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公開番号2025100993
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-04
出願番号2025072024,2024509360
出願日2025-04-24,2023-09-04
発明の名称ウエハ載置台
出願人日本碍子株式会社
代理人弁理士法人アイテック国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250627BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】電極の抵抗値の増大を抑制しつつ、温度変化によって電極に作用する応力を抑制する。
【解決手段】ウエハ載置台10は、上面にウエハ載置面20aを有するセラミックス基体20と、セラミックス基体20に内蔵された電極22と、セラミックス基体20に内蔵され電極22と電気的に接続された導電性の電極取出部23と、を備える。電極取出部23は、電極22と比較してセラミックス基体20の主成分と同じセラミック材料の体積含有率が高い。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
上面にウエハ載置面を有するセラミックス基体と、
前記セラミックス基体に内蔵された電極と、
前記セラミックス基体に内蔵され前記電極と電気的に接続された導電性の電極取出部と、
を備え、
前記電極取出部は、前記電極と比較して前記セラミックス基体の主成分と同じセラミック材料の体積含有率が高い、
ウエハ載置台。
続きを表示（約 490 文字）【請求項２】
前記電極取出部の上面の一部は、前記セラミックス基体と接合されている基体接合領域となっている、
請求項１に記載のウエハ載置台。
【請求項３】
前記基体接合領域は、前記電極取出部の上面のうち外周縁部の一部を含む、
請求項２に記載のウエハ載置台。
【請求項４】
前記セラミックス基体のうち下面から挿入されるように配置されて前記電極取出部と電気的に接続された給電部材、
を備え、
前記電極取出部は、１つの前記給電部材に対して複数設けられている、
請求項１又は２に記載のウエハ載置台。
【請求項５】
前記電極取出部は、該電極取出部を上下方向に貫通する貫通孔を有する、
請求項１又は２に記載のウエハ載置台。
【請求項６】
前記電極取出部は、前記電極と比較して、上下方向の厚さが大きい、
請求項１又は２に記載のウエハ載置台。
【請求項７】
前記セラミック材料は、アルミナ又は窒化アルミニウムである、
請求項１又は２に記載のウエハ載置台。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ載置台に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ウエハ載置面を有するセラミックス基体と、セラミックス基体の内部に埋設された電極と、電極に給電するための給電部材と、を備えたウエハ載置台が知られている。特許文献１では、電極の一部である電極端子がセラミックス基体のウエハ載置面とは反対側の面に露出するように設けられており、給電部材と電極端子とが電気的に接続されている。また、電極には、導電性を有する材料を用いることや、導電性を有する材料とセラミックス基体の材料との混合物を用いることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１２－２１６７８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、電極端子（電極取出部）とセラミックス基体との間の熱膨張係数差が大きいと、温度変化により電極端子から電極に応力がかかり、電極の剥離や割れが生じる場合があった。特許文献１に記載されているように電極及び電極端子にセラミックス基体の材料を含有させることでセラミックス基体との間の熱膨張係数差を小さくすることができるが、電極にセラミックス基体の材料を多く含有させると電極の抵抗値が高くなってしまい、好ましくない。
【０００５】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、電極の抵抗値の増大を抑制しつつ、温度変化によって電極に作用する応力を抑制することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述した主目的を達成するために以下の手段を採った。
【０００７】
［１］本発明のウエハ載置台は、
上面にウエハ載置面を有するセラミックス基体と、
前記セラミックス基体に内蔵された電極と、
前記セラミックス基体に内蔵され前記電極と電気的に接続された導電性の電極取出部と、
を備え、
前記電極取出部は、前記電極と比較して前記セラミックス基体の主成分と同じセラミック材料の体積含有率が高い、
ものである。
【０００８】
このウエハ載置台では、電極取出部は、電極と比較してセラミックス基体の主成分と同じセラミック材料の体積含有率が高い。これにより、電極取出部はセラミックス基体との間の熱膨張係数差を小さくすることができる。したがって、温度変化によって電極取出部から電極に作用する応力に起因する電極の剥離や割れを抑制できる。一方、電極は、電極取出部と比較してセラミックス基体の主成分と同じセラミック材料の体積含有率が低いから、電極の抵抗値が高くなりすぎることによる不具合を抑制できる。以上のことから、このウエハ載置台では、電極の抵抗値の増大を抑制しつつ、温度変化によって電極に作用する応力を抑制できる。
【０００９】
［２］上述したウエハ載置台（前記［１］に記載のウエハ載置台）において、前記電極取出部の上面の一部は、前記セラミックス基体と接合されている基体接合領域となっていてもよい。こうすれば、電極取出部は基体接合領域においてセラミックス基体と密着するから、温度変化による電極取出部とセラミックス基体との間の熱膨張差による応力が生じても、その応力が電極に作用しにくい。
【００１０】
［３］上述したウエハ載置台（前記［２］に記載のウエハ載置台）において、前記基体接合領域は、前記電極取出部の上面のうち外周縁部の一部を含んでいてもよい。ここで、温度変化により電極に作用する応力は、特に電極取出部の上面のうち外周縁部の周囲において大きくなりやすい。そのため、この外周縁部の一部が基体接合領域に含まれることで、温度変化によって電極に作用する応力をより低減できる。
（【００１１】以降は省略されています）

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