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公開番号2025099367
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-03
出願番号2023215986
出願日2023-12-21
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人弁理士法人暁合同特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250626BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】インシュレータの交換作業を容易にする。
【解決手段】本開示の保持装置は、第1方向に直交する第1表面10Aと、第1表面10Aの反対側に位置する第2表面10Bと、を有する板状部材10と、第2表面10Bに対向する第3表面20Aと、第3表面20Aの反対側に位置する第4表面20Bと、を有し、第3表面20Aから第4表面20Bまで貫通する貫通孔25が形成された金属部20と、板状部材10の第2表面10Bの側に配置されたパッド52と、パッド52に接合された端子53と、端子53を囲うように配置された筒状のインシュレータ60と、絶縁性の絶縁部70と、を備え、インシュレータ60は、自身の一端61Aが板状部材10の第2表面10Bの側に配置され、かつ、自身の他端61Bが貫通孔25内までのびるように配置された第1インシュレータ61を含み、絶縁部70と第1インシュレータ61の一端61Aとの間にはプライマー73が配置されておらず、かつ、絶縁部70は、パッドから金属部20に至る経路を遮断する位置に固着されている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１方向に直交する第１表面と、前記第１表面の反対側に位置する第２表面と、を有する板状部材と、
前記第２表面に対向する第３表面と、前記第３表面の反対側に位置する第４表面と、を有し、前記第３表面から前記第４表面まで貫通する貫通孔が形成された金属部と、
前記板状部材の前記第２表面の側に配置されたパッドと、
前記パッドに接合された端子と、
前記端子を囲うように配置された筒状のインシュレータと、
絶縁性の絶縁部と、を備え、
前記インシュレータは、自身の一端が前記板状部材の前記第２表面の側に配置され、かつ、自身の他端が前記貫通孔内までのびるように配置された第１インシュレータを含み、
前記絶縁部と前記第１インシュレータの前記一端との間にはプライマーが配置されておらず、かつ、
前記絶縁部は、前記パッドから前記金属部に至る経路を遮断する位置に固着されている、保持装置。
続きを表示（約 570 文字）【請求項２】
前記板状部材は、前記パッドが底面に配置された有底のパッド孔を有し、
前記インシュレータは、前記第１インシュレータと、自身の一端が前記第１インシュレータの前記他端に面するように配置される第２インシュレータと、を有し、
前記第１インシュレータは、自身の前記一端が前記パッド孔内に配置され、
前記絶縁部は、前記第１インシュレータと前記パッド孔の内壁との間に配置された第１絶縁部と、前記第２インシュレータと前記貫通孔の内壁との間に配置された第２絶縁部と、を有し、前記第１インシュレータの前記他端と前記第２インシュレータの前記一端が前記第１絶縁部と前記第２絶縁部との少なくとも一方によって固着されている、請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
前記第１絶縁部は、シリコーンを主成分とする接着剤からなる第１樹脂と、熱伝導性を有するフィラーと、を備える、請求項２に記載の保持装置。
【請求項４】
前記第２絶縁部は、接着性のない第２樹脂と、前記第２樹脂と対象物との間に介在するプライマーと、を備える、請求項２に記載の保持装置。
【請求項５】
前記第１絶縁部と前記第２インシュレータの間には隙間が形成されている、請求項２から請求項４のいずれか１項に記載の保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、保持装置に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体を製造する際にウェハを保持する保持装置として、特開２０２１－６４６６１号公報（下記特許文献１）に記載の静電チャックが知られている。この静電チャックは、セラミックスにより形成された板状部材と、金属により形成されたベース部材と、これらを接合する接合部と、を備えている。静電チャックには、ベース部材の下面から板状部材の内部に至る端子用孔が形成されている。板状部材における端子用孔を構成する凹部の底面には、ビアを介してヒータ電極等の内部電極と電気的に接続された給電パッドが配置されている。ベース部材の端子用孔内には、絶縁性材料により形成された管状の絶縁管（インシュレーター）が配置されている。絶縁管の内部には、導電性を有する給電端子が配置されている。給電端子は、ろう付け部によって給電パッドに接合されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－６４６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の静電チャックでは、絶縁管により給電端子とベース部材との短絡を防止しているが、印加電圧が高くなると給電パッドとベース部材の間で放電が発生しやすくなる。放電を抑制するためには、給電パッドからベース部材に至る放電経路を絶縁性樹脂で遮断することが必要になる。ここで、より効果的に放電を抑制するには、接着剤やプライマーなどを用いて絶縁性樹脂と給電パッドとの界面に隙間が形成されないようにすることが有用である。
【０００５】
しかしながら、静電チャックの繰り返し使用による膨張・収縮の繰り返しで絶縁管に応力がかかる等して絶縁管が劣化してくると、放電を抑制できなくなるため、絶縁管の交換が必要になる。絶縁管を交換するには劣化した絶縁管を端子用孔から取り出す必要があるが、絶縁管が接着剤やプライマーを介して給電パッドに強く接着されているため絶縁管の取り外し性が悪化することが考えられる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の保持装置は、第１方向に直交する第１表面と、前記第１表面の反対側に位置する第２表面と、を有する板状部材と、前記第２表面に対向する第３表面と、前記第３表面の反対側に位置する第４表面と、を有し、前記第３表面から前記第４表面まで貫通する貫通孔が形成された金属部と、前記板状部材の前記第２表面の側に配置されたパッドと、前記パッドに接合された端子と、前記端子を囲うように配置された筒状のインシュレータと、絶縁性の絶縁部と、を備え、前記インシュレータは、自身の一端が前記板状部材の前記第２表面の側に配置され、かつ、自身の他端が前記貫通孔内までのびるように配置された第１インシュレータを含み、前記絶縁部と前記第１インシュレータの前記一端との間にはプライマーが配置されておらず、かつ、前記絶縁部は、前記パッドから前記金属部に至る経路を遮断する位置に固着されている、保持装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、インシュレータの交換作業を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、実施形態の静電チャックの外観構成を模式的に示す斜視図である。
図２は、静電チャックの模式的な断面図である。
図３は、図２のヒータ電極用給電端子付近を拡大して示す断面図である。
図４は、図３においてインシュレータを取り付ける前の状態を示す分解断面図である。
図５は、変形例のヒータ電極用給電端子付近を拡大して示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施形態を列挙して説明する。
（１）本開示の保持装置は、第１方向に直交する第１表面と、前記第１表面の反対側に位置する第２表面と、を有する板状部材と、前記第２表面に対向する第３表面と、前記第３表面の反対側に位置する第４表面と、を有し、前記第３表面から前記第４表面まで貫通する貫通孔が形成された金属部と、前記板状部材の前記第２表面の側に配置されたパッドと、前記パッドに接合された端子と、前記端子を囲うように配置された筒状のインシュレータと、絶縁性の絶縁部と、を備え、前記インシュレータは、自身の一端が前記板状部材の前記第２表面の側に配置され、かつ、自身の他端が前記貫通孔内までのびるように配置された第１インシュレータを含み、前記絶縁部と前記第１インシュレータの前記一端との間にはプライマーが配置されておらず、かつ、前記絶縁部は、前記パッドから前記金属部に至る経路を遮断する位置に固着されている、保持装置である。
【００１０】
パッドから金属部に至る経路を遮断する位置に絶縁部が固着されるように配置されているから、パッドと金属部の間で放電が発生することを抑制できる。劣化した第１インシュレータを交換する際には、一般的に接着力向上のために使用されるプライマーが第１インシュレータの一端と絶縁部との間に配置されていないため、交換作業が容易になる。
（【００１１】以降は省略されています）

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