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公開番号2025009340
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023112272
出願日2023-07-07
発明の名称分析方法および複合分析装置
出願人株式会社島津製作所
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類G01N 21/3563 20140101AFI20250110BHJP(測定;試験)
要約【課題】有機物から無機物までを網羅的に分析できるシステムを提供することである。
【解決手段】サンプルに対して、赤外分光分析法による赤外分光分析と、レーザ有機ブレークダウン分光分析法(Laser-Induced Breakdown Spectroscopy)によるLIBS分析と、を実施可能な複合分析装置において行なわれる分析方法である。分析方法は、サンプルに対して赤外線を照射して赤外分光分析を行なうステップST02~ST06と、サンプルに対してレーザ光を照射してLIBS分析を行なうステップST08~ST12と、赤外分光分析によって得られた第1分析データおよびLIBS分析によって得られた第2分析データに基づいて、サンプルの成分を同定するステップST14とを備える。赤外分光分析を行なうステップは、LIBS分析を行なうステップより前に行なわれる。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項1】
サンプルに対して、赤外分光分析法による赤外分光分析と、レーザ有機ブレークダウン分光分析法(Laser-Induced Breakdown Spectroscopy)によるLIBS分析と、を実施可能な複合分析装置において行なわれる、
前記サンプルに対して赤外線を照射して前記赤外分光分析を行なうステップと、
前記サンプルに対してレーザ光を照射して前記LIBS分析を行なうステップと、
前記赤外分光分析によって得られた第1分析データおよび前記LIBS分析によって得られた第2分析データに基づいて、前記サンプルの成分を同定するステップとを備え、
前記赤外分光分析を行なうステップは、前記LIBS分析を行なうステップより前に行なわれる、分析方法。
続きを表示(約 1,400 文字)【請求項2】
前記赤外分光分析を行なうステップは、
赤外光源から発生する赤外光を前記サンプルの特定位置に照射するステップを含み、
前記LIBS分析を行なうステップは、
レーザ光源から発生するレーザ光を前記特定位置に照射するステップを含む、請求項1に記載の分析方法。
【請求項3】
前記複合分析装置は、複数のミラーをさらに備え、
前記赤外分光分析を行なうステップは、
前記複数のミラーを第1位置に配置するステップをさらに含み、
前記LIBS分析を行なうステップは、
前記複数のミラーを前記第1位置と異なる第2位置に配置するステップをさらに含み、
前記第1位置では、第1光路が形成され、
前記第1光路では、前記赤外光源から発生する赤外光が前記特定位置に入射され、前記特定位置から出射される赤外光が検出器に入射され、
前記第2位置では、第2光路が形成され、
前記第2光路では、前記レーザ光源から発生するレーザ光が前記特定位置に入射され、前記特定位置において発生した発光線が分光器に入射される、請求項2に記載の分析方法。
【請求項4】
前記赤外分光分析を行なうステップは、
前記サンプルからの反射光の赤外分光分析を行なうステップ、または、前記サンプルからの透過光の赤外分光分析を行なうステップを含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の分析方法。
【請求項5】
前記サンプルの分析対象となる成分についての情報に基づいて、前記赤外分光分析を行なうステップおよび前記LIBS分析を行なうステップの、いずれか、または、両方を行なうことを決定するステップをさらに備える、請求項1~3のいずれか1項に記載の分析方法。
【請求項6】
サンプルが設置されるサンプルホルダと、
前記サンプルに照射する赤外光を発生する赤外光源と、
前記赤外光の照射によって前記サンプルから出射された赤外光を検出する検出器と、
前記サンプルに照射するレーザ光を発生するレーザ光源と、
前記レーザ光の照射によって前記サンプルにおいて発生した発光線を分光する分光器と、
制御装置とを備え、
前記制御装置は、
前記サンプルから出射された赤外光を赤外分光分析して得られた第1分析データ、および、前記サンプルにおいて発生した発光線をLIBS分析して得られた第2分析データを取得し、
前記第1分析データおよび前記第2分析データに基づいて、前記サンプルの成分を同定し、
前記制御装置は、前記サンプルにレーザ光を照射する前に、前記サンプルに赤外光を照射する、複合分析装置。
【請求項7】
前記複合分析装置は、複数のミラーをさらに備え、
前記複数のミラーの位置は、第1位置と、第2位置とをとることが可能であり、
前記第1位置では、第1光路が形成され、
前記第1光路では、前記赤外光源から発生する赤外光が特定位置に入射され、前記特定位置から出射される赤外光が前記検出器に入射され、
前記第2位置では、第2光路が形成され、
前記第2光路では、前記レーザ光源から発生するレーザ光が前記特定位置に入射され、前記特定位置において発生した発光線が前記分光器に入射される、請求項6に記載の複合分析装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本開示は分析方法および複合分析装置に関する。
続きを表示(約 1,400 文字)【背景技術】
【0002】
赤外分光法は、測定対象のサンプルに赤外光を照射し、透過光あるいは反射光を検出することにより、サンプル中の成分を分析する分析方法である。赤外分光法は、赤外分光光度計によって実施される。
【0003】
特開2019-32214号公報(特許文献1)に記載されているように、赤外分光分析は、高分子材料や有機物の分析に適している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2019-32214号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、赤外分光法は金属等の無機物の分析には最適な方法ではない。金属等の無機物の分析には、たとえば、レーザ有機ブレークダウン分光分析法(LIBS:Laser-Induced Breakdown Spectroscopy)が適していることが知られている。
【0006】
そのため、ユーザはサンプル中の分析対象の成分を推定して、どの分析方法に基づく分析装置に供するかを考える必要があり、これはユーザにとって手間であった。
【0007】
本開示は、かかる課題を解決するためになされたものであり、その目的は、有機物から無機物までを網羅的に分析できるシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の第1の態様は、サンプルに対して、赤外分光分析法による赤外分光分析と、レーザ有機ブレークダウン分光分析法(Laser-Induced Breakdown Spectroscopy)によるLIBS分析と、を実施可能な複合分析装置において行なわれる分析方法である。分析方法は、サンプルに対して赤外線を照射して赤外分光分析を行なうステップと、サンプルに対してレーザ光を照射してLIBS分析を行なうステップと、赤外分光分析によって得られた第1分析データおよびLIBS分析によって得られた第2分析データに基づいて、サンプルの成分を同定するステップとを備える。赤外分光分析を行なうステップは、LIBS分析を行なうステップより前に行なわれる。
【0009】
本発明の他の態様は、サンプルホルダと、赤外光源と、検出器と、レーザ光源と、分光器と、制御装置とを備える複合分析装置である。サンプルホルダにはサンプルが設置される。赤外光源は、サンプルに照射する赤外光を発生する。検出器は、赤外光の照射によってサンプルから出射された赤外光を検出する。レーザ光源は、サンプルに照射するレーザ光を発生する。分光器は、レーザ光の照射によってサンプルにおいて発生した発光線を分光する。制御装置は、サンプルから出射された赤外光を赤外分光分析して得られた第1分析データ、および、サンプルにおいて発生した発光線をLIBS分析して得られた第2分析データを取得する。制御装置は、第1分析データおよび第2分析データに基づいて、サンプルの成分を同定する。制御装置は、サンプルにレーザ光を照射する前に、サンプルに赤外光を照射する。
【発明の効果】
【0010】
本開示によれば、有機物から無機物までを網羅的に分析できるシステムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
(【0011】以降は省略されています)

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