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公開番号2025128831
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-03
出願番号2024025770
出願日2024-02-22
発明の名称固体ターゲット物質補給装置、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法
出願人ギガフォトン株式会社
代理人弁理士法人R&C,個人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250827BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【解決手段】固体ターゲット物質補給装置は、固体ターゲット物質を収容する固体ターゲット容器と、固体ターゲット容器から供給された固体ターゲット物質が通過する第1の経路と、送出装置であって、第1の経路を通過した固体ターゲット物質を受け入れる受入口と、受入口に対向する対向面とを含む管と、管の長さ方向に交互に往運動及び復運動することにより管の内部の固体ターゲット物質を送出する送出棒と、送出装置によって送出された固体ターゲット物質を極端紫外光生成装置の溶融ターゲット容器に補給する第2の経路と、を備える。
【効果】固体ターゲット物質補給装置により極端紫外光生成装置に固体ターゲット物質を補給できる。
【選択図】図9
特許請求の範囲【請求項１】
固体ターゲット物質を収容する固体ターゲット容器と、
前記固体ターゲット容器から供給された固体ターゲット物質が通過する第１の経路と、
送出装置であって、
前記第１の経路を通過した固体ターゲット物質を受け入れる受入口と、前記受入口に対向する対向面と、を含む管と、
前記管の長さ方向に交互に往運動及び復運動することにより前記管の内部の固体ターゲット物質を送出する送出棒と、
前記送出棒が往運動する場合に、前記管の外部に向けて移動することで、前記受入口と前記対向面との間の固体ターゲット物質を前記管の内部で移動させる通路を形成し、前記送出棒が復運動する場合に、前記管の内部に向けて移動することで、前記管の内部の固体ターゲット物質が前記受入口と前記対向面との間に戻ることを規制するストッパと、
を含む、前記送出装置と、
前記送出装置によって送出された固体ターゲット物質を極端紫外光生成装置の溶融ターゲット容器に補給する第２の経路と、
を備える、固体ターゲット物質補給装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
請求項１に記載の固体ターゲット物質補給装置であって、
前記ストッパは、前記受入口を通過する固体ターゲット物質の移動方向に交差する面内で移動する、
固体ターゲット物質補給装置。
【請求項３】
請求項１に記載の固体ターゲット物質補給装置であって、
前記ストッパは、前記受入口を通過する固体ターゲット物質の移動方向に垂直な面内で移動する、
固体ターゲット物質補給装置。
【請求項４】
請求項１に記載の固体ターゲット物質補給装置であって、
前記ストッパは、前記受入口から離れた面内で移動する、
固体ターゲット物質補給装置。
【請求項５】
請求項１に記載の固体ターゲット物質補給装置であって、
前記ストッパは、前記送出棒が往運動する場合に前記送出棒に押圧されて移動し、前記送出棒が復運動する場合にバネの復元力によって移動する、
固体ターゲット物質補給装置。
【請求項６】
請求項１に記載の固体ターゲット物質補給装置であって、
前記ストッパは、前記送出棒が往運動する場合に前記送出棒に固体ターゲット物質を介して押圧される第１の表面を有する、
固体ターゲット物質補給装置。
【請求項７】
請求項６に記載の固体ターゲット物質補給装置であって、
前記第１の表面は、前記送出棒の往運動の方向に対して傾斜している、
固体ターゲット物質補給装置。
【請求項８】
請求項６に記載の固体ターゲット物質補給装置であって、
前記ストッパは、前記送出棒に押圧されて前記第１の表面から離れた固体ターゲット物質が前記送出棒の復運動の方向に移動することを規制する第２の表面をさらに有する、
固体ターゲット物質補給装置。
【請求項９】
請求項８に記載の固体ターゲット物質補給装置であって、
前記第１の表面は、前記送出棒の往運動の方向に対して傾斜しており、
前記第２の表面は、前記送出棒の往運動の方向と前記第１の表面との角度よりも垂直に近い角度で前記送出棒の往運動の方向と交差する、
固体ターゲット物質補給装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の固体ターゲット物質補給装置であって、
前記ストッパは、前記送出棒が往運動する場合に固体ターゲット物質を介して押圧される第１の表面を含み、
前記送出棒が固体ターゲット物質を介して前記第１の表面を押圧して前記ストッパを前記管の外部に向けて移動させ、固体ターゲット物質が前記ストッパの前記第１の表面から離れた後、前記ストッパが前記送出棒に接触した状態で前記送出棒が復運動する、
固体ターゲット物質補給装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、固体ターゲット物質補給装置、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法に関する。
続きを表示（約 3,800 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、半導体プロセスの微細化に伴って、半導体プロセスの光リソグラフィにおける転写パターンの微細化が急速に進展している。次世代においては、１０ｎｍ以下の微細加工が要求されるようになる。このため、波長約１３ｎｍの極端紫外（ＥＵＶ）光を生成するＥＵＶ光生成装置と縮小投影反射光学系とを組み合わせた露光装置の開発が期待されている。
【０００３】
ＥＵＶ光生成装置としては、ターゲット物質にレーザ光を照射することによって生成されるプラズマが用いられるＬＰＰ（Laser Produced Plasma）式の装置の開発が進んでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
米国特許出願公開第２０２３／０００８７３３号明細書
特開平０７－０５１４１９号公報
特開２００３－１６４５５３号公報
特開平１０－１４６４５２号公報
特開平０８－０７１２０８号公報
特開２００７－０２０６４６号公報
【概要】
【０００５】
本開示の１つの観点に係る固体ターゲット物質補給装置は、固体ターゲット物質を収容する固体ターゲット容器と、固体ターゲット容器から供給された固体ターゲット物質が通過する第１の経路と、送出装置であって、第１の経路を通過した固体ターゲット物質を受け入れる受入口と、受入口に対向する対向面と、を含む管と、管の長さ方向に交互に往運動及び復運動することにより管の内部の固体ターゲット物質を送出する送出棒と、送出棒が往運動する場合に、管の外部に向けて移動することで、受入口と対向面との間の固体ターゲット物質を管の内部で移動させる通路を形成し、送出棒が復運動する場合に、管の内部に向けて移動することで、管の内部の固体ターゲット物質が受入口と対向面との間に戻ることを規制するストッパと、を含む、送出装置と、送出装置によって送出された固体ターゲット物質を極端紫外光生成装置の溶融ターゲット容器に補給する第２の経路と、を備える。
【０００６】
本開示の１つの観点に係る電子デバイスの製造方法は、固体ターゲット物質を収容する固体ターゲット容器と、固体ターゲット容器から供給された固体ターゲット物質が通過する第１の経路と、送出装置であって、第１の経路を通過した固体ターゲット物質を受け入れる受入口と、受入口に対向する対向面と、を含む管と、管の長さ方向に交互に往運動及び復運動することにより管の内部の固体ターゲット物質を送出する送出棒と、送出棒が往運動する場合に、管の外部に向けて移動することで、受入口と対向面との間の固体ターゲット物質を管の内部で移動させる通路を形成し、送出棒が復運動する場合に、管の内部に向けて移動することで、管の内部の固体ターゲット物質が受入口と対向面との間に戻ることを規制するストッパと、を含む、送出装置と、送出装置によって送出された固体ターゲット物質を極端紫外光生成装置の溶融ターゲット容器に補給する第２の経路と、を備える固体ターゲット物質補給装置と、固体ターゲット物質補給装置によって補給された固体ターゲット物質を溶融して溶融ターゲット物質を生成する溶融ターゲット容器と、溶融ターゲット容器で生成された溶融ターゲット物質を出射するノズルと、ノズルから出射されて所定領域に到達した溶融ターゲット物質にパルスレーザ光を照射するレーザ装置と、所定領域に生成されたプラズマから放出される極端紫外光を集光するＥＵＶ集光ミラーと、を備える極端紫外光生成装置によって極端紫外光を生成し、極端紫外光を露光装置に出力し、電子デバイスを製造するために、露光装置内で感光基板上に極端紫外光を露光することを含む。
【０００７】
本開示の１つの観点に係る電子デバイスの製造方法は、固体ターゲット物質を収容する固体ターゲット容器と、固体ターゲット容器から供給された固体ターゲット物質が通過する第１の経路と、送出装置であって、第１の経路を通過した固体ターゲット物質を受け入れる受入口と、受入口に対向する対向面と、を含む管と、管の長さ方向に交互に往運動及び復運動することにより管の内部の固体ターゲット物質を送出する送出棒と、送出棒が往運動する場合に、管の外部に向けて移動することで、受入口と対向面との間の固体ターゲット物質を管の内部で移動させる通路を形成し、送出棒が復運動する場合に、管の内部に向けて移動することで、管の内部の固体ターゲット物質が受入口と対向面との間に戻ることを規制するストッパと、を含む、送出装置と、送出装置によって送出された固体ターゲット物質を極端紫外光生成装置の溶融ターゲット容器に補給する第２の経路と、を備える固体ターゲット物質補給装置と、固体ターゲット物質補給装置によって補給された固体ターゲット物質を溶融して溶融ターゲット物質を生成する溶融ターゲット容器と、溶融ターゲット容器で生成された溶融ターゲット物質を出射するノズルと、ノズルから出射されて所定領域に到達した溶融ターゲット物質にパルスレーザ光を照射するレーザ装置と、所定領域に生成されたプラズマから放出される極端紫外光を集光するＥＵＶ集光ミラーと、を備える極端紫外光生成装置によって生成した極端紫外光をマスクに照射してマスクの欠陥を検査し、検査の結果を用いてマスクを選定し、選定したマスクに形成されたパターンを感光基板上に露光転写することを含む。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
図１は、ＬＰＰ式のＥＵＶ光生成システムの構成を示す。
図２は、比較例に係るＥＵＶ光生成システムのうちの液滴ターゲット生成装置の構成を示す。
図３は、比較例における送出装置の構成及び動作を示す。
図４は、比較例における送出装置の構成及び動作を示す。
図５は、比較例における送出装置の構成及び動作を示す。
図６は、比較例における送出装置の構成及び動作を示す。
図７は、比較例における送出棒の往運動の途中の様子を示す。
図８は、比較例における送出棒の往運動の途中の様子を示す。
図９は、第１の実施形態における送出装置の構成を示す。
図１０は、第１の実施形態における送出装置の構成を示す。
図１１は、第１の実施形態における送出装置の動作を示す。
図１２は、第１の実施形態における送出装置の動作を示す。
図１３は、第１の実施形態における送出装置の動作を示す。
図１４は、第１の実施形態における送出装置の動作を示す。
図１５は、第２の実施形態における送出装置の構成を示す。
図１６は、第２の実施形態の第１の変形例におけるストッパのテーパー部の断面図である。
図１７は、第２の実施形態の第２の変形例におけるストッパのテーパー部の断面図である。
図１８は、第３の実施形態における液滴ターゲット生成装置の構成を示す。
図１９は、ＥＵＶ光生成システムに接続された露光装置の構成を示す。
図２０は、ＥＵＶ光生成システムに接続された検査装置の構成を示す。
【実施形態】
【０００９】
＜内容＞
１．ＥＵＶ光生成システム１１の全体説明
１．１構成
１．２動作
２．比較例
２．１液滴ターゲット生成装置２６の構成
２．１．１固体ターゲット物質補給装置２６０
２．１．２溶融ターゲット容器Ｃ３
２．１．３ノズル５２
２．２液滴ターゲット生成装置２６の動作
２．３送出装置８の構成
２．４送出装置８の動作
２．５比較例の課題
３．ストッパ８２を傾けた送出装置８ａ
３．１送出装置８ａの構成
３．２送出装置８ａの動作
３．３作用
４．ストッパ８２が直線的に移動する送出装置８ｂ
４．１構成及び動作
４．２作用
５．第１の表面８２１が溝を含む送出装置８ｂ
５．１構成及び動作
５．２作用
６．第１及び第２の検出器Ｄ１及びＤ２を含む固体ターゲット物質補給装置２６０ｃ
６．１構成
６．２動作
６．３作用
７．その他
７．１ＥＵＶ光利用装置６
７．２補足
【００１０】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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