って決定された合成位置に、前記異物画像を合成して前記異物合成画像を生成するステップと、
を含む異物合成画像生成方法。
【請求項10】
前記規則は、前記検査における見逃しの有無を含む指標値に基づくことを特徴とする請求項9に記載の異物合成画像生成方法。
(【請求項11】以降は省略されています)
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、異物合成画像生成装置、異物合成画像生成方法及びデータ構造に関する。
続きを表示(約 1,400 文字)
【背景技術】
【0002】
プリント基板(以下、単に「基板」という。)にはんだ付けされた実装部品について、そのはんだ付け状態の良否等を検査するのに用いられる基板検査装置に関して、基板全体の品質担保のために、全面異物検査をしたいというニーズが高まっている。
【0003】
このため、良品画像に不良の特徴を転写し、疑似的な不良画像を生成する技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
基板全面異物検査では基板全面が検査範囲であり、かつ、どこにどのような不良が発生する分からないため、どこにどの不良を転写して疑似不良画像を生成するかが検査品質を高める上で重要である。
この点に関して、特許文献1記載の技術は、ユーザが不良の転写座標を明示的に指定する必要があるため、検査品質を高める疑似不良画像を生成するまでに試行錯誤が必要であった。また、仮に、ユーザが手動で疑似不良画像を生成したとしても、それが検査品質を高めるような疑似不良画像になっていない可能性がある。すなわち、そのように生成された疑似不良画像で検査パラメータを調整しても、見過ぎや見逃しが発生してしまう可能性があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2022-108855号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、効率的に検査パラメータを設定できる不良画像をより容易に生成する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記の課題を解決するための本発明は、
基板の画像に基づいて、該基板上の異物の有無の検査に適用する検査プログラムの検査パラメータを調整するために、基板の画像に異物の画像を合成した異物合成画像を生成する異物合成画像生成装置であって、
前記基板の画像である基板画像と、前記異物の画像である異物画像と、前記異物画像に関連する情報である異物関連情報と、を取得する基礎情報取得部と、
前記基板画像の、所定の規則に従って決定された合成位置に、前記異物画像を合成して前記異物合成画像を生成する合成部と、
を備えたことを特徴とする。
【0007】
これによれば、基板画像の、検査パラメータの調整に適した所定の規則に従って決定された合成位置に、異物画像を合成することにより、不良画像である異物合成画像を生成することができるので、効率的に検査パラメータを設定できる不良画像をより容易に生成することができる。
【0008】
また、本発明において、
前記規則は、前記検査における見逃しの有無を含む指標値に基づくことであってもよい
。
【0009】
これによれば、基板の、見逃しが生じやすい合成位置に異物画像を合成した異物合成画像を生成することができるので、効率的に検査パラメータを設定できる不良画像をより容易に生成することができる。
【0010】
また、本発明において、
前記規則は、前記異物の計測値と前記検査パラメータとの差分を含む指標値に基づくことであってもよい。
(【0011】以降は省略されています)
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