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公開番号2025107428
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-17
出願番号2025080369,2024511194
出願日2025-05-13,2022-11-10
発明の名称接合体および弾性波素子
出願人日本碍子株式会社
代理人個人,個人
主分類H03H 9/25 20060101AFI20250710BHJP(基本電子回路)
要約【課題】弾性波素子のQ値向上を可能とするような接合体を提供することである。
【解決手段】接合体7は、支持基板1、およびこの支持基板1に対して接合されている圧電性材料層2Cを備えている。圧電性材料層2Cが、支持基板1に対して接合された第一の主面9および第一の主面9と反対側の第二の主面3aを有する。圧電性材料層2Cは、第二の主面3aに露出するアルゴン原子含有層3を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
支持基板、および
この支持基板に対して接合されている圧電性材料層を備えている接合体であって、
前記圧電性材料層が、前記支持基板に対して接合された第一の主面および前記第一の主面と反対側の第二の主面を有しており、かつ前記第二の主面に露出するアルゴン原子含有層を有することを特徴とする、接合体。
続きを表示（約 340 文字）【請求項２】
前記アルゴン原子含有層の厚さが1～10ｎｍであることを特徴とする、請求項１記載の接合体。
【請求項３】
前記アルゴン原子含有層におけるアルゴン原子含有量が平均1～10原子％であることを特徴とする、請求項１または２記載の接合体。
【請求項４】
前記圧電性材料層が、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウム－タンタル酸リチウムからなることを特徴とする、請求項１～３のいずれか一つの請求項に記載の接合体。
【請求項５】
請求項１～４のいずれか一つの請求項に記載の接合体、および
前記圧電性材料層の前記第二の主面上に設けられた電極
を備えていることを特徴とする、弾性波素子。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電性材料層と支持基板との接合体および弾性波素子に関するものである。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
携帯電話等に使用されるフィルタ素子や発振子として機能させることができる弾性表面波デバイスや、圧電薄膜を用いたラム波素子や薄膜共振子（ＦＢＡＲ：Film Bulk Acoustic Resonator）などの弾性波デバイスが知られている。こうした弾性波デバイスとしては、支持基板と弾性表面波を伝搬させる圧電性材料基板とを貼り合わせ、圧電性材料基板の表面に弾性表面波を励振可能な櫛形電極を設けたものが知られている。このように圧電性材料基板よりも小さな熱膨張係数を持つ支持基板を圧電性材料基板に貼付けることにより、温度が変化したときの圧電性材料基板の大きさの変化を抑制し、弾性表面波素子としての周波数特性の変化を抑制している。
【０００３】
こうした弾性表面波素子を作製する際には、支持基板上に圧電性材料基板を接合した後、圧電性材料基板の露出面を研削加工、研磨加工することによって、圧電性材料基板の厚さを小さくし、例えば２０μｍ以下とする。これによって弾性表面波の特性を向上させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
WO 2020－250490A1
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、こうしてえられた弾性表面波素子では、Ｑ値に更に改善の余地があることがわかった。特に0.3～6.0ＧＨｚにおいて改善の余地があった。
【０００６】
本発明の課題は、弾性波素子のＱ値向上を可能とするような接合体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、支持基板、および
この支持基板に対して接合されている圧電性材料層を備えている接合体であって、
前記圧電性材料層が、前記支持基板に対して接合された第一の主面および前記第一の主面と反対側の第二の主面を有しており、かつ前記第二の主面に露出するアルゴン原子含有層を有することを特徴とする、接合体にかかるものである。
【０００８】
また、本発明は、前記接合体、および
前記圧電性材料層の前記第二の主面上に設けられた電極
を備えていることを特徴とする、弾性波素子に係るものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明者は、圧電性材料基板を支持基板に対して接合し、次いで圧電性材料基板の表面（露出面）を研磨加工により薄くして圧電性材料層を形成した後、圧電性材料層の表面状態について種々検討した。しかし、研磨の度合いや研磨方法、砥石などを変更することによっては弾性波のＱ値の顕著な改善は実現できなかった。
【００１０】
そこで、圧電性材料基板の表面の加工方法を種々検討し、アルゴンイオンでイオントリミングすることを試みてみた。この結果、圧電性材料層の表面には薄い加工変質層が形成されていた。この上に電極を形成し、弾性波素子を作製してみたが、やはりＱ値の改善には限界があった。
（【００１１】以降は省略されています）

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