特許ウォッチ

公開番号2024125580
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-19
出願番号2023033493
出願日2023-03-06
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240911BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板の面内温度分布のばらつきを抑制することのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100に接合され、冷媒流路400が内部に形成されたベースプレート200と、を備える。誘電体基板100の面110に対し垂直な方向から見た場合において、冷媒流路400は、周方向に沿って並ぶように配置された複数の第1部分流路410Aに分かれており、それぞれの第1部分流路410Aの端部が、ベースプレート200に形成された1つの流路401に繋がっている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板のうち前記載置面とは反対側の面に接合され、冷媒の通る冷媒流路が内部に形成されたベースプレートと、を備え、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記冷媒流路は、周方向に沿って並ぶように配置された複数の部分流路に分かれており、それぞれの前記部分流路の端部が、前記ベースプレートに形成された１つの接続流路に繋がっていることを特徴とする、静電チャック。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記接続流路は、前記ベースプレートの中心となる位置に形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
それぞれの前記部分流路は、
周方向に沿って円弧状に伸びる複数の周方向流路と、
前記周方向流路の端部同士を繋ぐように屈曲している屈曲流路と、を含むことを特徴とする、請求項２に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記部分流路の数は、前記ベースプレートに形成されたリフトピン穴の数の整数倍であることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばＣＶＤ装置やエッチング装置のような半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板と、誘電体基板を支持するベースプレートと、を備え、これらが互いに接合された構成を有する。吸着電極は、誘電体基板に内蔵されるのが一般的であるが、金属であるベースプレートが吸着電極として用いられる場合もある。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
エッチング等の処理中においては、基板の温度を適切な温度に維持する必要がある。このため、下記特許文献１に記載されているように、ベースプレートの内部には、冷媒を通すための冷媒流路が形成される。基板からの熱は、誘電体基板及びベースプレートを介して冷媒へと伝えられ、冷媒と共に外部へと排出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２０－１６１５９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
処理中においては、上記のように基板の温度を適切な温度に維持することに加え、基板の各部における温度分布（つまり面内温度分布）のばらつきを可能な限り小さくすることも求められる。このため、ベースプレートの内部において冷媒流路をどのような経路で引き回すのかが重要となる。上記特許文献１では、冷媒流路の構成について提案がなされてはいるが、基板の面内温度分布を均一に近づけるにあたっては更なる改良の余地がある。
【０００６】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板の面内温度分布のばらつきを抑制することのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板のうち載置面とは反対側の面に接合され、冷媒の通る冷媒流路が内部に形成されたベースプレートと、を備える。載置面に対し垂直な方向から見た場合において、冷媒流路は、周方向に沿って並ぶように配置された複数の部分流路に分かれており、それぞれの部分流路の端部が、ベースプレートに形成された１つの接続流路に繋がっている。
【０００８】
このような構成の静電チャックでは、冷媒流路が、周方向に沿って並ぶように配置された複数の部分流路に分かれている。これにより、例えば、リフトピン穴の位置を避けながらも、基板の面内温度分布が不均一とならないように冷媒流路を引き回すことが可能となる。
【０００９】
それぞれの部分流路の端部は、ベースプレートに形成された１つの接続流路に繋がっている。このような構成においては、１つの接続流路から、複数の部分流路に対し同じ温度の冷媒を供給することが可能となるので、面内温度分布を更に一化することができる。
【００１０】
また、本発明に係る静電チャックでは、載置面に対し垂直な方向から見た場合において、接続流路は、ベースプレートの中心となる位置に形成されていることも好ましい。接続流路を中心に配置することで、複数の部分流路の形状を互いに同一とすることが可能となるので、面内温度分布を更に均一化することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許