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公開番号2025127333
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-01
出願番号2024024012
出願日2024-02-20
発明の名称テープの貼着方法およびテープ貼着装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250825BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】被加工物にテープが適切に貼り付けられているかを確認できるテープの貼着方法およびテープ貼着装置を提供すること。
【解決手段】テープの貼着方法は、板状物にテープを貼着するテープの貼着方法であって、環状フレームの開口に位置付けられた板状物にテープを貼着し、テープを介して環状フレームと板状物とが一体化されたフレームユニットを形成するテープ貼着ステップ2と、テープ貼着ステップ2を実施した後、環状フレームおよび板状物に貼着されたテープの直径を測定する測定ステップ3と、測定ステップ3で測定したテープの直径に基づいて貼着状態の良否を判定する判定ステップ4と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
板状物にテープを貼着するテープの貼着方法であって、
環状フレームの開口に位置付けられた板状物にテープを貼着し、該テープを介して該環状フレームと該板状物とが一体化されたフレームユニットを形成するテープ貼着ステップと、
該テープ貼着ステップを実施した後、該環状フレームおよび該板状物に貼着された該テープの直径を測定する測定ステップと、
該測定ステップで測定したテープの該直径に基づいて貼着状態の良否を判定する判定ステップと、
を備える
ことを特徴とする、テープの貼着方法。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
該テープ貼着ステップを実施する前に、
該環状フレームおよび該板状物に貼着される該テープの直径を測定する事前測定ステップを更に備える
ことを特徴とする、請求項１に記載のテープの貼着方法。
【請求項３】
該判定ステップでは、
該事前測定ステップで測定した該テープの直径と、該測定ステップで測定した該テープの直径と、の変化率に基づいて、該貼着状態の良否を判定する
ことを特徴とする、請求項２に記載のテープの貼着方法。
【請求項４】
該判定ステップでは、
該測定ステップで測定した該テープの直径が所定の範囲内に収まっているか否かに基づいて、該貼着状態の良否を判定する
ことを特徴とする、請求項１に記載のテープの貼着方法。
【請求項５】
帯状のシートの長手方向に円形のテープを並べて貼着したテープユニットの該シートから該テープを剥離させて、環状フレームと該環状フレームの開口内に配設された板状物とに該テープを貼着するテープ貼着装置であって、
該環状フレームを保持する環状フレーム保持部と該環状フレームの該開口内で該板状物を保持する板状物保持部とを含む保持ユニットと、
該テープユニットを送り出す送り出しユニットと、
該テープが剥離された該シートを巻き取る巻き取りユニットと、
該送り出しユニットと該巻き取りユニットとの間に配設され、該シートに接触させることで該テープユニットを屈曲させて該シートから該テープを剥離させるピールプレートと、
該シートから剥離された該テープを該環状フレームと該板状物とに押し付けながら貼着する貼着ローラと、
該貼着ローラと該保持ユニットとを相対的に移動させる移動ユニットと、
各構成要素を制御するコントローラと、
を備え、
該環状フレームおよび該板状物に貼着された該テープの直径を測定する測定ユニットを更に備え、
該コントローラは、
該測定ユニットで測定した該テープの直径に基づいて貼着状態の良否を判定する判定部を有する
ことを特徴とする、テープ貼着装置。
【請求項６】
該送り出しユニットと該ピールプレートの間に配設され、
該帯状のシートに並べて貼着されたテープの直径を測定する事前測定ユニットを更に備える
ことを特徴とする、請求項５に記載のテープ貼着装置。
【請求項７】
該判定部は、
該事前測定ユニットで測定した該テープの直径と、該測定ユニットで測定した該テープの直径と、の変化率に基づいて、該貼着状態の良否を判定する
ことを特徴とする、請求項６に記載のテープ貼着装置。
【請求項８】
該判定部は、
該測定ユニットで測定した該テープの直径が所定の範囲内に収まっているか否かに基づいて、該貼着状態の良否を判定する
ことを特徴とする、請求項５に記載のテープ貼着装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープの貼着方法およびテープ貼着装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェーハ等の被加工物を加工する際には、被加工物の表面および裏面のいずれかまたは両面にテープが貼着される。例えば、裏面研削時には、デバイス保護のために表面側にテープが貼着され、ダイシング時には、ダイシング後のデバイスの取り扱いを容易にするため、裏面側にダイシングテープが貼着される。また、レーザー加工により内部に改質層が形成された被加工物にはエキスパンドテープが貼着され、エキスパンドテープを拡張することにより、改質層を起点として個々のデバイスに分割される（特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１９１４３０号公報
特開２０１８－００６６１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のように、被加工物には、加工の種類や段階に応じてテープが貼着されるが、テープが適切な張力で貼着されていない場合は、種々の問題を引き起こす要因となり得る。例えば、ダイシング時に裏面側に貼着されるダイシングテープの張力が適切でないと、ダイシング後に個々のデバイスが接触する等の要因となり得る。また、内部に改質層が形成された被加工物に貼着されたエキスパンドテープの張力が適切でなかったり、エキスパンド中においてエキスパンドテープが均一に拡張されていなかったりすると、被加工物にかかる力が均一にならず、チップに分割されない部分が生じる等の要因となり得る。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、被加工物にテープが適切に貼り付けられているかを確認できるテープの貼着方法およびテープ貼着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のテープの貼着方法は、板状物にテープを貼着するテープ貼着方法であって、環状フレームの開口に位置付けられた板状物にテープを貼着し、該テープを介して該環状フレームと該板状物とが一体化されたフレームユニットを形成するテープ貼着ステップと、該テープ貼着ステップを実施した後、該環状フレームおよび該板状物に貼着された該テープの直径を測定する測定ステップと、該測定ステップで測定したテープの該直径に基づいて貼着状態の良否を判定する判定ステップと、を備えることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明のテープの貼着方法において、該テープ貼着ステップを実施する前に、該環状フレームおよび該板状物に貼着される該テープの直径を測定する事前測定ステップを更に備えることが好ましい。
【０００８】
また、本発明のテープの貼着方法において、該判定ステップでは、該事前測定ステップで測定した該テープの直径と、該測定ステップで測定した該テープの直径と、の変化率に基づいて、該貼着状態の良否を判定してもよい。
【０００９】
また、本発明のテープの貼着方法において、該判定ステップでは、該測定ステップで測定した該テープの直径が所定の範囲内に収まっているか否かに基づいて、該貼着状態の良否を判定してもよい。
【００１０】
また、本発明のテープ貼着装置は、帯状のシートの長手方向に円形のテープを並べて貼着したテープユニットの該シートから該テープを剥離させて、環状フレームと該環状フレームの開口内に配設された板状物とに該テープを貼着するテープ貼着装置であって、該環状フレームを保持する環状フレーム保持部と該環状フレームの該開口内で該板状物を保持する板状物保持部とを含む保持ユニットと、該テープユニットを送り出す送り出しユニットと、該テープが剥離された該シートを巻き取る巻き取りユニットと、該送り出しユニットと該巻き取りユニットとの間に配設され、該シートに接触させることで該テープユニットを屈曲させて該シートから該テープを剥離させるピールプレートと、該シートから剥離された該テープを該環状フレームと該板状物とに押し付けながら貼着する貼着ローラと、該貼着ローラと該保持ユニットとを相対的に移動させる移動ユニットと、各構成要素を制御するコントローラと、を備え、該環状フレームおよび該板状物に貼着された該テープの直径を測定する測定ユニットを更に備え、該コントローラは、該測定ユニットで測定した該テープの直径に基づいて貼着状態の良否を判定する判定部を有することを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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