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公開番号2024169908
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-06
出願番号2023086769
出願日2023-05-26
発明の名称慣性センサーモジュール、および電子機器
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G01C 19/5628 20120101AFI20241129BHJP(測定;試験)
要約【課題】外的変動が生じた場合でも、検出精度の信頼性が低下することを抑制できる慣性センサーモジュールを提供すること。
【解決手段】慣性センサーモジュール100は、Z軸回りの角速度を検出する第1慣性センサー1と、Z軸回りの角速度を検出する第2慣性センサー2と、第1慣性センサー1と第2慣性センサー2とを搭載するインターポーザー4と、インターポーザー4を搭載し、インターポーザー4を介して第1慣性センサー1に電気的に接続される端子7と、インターポーザー4を介して第2慣性センサー2に電気的に接続される端子7と、を有する基板5と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１軸の物理量を検出する第１慣性センサーと、
前記第１軸の物理量を検出する第２慣性センサーと、
前記第１慣性センサーと前記第２慣性センサーとを搭載する第１基板と、
前記第１基板を搭載し、前記第１基板を介して前記第１慣性センサーに電気的に接続される第１端子と、前記第１基板を介して前記第２慣性センサーに電気的に接続される第２端子と、を有する第２基板と、を備える、
慣性センサーモジュール。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
前記第１基板は、
前記第１慣性センサーと前記第１端子とを電気的に接続する第１導通部材と、
前記第２慣性センサーと前記第２端子とを電気的に接続する第２導通部材と、を備える、
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項３】
前記第１基板の弾性率は、前記第２基板の弾性率より大きい、
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項４】
前記第１基板の線膨張係数は、前記第２基板の線膨張係数より小さい、
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項５】
前記第１慣性センサーからの第１検出信号及び前記第２慣性センサーからの第２検出信号を処理する処理装置をさらに備える、
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項６】
前記処理装置は、前記第２基板に搭載される、
請求項５に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６に記載の慣性センサーモジュールを備える電子機器。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、慣性センサーモジュール、および、当該慣性センサーモジュールを備えた電子機器に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
加速度や角速度などを測定する慣性センサーモジュールとしては、例えば、特許文献１に記載のものが知られている。
特許文献１には、３軸の角速度センサーと３軸の加速度センサーとを収納する多軸の慣性センサー、１軸の角速度センサー、およびコネクターを搭載した回路基板が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１５８４２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような慣性センサーモジュールでは、温度変化や湿度変化などの外的変動が生じた場合において、検出精度の信頼性が担保されることが求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願の一態様に係る慣性センサーモジュールは、第１軸の物理量を検出する第１慣性センサーと、前記第１軸の物理量を検出する第２慣性センサーと、前記第１慣性センサーと前記第２慣性センサーとを搭載する第１基板と、前記第１基板を搭載し、前記第１基板を介して前記第１慣性センサーに電気的に接続される第１端子と、前記第１基板を介して前記第２慣性センサーに電気的に接続される第２端子と、を有する第２基板と、を備える。
【０００６】
本願の一態様に係る電子機器は、上記に記載の慣性センサーモジュールを備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
実施形態１に係る慣性センサーモジュールの斜視図。
図１のII－II線に沿う慣性センサーモジュールの断面図。
慣性センサーモジュールのブロック図。
実施形態２に係る慣性計測装置の斜視図。
実施形態２に係る慣性計測装置の斜視図。
実施形態２に係る慣性計測装置の分解斜視図。
実施形態２に係る慣性センサーモジュールの斜視図。
実施形態３に係る電子機器の斜視図。
実施形態３に係る電子機器の斜視図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
なお、以下の各図面では、各構成要素を見やすくするため、構成要素によって寸法の縮尺を異ならせて示すことがある。
また、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸とする。また、Ｘ軸に平行な方向をＸ軸方向、Ｙ軸に平行な方向をＹ軸方向、Ｚ軸に平行な方向をＺ軸方向とも言う。また、各軸の矢印方向先端側をプラス側とも言い、反対側をマイナス側とも言う。また、Ｚ軸方向に見ることを平面視とも言い、Ｚ軸を含む断面に対してＹ軸方向から見ることを断面視とも言う。
【０００９】
さらに、以下の説明において、例えば「基板上に」との記載は、基板の上に接して配置される場合、基板の上に他の構造物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接して配置され、一部が他の構造物を介して配置される場合のいずれかを表すものとする。また、例えば「基板の上面」との記載は、基板のＺ軸方向プラス側の面、を示すものとする。また、例えば「基板の下面」との記載は、基板のＺ軸方向マイナス側の面、を示すものとする。
【００１０】
１．実施形態１
本実施形態では、最初に、実施形態１に係る慣性センサーモジュール１００の基本的な構成について説明し、次に、応用的な構成について説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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