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公開番号2025100482
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-03
出願番号2024224381
出願日2024-12-19
発明の名称ガスラインを断熱するための方法および装置
出願人エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/31 20060101AFI20250626BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ガスラインを断熱するための方法および装置を提供する。
【解決手段】本技術の様々な実施形態は、蒸気送達システムのための装置を提供し得る。蒸気送達システムは、発熱体およびガスラインを囲む断熱層を含み得る。断熱層は、空隙を有してもよく、ポリエーテルエーテルケトンから形成されてもよい。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
内部表面および対向する外部表面を含む側壁を有するガスラインと、
前記ガスラインを囲み、外向きの表面を有する金属層と、
前記金属層の前記外向きの表面に直接貼り付けられた第一の表面、および対向する第二の表面を有する発熱体と、
前記発熱体に隣接する断熱層と、
を有する、蒸気送達システムであって、
前記断熱層が複数の空隙を備える、
蒸気送達システム。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記断熱層が三重周期極小曲面構造を備える、請求項１に記載の蒸気送達システム。
【請求項３】
前記三重周期極小曲面構造が、ジャイロイド構造である、請求項１に記載の蒸気送達システム。
【請求項４】
前記断熱層が前記発熱体と直接接触する、請求項１に記載の蒸気送達システム。
【請求項５】
前記発熱体が可撓性発熱体である、請求項１に記載の蒸気送達システム。
【請求項６】
前記発熱体の前記第二の表面と前記断熱層との間に配設される複数のスペーサをさらに備える、請求項１に記載の蒸気送達システム。
【請求項７】
前記複数のスペーサがシリコンから形成され、１ｍｍ～３ｍｍの範囲の厚さを有する、請求項６に記載の蒸気送達システム。
【請求項８】
前記金属層がアルミニウムを備える、請求項１に記載の蒸気送達システム。
【請求項９】
前記断熱層がポリエーテルエーテルケトンから形成される、請求項１に記載の蒸気送達システム。
【請求項１０】
内部表面および対向する外部表面を含む側壁を有するガスラインと、
前記ガスラインを囲み、外向きの表面を有するアルミニウムで形成された金属層と、
前記金属層の前記外向きの表面に直接貼り付けられた第一の表面、および対向する第二の表面を有する可撓性発熱体と、
前記発熱体に隣接する断熱層と、
前記発熱体と前記断熱層との間の空隙と、
を備える、蒸気送達システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、概して、ガスラインを断熱するための方法および装置に関する。より詳細には、本開示は、ガスラインに貼り付けられた可撓性ヒーターを有するガスライン、および可撓性ヒーターと接触する空隙を有する断熱層に関する。
続きを表示（約 850 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造で使用される一部の反応チャンバは、前駆体および反応物質などの様々なガスを基板に送達し、基板上に膜を形成するために、ガス分配プレート（シャワーヘッドとも呼ばれる）を利用する。従来のガス分配プレートは、ガス分配プレート内の共有の貫通穴のセットを通して、前駆体および反応物質を順次提供する。一部の事例では、前駆体および反応物質を別個のプレナムを通して反応チャンバ内に送達することが有利であり得る。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
本技術の様々な実施形態は、蒸気送達システムを提供し得る。蒸気送達システムは、発熱体およびガスラインを囲む断熱層を含み得る。断熱層は、空隙を有してもよく、ポリエーテルエーテルケトンから形成されてもよい。
【０００４】
一態様によれば、蒸気送達システムは、内部表面および対向する外部表面を含む側壁を有するガスライン、ガスラインを囲み、外向きの表面を有する金属層、金属層の外向きの表面に直接貼り付けられた第一の表面と、対向する第二の表面とを有する発熱体、ならびに発熱体に隣接する断熱層を有し、断熱層は複数の空隙を備える。
【０００５】
一実施形態では、断熱層は、三重周期極小曲面構造を備える。
【０００６】
一実施形態では、三重周期極小曲面構造は、ジャイロイド構造である。
【０００７】
一実施形態では、断熱層は発熱体と直接接触する。
【０００８】
一実施形態では、発熱体は可撓性発熱体である。
【０００９】
一実施形態では、蒸気送達システムは、発熱体の第二の表面と断熱層との間に配置される複数のスペーサをさらに備える。
【００１０】
一実施形態では、複数のスペーサはシリコンから形成され、１ｍｍ～３ｍｍの範囲の厚さを有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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