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公開番号2024095266
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-10
出願番号2022212426
出願日2022-12-28
発明の名称角速度センサー
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G01C 19/5628 20120101AFI20240703BHJP(測定;試験)
要約【課題】複数のリードの長さを揃えたまま、これらの長さを容易に調整することのできる角速度センサーを提供する。
【解決手段】角速度センサーは、パッケージと、開口を有する基板および開口内に延在する第1～第6リードを備える支持基板と、第1～第6リードに接続された角速度検出素子と、を有する。平面視で、角速度検出素子の重心を通り互いに直交する軸を第1軸および第2軸としたとき、基板は、第1軸の一方側に位置し、第1～第3リードと接続され、開口が矩形の場合と比較して第1～第3リードの長さの違いを減少させる第1調整部と、第1軸の他方側に位置し、第4～第6リードと接続され、開口が矩形の場合と比較して第4～第6の長さの違いを減少させる第2調整部と、第1調整部および第2調整部の間に配置され、開口の第2軸に沿う方向の長さを第1軸に沿う方向の長さよりも大きくする第3調整部と、を有する。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
パッケージと、
前記パッケージ内に配置され、開口を有する基板と、前記基板に支持され前記基板の平面視で前記開口内に延在する第１リード、第２リード、第３リード、第４リード、第５リードおよび第６リードと、を備える支持基板と、
前記パッケージ内に前記支持基板と重なって配置され、前記第１リード、前記第２リード、前記第３リード、前記第４リード、前記第５リードおよび前記第６リードに接続されている角速度検出素子と、を有し、
前記平面視で、前記角速度検出素子の重心を通り互いに直交する軸を第１軸および第２軸としたとき、前記基板は、
前記第１軸の一方側に位置し、前記第１リード、前記第２リードおよび前記第３リードと接続され、前記開口が矩形の場合と比較して前記第１リード、前記第２リードおよび前記第３リードの長さの違いを減少させる第１調整部と、
前記第１軸の他方側に位置し、前記第４リード、前記第５リードおよび前記第６リードと接続され、前記開口が矩形の場合と比較して前記第４リード、前記第５リードおよび前記第６リードの長さの違いを減少させる第２調整部と、
前記第１調整部および前記第２調整部の間に配置され、前記開口の前記第２軸に沿う方向の長さを前記第１軸に沿う方向の長さよりも大きくする第３調整部と、を有することを特徴とする角速度センサー。
続きを表示（約 630 文字）【請求項２】
前記平面視で、前記開口は、八角形であり、
前記第１調整部は、前記開口が備える８つの辺のうち、前記第１軸の一方側に位置し前記第１軸に沿う第１辺と、前記第１辺の両側に接続されている第２辺および第３辺と、を備え、
前記第２調整部は、前記開口が備える８つの辺のうち、前記第１軸の他方側に位置し前記第１軸に沿う第４辺と、前記第４辺の両側に接続されている第５辺および第６辺と、を備える請求項１に記載の角速度センサー。
【請求項３】
前記第３調整部は、前記開口が備える８つの辺のうち、前記第２辺と前記第５辺とを接続する第７辺と、前記第３辺と前記第６辺とを接続する第８辺と、を備える請求項２に記載の角速度センサー。
【請求項４】
前記第１リードは、前記第１辺から垂直に延出し、
前記第２リードは、前記第２辺から垂直に延出し、
前記第３リードは、前記第３辺から垂直に延出し、
前記第４リードは、前記第４辺から垂直に延出し、
前記第５リードは、前記第５辺から垂直に延出し、
前記第６リードは、前記第６辺から垂直に延出する請求項２に記載の角速度センサー。
【請求項５】
前記第１リード、前記第２リード、前記第３リード、前記第４リード、前記第５リードおよび前記第６リードは、前記基板の前記角速度検出素子側の主面に支持されている請求項１に記載の角速度センサー。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、角速度センサーに関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載された角速度センサーは、パッケージと、パッケージ内に配置されたジャイロ振動片および支持基板と、を有する。また、ジャイロ振動片は、支持基板を介してパッケージに支持されている。また、支持基板は、先端部がジャイロ振動片に接続された６本のリードと、各リードの基端部を支持する基材と、を有する。また、６本のリードは、平面視で、ジャイロ振動片の基部から放射状に、そして、ジャイロ振動片の重心に対して点対称に延びている。これにより、各リードの長さが揃い、ジャイロ振動片がバランスよく支持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－０２４７４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような特許文献１の角度センサーでは、ジャイロ振動片の重心を中心とする仮想の円周上にジャイロ振動片と各リードとを接続する電極バンプを配置し、そこから各リードを延出させることを前提としている。そのため、リードの設計自由度が低く、リードとジャイロ素子とが共振するおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の角速度センサーは、パッケージと、
前記パッケージ内に配置され、開口を有する基板と、前記基板に支持され前記基板の平面視で前記開口内に延在する第１リード、第２リード、第３リード、第４リード、第５リードおよび第６リードと、を備える支持基板と、
前記パッケージ内に前記支持基板と重なって配置され、前記第１リード、前記第２リード、前記第３リード、前記第４リード、前記第５リードおよび前記第６リードに接続されている角速度検出素子と、を有し、
前記平面視で、前記角速度検出素子の重心を通り互いに直交する軸を第１軸および第２軸としたとき、前記基板は、
前記第１軸の一方側に位置し、前記第１リード、前記第２リードおよび前記第３リードと接続され、前記開口が矩形の場合と比較して前記第１リード、前記第２リードおよび前記第３リードの長さの違いを減少させる第１調整部と、
前記第１軸の他方側に位置し、前記第４リード、前記第５リードおよび前記第６リードと接続され、前記開口が矩形の場合と比較して前記第４リード、前記第５リードおよび前記第６リードの長さの違いを減少させる第２調整部と、
前記第１調整部および前記第２調整部の間に配置され、前記開口の前記第２軸に沿う方向の長さを前記第１軸に沿う方向の長さよりも大きくする第３調整部と、を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
第１実施形態に係る角速度センサーを示す断面図である。
角速度検出素子を示す上面図である。
角速度検出素子の駆動振動モードを示す概略図である。
角速度検出素子の検出振動モードを示す概略図である。
支持基板の上面図である。
支持基板の上面図である。
支持基板の上面図である。
第２実施形態に係る角速度センサーを示す断面図である。
第３実施形態に係る支持基板の上面図である。
第４実施形態に係る支持基板の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の角速度センサーを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。なお、説明の便宜上、各図には、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸として図示している。そして、Ｘ軸に沿う方向を「Ｘ軸方向」とも言い、Ｙ軸に沿う方向を「Ｙ軸方向」とも言い、Ｚ軸に沿う方向を「Ｚ軸方向」とも言う。また、Ｚ軸が鉛直方向に沿っており、矢印側を「上」、反対側を「下」とも言う。
【０００８】
図１は、第１実施形態に係る角速度センサーを示す断面図である。図２は、角速度検出素子を示す上面図である。図３は、角速度検出素子の駆動振動モードを示す概略図である。図４は、角速度検出素子の検出振動モードを示す概略図である。図５ないし図７は、それぞれ、支持基板の上面図である。
【０００９】
図１に示す角速度センサー１は、Ｚ軸まわりの角速度ωｚを検出するセンサーであって、角速度ωｚが印加される角速度検出素子３と、支持基板４と、回路素子５と、これらを収容するパッケージ２と、を有する。
【００１０】
［パッケージ］
図１に示すように、パッケージ２は、上面に開口する凹部２１１を有するキャビティ状のベース２１と、ベース２１の上面に接合され、凹部２１１の開口を塞ぐ板状のリッド２２と、を有する。パッケージ２は、内部空間Ｓを有し、この内部空間Ｓに角速度検出素子３、支持基板４および回路素子５がＺ軸方向に重なるようにして収容されている。内部空間Ｓは、気密封止され、減圧状態、好ましくはより真空に近い状態となっている。これにより、粘性抵抗が減り、角速度検出素子３を効率的に駆動することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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