特許ウォッチ

公開番号2025124725
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-26
出願番号2025085269,2023524228
出願日2025-05-22,2022-05-26
発明の名称膜付部材
出願人京セラ株式会社
代理人弁理士法人ブナ国際特許事務所
主分類C04B 41/87 20060101AFI20250819BHJP(セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物)
要約【課題】紫外線やプラズマが照射される環境下で用いられても、長期間に亘って滑水性を維持することができる膜付部材を提供する。
【解決手段】本開示に係る膜付部材は、セラミックスからなる基材と、基材の少なくともいずれかの表面の一部に希土類元素の酸化物、弗化物、酸弗化物または窒化物の膜とを備えてなる。基材の表面の露出部は親水性を有し、膜の表面は撥水性を有する。また、本開示に係る膜付部材は、石英からなる基材と、基材の少なくともいずれかの表面の一部に希土類元素の酸化物、弗化物、酸弗化物または窒化物の膜とを備えてなる。基材の表面の露出部は親水性を有し、膜の表面は撥水性を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
セラミックスからなる基材と、
該基材の少なくともいずれかの表面の一部に希土類元素の酸化物、弗化物、酸弗化物または窒化物の膜とを備えてなる膜付部材であって、
前記基材の表面の露出部は親水性を有し、前記膜の表面は撥水性を有する、膜付部材。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記膜の表面は、粗さ曲線における２乗平均平方根傾斜（ＲΔｑ）の平均値が０．３以下である、請求項１に記載の膜付部材。
【請求項３】
前記膜の表面は、粗さ曲線における２５％の負荷長さ率での切断レベルと、前記粗さ曲線における７５％の負荷長さ率での切断レベルとの差を表す、切断レベル差（Ｒδｃ）の平均値が０．１７μｍ以下である、請求項１または２に記載の膜付部材。
【請求項４】
前記基材の表面の露出部は、粗さ曲線における２乗平均平方根傾斜（ＲΔｑ）の平均値が０．００１以上である、請求項１～３のいずれかに記載の膜付部材。
【請求項５】
前記基材の表面の露出部は、粗さ曲線における２５％の負荷長さ率での切断レベルと、前記粗さ曲線における７５％の負荷長さ率での切断レベルとの差を表す、切断レベル差（Ｒδｃ）の平均値が０．０１μｍ以上である、請求項１～４のいずれかに記載の膜付部材。
【請求項６】
石英からなる基材と、
該基材の少なくともいずれかの表面の一部に希土類元素の酸化物、弗化物、酸弗化物または窒化物の膜とを備えてなる膜付部材であって、
前記基材の表面の露出部は親水性を有し、前記膜の表面は撥水性を有する、膜付部材。
【請求項７】
前記膜の表面は、粗さ曲線における２乗平均平方根傾斜（ＲΔｑ）の平均値が０．００９以下である、請求項６に記載の膜付部材。
【請求項８】
前記膜の表面は、粗さ曲線における２５％の負荷長さ率での切断レベルと、前記粗さ曲線における７５％の負荷長さ率での切断レベルとの差を表す、切断レベル差（Ｒδｃ）の平均値が０．０１μｍ以下である、請求項６または７に記載の膜付部材。
【請求項９】
前記基材の表面の露出部は、粗さ曲線における２乗平均平方根傾斜（ＲΔｑ）の平均値が０．００２以上である、請求項６～８のいずれかに記載の膜付部材。
【請求項１０】
前記基材の表面の露出部は、粗さ曲線における２５％の負荷長さ率での切断レベルと、前記粗さ曲線における７５％の負荷長さ率での切断レベルとの差を表す、切断レベル差（Ｒδｃ）の平均値が０．００４μｍ以上である、請求項６～９のいずれかに記載の膜付部材。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、膜付部材に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、窓ガラス等の表面に撥水性を付与する場合、低分子フッ素化合物、フッ素樹脂、シリコーン等を塗布または化学蒸着して膜を形成する方法が一般的に用いられている。しかし、このような方法では、大きな水滴は流れ落ちるものの、小さな水滴は流れ落ちずに留まり、視認性が低下するという問題があった。このため、撥水性を維持するとともに、付着した水滴が速やかに流れ落ちる性質（滑水性）を備えた部材が求められている。
【０００３】
滑水性を高くするために、例えば、特許文献１では、基体と、その少なくとも一方の面に形成された撥水膜とを備え、撥水膜は、第１の撥水性領域と、この第１の撥水性領域に接する第２の撥水性領域とを含み、第１の撥水性領域の水接触角が４０°～１１０°であり、第２の撥水性領域の水接触角が第１の撥水性領域の水接触角より２０°以上高い撥水性基体が提案されている。
【０００４】
そして、第１の撥水性領域は、ポリフルオロアルキル基またはポリフルオロエーテルアルキル基を有する化合物、ハフニウムを含む酸化物、ジルコニウムを含む酸化物、およびアルミニウムを含む酸化物から選ばれる少なくとも１種を含む層からなり、第２の撥水性領域は、ポリフルオロアルキル基またはポリフルオロエーテルアルキル基を有する化合物を含む層からなることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１３－１３３２６４号公報
【発明の概要】
【０００６】
本開示に係る膜付部材は、セラミックスからなる基材と、基材の少なくともいずれかの表面の一部に希土類元素の酸化物、弗化物、酸弗化物または窒化物の膜とを備えてなる。基材の表面の露出部は親水性を有し、膜の表面は撥水性を有する。
【０００７】
本開示に係る膜付部材は、石英からなる基材と、基材の少なくともいずれかの表面の一部に希土類元素の酸化物、弗化物、酸弗化物または窒化物の膜とを備えてなる。基材の表面の露出部は親水性を有し、膜の表面は撥水性を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本開示の限定されない実施形態の膜付部材を示す平面図である。
本開示の限定されない実施形態の膜付部材を示す平面図である。
本開示の限定されない実施形態のプラズマ処理装置用部材を示す平面図である。
本開示の限定されない実施形態の膜付部材を示す平面図である。
本開示の限定されない実施形態の膜付部材を示す平面図である。
本開示の限定されない実施形態の膜付部材を得るためのスパッタ装置を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
特許文献１のように、第１の撥水性領域や第２の撥水性領域がポリフルオロアルキル基等の有機成分を含む層によって形成されていると、紫外線やプラズマが照射される環境下で用いられた場合、短期間で劣化するという問題があった。
【００１０】
本開示は、紫外線やプラズマが照射される環境下で用いられても、長期間に亘って滑水性を維持することができる膜付部材を提供する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許