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公開番号2025011741
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023114024
出願日2023-07-11
発明の名称圧力センサ装置
出願人富士電機株式会社
代理人弁理士法人一色国際特許事務所
主分類G01L 9/00 20060101AFI20250117BHJP(測定;試験)
要約【課題】圧力の測定精度の悪化を抑制できる圧力センサ装置を提供する。
【解決手段】基板と、前記基板に設けられ、絶対圧を測定するセンサと、前記基板に取り付けられ、前記センサを収容する収容空間を形成するカバーと、遮蔽部材と、を備え、前記カバーは、前記収容空間と、前記収容空間の外部とを連通する孔を有し、前記遮蔽部材は、前記孔が塞がれた状態において前記収容空間を密閉する、圧力センサ装置。
【選択図】図3B
特許請求の範囲【請求項１】
基板と、
前記基板に設けられ、絶対圧を測定するセンサと、
前記基板に取り付けられ、前記センサを収容する収容空間を形成するカバーと、
遮蔽部材と、
を備え、
前記カバーは、前記収容空間と、前記収容空間の外部とを連通する孔を有し、
前記遮蔽部材は、前記孔が塞がれた状態において前記収容空間を密閉する、
圧力センサ装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
請求項１に記載の圧力センサ装置であって、
前記カバーは、
天井部と、
前記天井部及び前記基板の間に位置し、前記収容空間を囲む壁部と、を含み、
前記遮蔽部材は、前記壁部と、前記基板との間に位置するシールである、
圧力センサ装置。
【請求項３】
請求項２に記載の圧力センサ装置であって、
前記カバーは、
前記収容空間から見て前記壁部の外側に設けられ、前記基板に取り付けられる取付部を含む、
圧力センサ装置。
【請求項４】
請求項３に記載の圧力センサ装置であって、
前記カバーと、前記基板とを固定するためのネジを備え、
前記基板には、前記ネジに対応する開口が形成され、
前記取付部には、前記ネジに対応するネジ穴が形成される、
圧力センサ装置。
【請求項５】
請求項４に記載の圧力センサ装置であって、
前記カバーは、前記壁部と、前記取付部との間にスリットを有する、
圧力センサ装置。
【請求項６】
請求項１に記載の圧力センサ装置であって、
前記カバーは、
前記収容空間を形成する第１部材と、
前記第１部材の周囲を囲む第２部材と、
前記第１部材及び前記第２部材を接続する接続部と、
を備え、
前記接続部は、前記カバーが前記基板に取り付けられた際に前記基板から離れた位置に設けられ、
前記遮蔽部材は、前記第１部材及び前記第２部材の間に充填される部材である、
圧力センサ装置。
【請求項７】
請求項６に記載の圧力センサ装置であって、
前記カバーは、
前記第１部材から見て前記第２部材の外側に設けられ、前記基板に取り付けられる取付部を含む、
圧力センサ装置。
【請求項８】
請求項７に記載の圧力センサ装置であって、
前記カバーと、前記基板とを固定するためのネジを備え、
前記基板には、前記ネジに対応する開口が形成され、
前記取付部には、前記ネジに対応するネジ穴が形成される、
圧力センサ装置。
【請求項９】
請求項８に記載の圧力センサ装置であって、
前記カバーは、前記第２部材と、前記取付部との間にスリットを有する、
圧力センサ装置。
【請求項１０】
請求項６に記載の圧力センサ装置であって、
前記接続部は、前記孔が形成されたパイプである、
圧力センサ装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサ装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
一般的な圧力センサ装置は、半導体基板に形成されたダイヤフラムを用いる圧力センサと、圧力センサを収容するパッケージと、を備える（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－２２２１７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、圧力センサ装置には、パッケージを覆うキャップに対し、チューブを直接取り付けるものがある。このような圧力センサ装置では、キャップにチューブを取り付ける際、半導体基板や、パッケージから延びる端子（いわゆる、リードフレーム）に対して力が加わることがあるため、圧力センサ装置の測定精度が悪化することがある。
【０００５】
本発明は、上記のような従来の問題に鑑みてなされたものであって、圧力の測定精度の悪化を抑制できる圧力センサ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した課題を解決する主たる本発明の第１の態様は、基板と、前記基板に設けられ、絶対圧を測定するセンサと、前記基板に取り付けられ、前記センサを収容する収容空間を形成するカバーと、遮蔽部材と、を備え、前記カバーは、前記収容空間と、前記収容空間の外部とを連通する孔を有し、前記遮蔽部材は、前記孔が塞がれた状態において前記収容空間を密閉する、圧力センサ装置。
【０００７】
前述した課題を解決する主たる本発明の第２の態様は、基板と、前記基板に設けられ、絶対圧を測定する第１センサと、前記基板に設けられ、絶対圧を測定する第２センサと、前記基板に取り付けられ、前記第１センサを収容する第１収容空間と、前記第２センサを収容する第２収容空間と、を形成するカバーと、遮蔽部材と、を備え、前記カバーは、前記第１収容空間及び前記第１収容空間の外部を連通する第１の孔と、前記第２収容空間及び前記第２収容空間の外部を連通する第２の孔と、を有し、前記遮蔽部材は、前記第１の孔が塞がれた状態において前記第１収容空間を密閉する第１部位と、前記第２の孔が塞がれた状態において前記第２収容空間を密閉する第２部位と、を含み、前記カバーと、前記基板との間に位置し、前記第１部位と、前記第２部位とは、共通する部位を有する、圧力センサ装置。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、圧力の測定精度の悪化を抑制できる圧力センサ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
一般的な圧力センサ装置１０の斜視図である。
図１ＡのＡ－Ａ線の部分断面図である。
センサ２１の断面図である。
圧力センサ装置１５，１６を示す斜視図である。
図３Ａの圧力センサ装置１５のＢ－Ｂ線の部分断面図である。
図３Ａの圧力センサ装置１６のＢ－Ｂ線の部分断面図である。
圧力センサ装置１７を示す斜視図である。
圧力センサ装置１７の平面図である。
図４ＢのＣ－Ｃ線の部分断面図である。
圧力センサ装置１８の分解斜視図である。
カバー３２０及び遮蔽部材３５０を説明するための図である。
圧力センサ装置１８の平面図である。
図５ＣのＥ－Ｅ線の部分断面図である。
図５ＣのＦ－Ｆ線の部分断面図である。
図５Ａのセンサ３１０ａのＤ－Ｄ線の断面図である。
圧力センサ装置１９の分解斜視図である。
第２部材４０２を説明するための図である。
圧力センサ装置１９の平面図である。
図７ＣのＧ－Ｇ線の部分断面図である。
図７ＣのＨ－Ｈ線の部分断面図である。
センサ２２の一例を示す図である。
センサ２２を用いた圧力センサ装置１５の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本明細書及び添付図面の記載により、少なくとも以下の事項が明らかとなる。また、ここでは、各図面に示される同一又は同等の構成要素、部材等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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