特許ウォッチ

公開番号2024111800
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-19
出願番号2023188235
出願日2023-11-02
発明の名称粘着シート
出願人日東電工株式会社
代理人弁理士法人籾井特許事務所
主分類C09J 7/38 20180101AFI20240809BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約【課題】基材と粘着剤層との投錨力に優れ、かつ、剥離時の糊残りを抑制した粘着シートを提供することを提供すること。
【解決手段】本発明の実施形態の粘着シートは、基材と;水分散型アクリル系ポリマーと、活性エネルギー線硬化性樹脂と、光重合開始剤とを含む水分散型粘着剤組成物から形成される粘着剤層と;を備え、下記式から算出される変化率が-50%以上である。
変化率(%)={(紫外線照射後投錨力-紫外線照射前投錨力)/紫外線照射前投錨力}×100
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基材と；水分散型アクリル系ポリマーと、活性エネルギー線硬化性樹脂と、光重合開始剤とを含む水分散型粘着剤組成物から形成される粘着剤層と；を備え、下記式から算出される変化率が－５０％以上である、粘着シート：
変化率（％）＝｛（紫外線照射後投錨力－紫外線照射前投錨力）／紫外線照射前投錨力｝×１００。
続きを表示（約 410 文字）【請求項２】
前記紫外線照射前投錨力が５Ｎ／２０ｍｍ以上であり、かつ、
前記紫外線照射後投錨力が５Ｎ／２０ｍｍ以上である、請求項１に記載の粘着シート。
【請求項３】
前記粘着剤組成物が架橋剤をさらに含む、請求項１に記載の粘着シート。
【請求項４】
前記架橋剤がカルボジイミド系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、ヒドラジン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、および、イソシアネート系架橋剤からなる群より選択される少なくとも１種の架橋剤である、請求項１に記載の粘着シート。
【請求項５】
前記基材がポリエチレンテレフタレート系樹脂フィルム、ポリオレフィン系樹脂フィルム、エチレン酢酸ビニル系樹脂フィルムからなる群より選択される、請求項１に記載の粘着シート。
【請求項６】
半導体ウエハ加工に用いられる、請求項１から５のいずれかに記載の粘着シート。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は粘着シートに関する。より詳細には、半導体ウエハ加工に用いられる粘着シートに関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
粘着シートは、被着体の表面保護、および、固定を目的として広く用いられている。例えば、半導体ウエハの加工工程では、被着体である半導体ウエハをバックグラインド工程、および、ダイシング工程で適切に保持するために用いられる。近年、チップの微細化および薄型化が進められており、加工時に半導体ウエハを薄く研削しても半導体ウエハを適切に保持可能な粘着力が要求される。しかしながら、粘着力の高い粘着シートでは剥離時にウエハを破損するおそれがある。そのため、加工後は容易に被着体から剥離することができる軽剥離な粘着シートが求められている。
【０００３】
半導体ウエハの加工工程に用いられる粘着シートは、使用後に半導体ウエハから剥離されるため、再剥離性を有する粘着シートが好ましく用いられている。再剥離性を有する粘着剤としては、溶剤系粘着剤が広く用いられている（例えば、特許文献１）。近年、環境負荷の低減が求められており、水系粘着剤を用いることが試みられている（例えば、特許文献２）。しかしながら、水系粘着剤を用いる場合、基材への投錨性が十分に得られず、剥離時に被着体に糊残りが生じる場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－３１６２０号公報
特開２００９－７３９２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、基材と粘着剤層との投錨力に優れ、かつ、剥離時の糊残りを抑制した粘着シートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
１．本発明の実施形態の粘着シートは、基材と；水分散型アクリル系ポリマーと、活性エネルギー線硬化性樹脂と、光重合開始剤とを含む水分散型粘着剤組成物から形成される粘着剤層と；を備え、下記式から算出される変化率が－５０％以上である：
変化率（％）＝｛（紫外線照射後投錨力－紫外線照射前投錨力）／紫外線照射前投錨力｝×１００。
２．上記１に記載の粘着シートは、上記紫外線照射前投錨力が５Ｎ／２０ｍｍ以上であり、かつ、上記紫外線照射後投錨力が５Ｎ／２０ｍｍ以上であってもよい。
３．上記１または２に記載の粘着シートは、上記粘着剤組成物が架橋剤をさらに含んでいてもよい。
４．上記１から３のいずれかに記載の粘着シートは、上記架橋剤がカルボジイミド系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、ヒドラジン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、および、イソシアネート系架橋剤からなる群より選択される少なくとも１種の架橋剤であってもよい。
５．上記１から４のいずれかに記載の粘着シートは、上記基材がポリエチレンテレフタレート系樹脂フィルム、ポリオレフィン系樹脂フィルム、エチレン酢酸ビニル系樹脂フィルムからなる群より選択されてもよい。
６．上記１から５のいずれかに記載の粘着シートは、半導体ウエハ加工に用いられてもよい。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の実施形態によれば、基材と粘着剤層との投錨力に優れ、かつ、剥離時の糊残りを抑制した粘着シートを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の１つの実施形態による粘着シートの概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
Ａ．粘着シート
Ａ－１．粘着シートの全体構成
本発明の実施形態の粘着シートは、基材と；水分散型アクリル系ポリマーと、活性エネルギー線硬化性樹脂と、光重合開始剤とを含む水分散型粘着剤組成物から形成される粘着剤層と、を備える。図１は、本発明の実施形態による粘着シートの概略断面図である。粘着シート１００は、基材２０と、粘着剤層１０と、をこの順に備える。粘着剤層１０は水分散型アクリル系ポリマーと、活性エネルギー線硬化性樹脂と、光重合開始剤とを含む。水分散型粘着剤組成物は光重合開始剤を含む。そのため、紫外線照射前においては被着体への優れた密着性を示し、紫外線照射後においては被着体への糊残り等を抑制し、容易に被着体から剥離することができる。本発明の実施形態の粘着シートは、下記式から算出される変化率が－５０％以下である。変化率が－５０％以上であれば、水分散型粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層を備える粘着シートであっても基材と粘着剤層との投錨力に優れ、かつ、剥離時の糊残りを抑制し得る。変化率は好ましくは－４０％以上であり、より好ましくは－３０％以上であり、さらに好ましくは－２０％以下であり、特に好ましくは０％以上である。変化率が大きいほど粘着テープの投錨力が高く好ましい。変化率の上限はないが、例えば、１００％以下である。
変化率（％）＝｛（紫外線照射後投錨力－紫外線照射前投錨力）／紫外線照射前投錨力｝×１００
【００１０】
本明細書において、紫外線照射前投錨力および紫外線照射後投錨力は以下の方法で測定した粘着シートの投錨力をいう。
＜紫外線照射前投錨力＞
幅２０ｍｍ、長さ８０ｍｍに切断した粘着シートの粘着剤層と、市販の粘着テープ（例えば、日東電工社製、商品名「Ｎｏ．３１５」）の粘着剤層とをハンドローラーを１往復させて貼り合わせ、２３℃で３０分放置する。次いで、粘着シートを剥離させるのに要する力を、２３℃、５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分の条件で測定し、得られた値を紫外線照射前投錨力とする。
＜紫外線照射後投錨力＞
幅２０ｍｍ、長さ８０ｍｍに切断した粘着シートの粘着剤層と、市販の粘着テープ（例えば、日東電工社製、商品名「Ｎｏ．３１５」）の粘着剤層とをハンドローラーを１往復させて貼り合わせ、２３℃で３０分放置する。次いで、紫外線（ＵＶ）（積算光量：４６０ｍＪ／ｃｍ
２
（３６５ｎｍ換算））を粘着シートの基材側から照射する。その後、粘着シートを剥離させるのに要する力を、２３℃、５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分の条件で測定し、得られた値を紫外線照射後投錨力とする。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許