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公開番号2025107663
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-22
出願番号2024000998
出願日2024-01-09
発明の名称保持部材
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人弁理士法人暁合同特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250714BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】凸部におけるアーキングを抑制しつつ、凸部と対象物との間の隙間からの熱伝導ガスのリークを抑制する。
【解決手段】保持部材10は、第1表面11Aを有する本体部11と、第1表面11Aから突出する複数の凸部12と、を備え、本体部11には、第1表面11Aに開口するガス流路50が形成され、複数の凸部12は、本体部11の外周側に配される外側凸部13と、本体部11の中央側に配される中央凸部14と、を含み、各凸部12の角部には、丸みを帯びた形状をなすアール部12Cが形成され、外側凸部13のアール部12Cの曲率半径は、中央凸部14のアール部12Cの曲率半径よりも小さく、かつ、外側凸部13の第1表面11Aからの突出寸法D1は、中央凸部14の第1表面11Aからの突出寸法D1よりも大きい。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１表面を有する本体部と、前記第１表面から突出する複数の凸部と、を備え、
前記本体部には、前記第１表面に開口するガス流路が形成され、
前記複数の凸部は、前記本体部の外周側に配される外側凸部と、前記本体部の中央側に配される中央凸部と、を含み、
各前記凸部の角部には、丸みを帯びた形状をなすアール部が形成され、
前記外側凸部の前記アール部の曲率半径は、前記中央凸部の前記アール部の曲率半径よりも小さく、かつ、
前記外側凸部の前記第１表面からの突出寸法は、前記中央凸部の前記第１表面からの突出寸法よりも大きい、保持部材。
続きを表示（約 310 文字）【請求項２】
前記本体部の内部の前記第１表面側には、電極部材が埋設されており、
前記凸部は、前記凸部が前記第１表面から突出する突出方向に直交する天面を有し、
前記外側凸部の前記天面と前記電極部材との前記突出方向における間隔は、前記中央凸部の前記天面と前記電極部材との前記突出方向における間隔よりも大きい、請求項１に記載の保持部材。
【請求項３】
前記本体部の内部の前記第１表面側には、電極部材が埋設されており、
前記凸部が前記第１表面から突出する突出方向から見たときに、前記電極部材は、前記凸部と重なる位置には形成されていない、請求項１または請求項２に記載の保持部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、保持部材に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、特許第６３４１４５７号公報（下記特許文献１）に記載の静電チャックが知られている。この静電チャックは、セラミック誘電体基板と、ヒータプレートと、べースプレートと、を備える。セラミック誘電体基板は、半導体ウェハ等の処理対象物を載置する第１主面と、第１主面とは反対側の第２主面と、を有する。セラミック誘電体基板の第１主面側には、必要に応じて凸部が設けられている。互いに隣り合う凸部の間には、溝が設けられている。溝は、互いに連通している。
【０００３】
静電チャックに搭載された処理対象物の裏面と、溝と、の間には、空間が形成される。溝には、ベースプレート及びセラミック誘電体基板を貫通する導入路が接続されている。処理対象物を吸着保持した状態で導入路からヘリウム（Ｈｅ）等の伝達ガスを導入すると、処理対象物と溝との間に設けられた空間に伝達ガスが流れ、処理対象物を伝達ガスによって直接加熱もしくは冷却することができるようになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６３４１４５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の構成において、処理対象物をプラズマ処理する際、凸部には電荷が集中するおそれがある。凸部に電荷が集中すると、凸部においてアーキング（異常放電、絶縁破壊）が発生する場合がある。凸部への電荷集中を抑制するには、凸部の角部に丸みを帯びた形状のアール部を形成することが考えられる。
【０００６】
しかし、凸部の角部にアール部を形成した場合、処理対象物の裏面と凸部の上面との接触面積が減少するため、伝達ガスが処理対象物と溝との間の空間からリークしやすくなることがありうる。
【０００７】
本開示は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、凸部におけるアーキングを抑制しつつ、凸部と対象物との間の隙間からの熱伝導ガスのリークを抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の保持部材は、第１表面を有する本体部と、前記第１表面から突出する複数の凸部と、を備え、前記本体部には、前記第１表面に開口するガス流路が形成され、前記複数の凸部は、前記本体部の外周側に配される外側凸部と、前記本体部の中央側に配される中央凸部と、を含み、各前記凸部の角部には、丸みを帯びた形状をなすアール部が形成され、前記外側凸部の前記アール部の曲率半径は、前記中央凸部の前記アール部の曲率半径よりも小さく、かつ、前記外側凸部の前記第１表面からの突出寸法は、前記中央凸部の前記第１表面からの突出寸法よりも大きい、保持部材である。
【発明の効果】
【０００９】
本開示によれば、凸部におけるアーキングを抑制しつつ、凸部と対象物との間の隙間からの熱伝導ガスのリークを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、実施形態１にかかる静電チャックの外観構成を模式的に示す斜視図である。
図２は、静電チャックの模式的な断面図である。
図３は、静電チャックの模式的な平面図である。
図４は、静電チャックの製造工程について説明する説明図である。
図５は、実施形態２にかかる静電チャックの模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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