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公開番号2025098419
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-02
出願番号2023214534
出願日2023-12-20
発明の名称情報処理装置、プログラム及び情報処理方法
出願人東京エレクトロン株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/66 20060101AFI20250625BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】複数の画像データから測長した測長箇所の寸法データとプロセス条件のパラメータとの相関関係の認識をより容易にする技術を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡によって撮像された複数の画像データを処理する情報処理装置であって、画像データを測長対象の領域とそれ以外の領域とに二値化する二値化処理部と、二値化した画像データから得られる測長対象の領域の輪郭データを用いて、測長対象の領域の複数の測長箇所の寸法データを測長する測長処理部と、画像データと対応付いた複数のパラメータを含むプロセス条件を用いて、複数の測長箇所の寸法データと複数のパラメータとの相関関係を視覚的に示す画像を出力する出力処理部と、を有する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
電子顕微鏡によって撮像された複数の画像データを処理する情報処理装置であって、
前記画像データを測長対象の領域とそれ以外の領域とに二値化する二値化処理部と、
二値化した前記画像データから得られる前記測長対象の領域の輪郭データを用いて、前記測長対象の領域の複数の測長箇所の寸法データを測長する測長処理部と、
前記画像データと対応付いた複数のパラメータを含むプロセス条件を用いて、前記複数の測長箇所の寸法データと前記複数のパラメータとの相関関係を視覚的に示す画像を出力する出力処理部と、
を有する情報処理装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記出力処理部は、前記複数の測長箇所の寸法データと前記複数のパラメータとの相関関係を視覚的に示す画像を、前記プロセス条件のパラメータ毎に出力する
請求項１記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記出力処理部は、前記複数の測長箇所の寸法データごとに算出された前記複数のパラメータとの相関係数を、前記画像データの前記複数の測長箇所に重畳して表示する
請求項１又は２記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記画像データと対応付いた複数のパラメータは、被撮像物を処理した際の前記プロセス条件に含まれる前記複数のパラメータであり、
前記出力処理部は、値の異なる前記パラメータと対応付いた複数の前記画像データの同一の前記測長箇所の寸法データを用いて、前記複数の測長箇所ごとに前記相関係数を算出する
請求項３記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記出力処理部は、前記画像データの前記複数の測長箇所に、一の前記パラメータとの前記相関係数を示す色を重畳して表示する
請求項３記載の情報処理装置。
【請求項６】
電子顕微鏡によって撮像された複数の画像データを処理する情報処理装置に、
前記画像データを測長対象の領域とそれ以外の領域とに二値化する二値化処理工程、
二値化した前記画像データから得られる前記測長対象の領域の輪郭データを用いて、前記測長対象の領域の複数の測長箇所の寸法データを測長する測長処理工程、
前記画像データと対応付いた複数のパラメータを含むプロセス条件を用いて、前記複数の測長箇所の寸法データと前記複数のパラメータとの相関関係を視覚的に示す画像を出力する出力処理工程、
を実行させるプログラム。
【請求項７】
電子顕微鏡によって撮像された複数の画像データを処理する情報処理装置の情報処理方法であって、
前記画像データを測長対象の領域とそれ以外の領域とに二値化することと、
二値化した前記画像データから得られる前記測長対象の領域の輪郭データを用いて、前記測長対象の領域の複数の測長箇所の寸法データを測長することと、
前記画像データと対応付いた複数のパラメータを含むプロセス条件を用いて、前記複数の測長箇所の寸法データと前記複数のパラメータとの相関関係を視覚的に示す画像を出力することと、
を有する情報処理方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、情報処理装置、プログラム及び情報処理方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡によって撮像された撮像画像から抽出したパターンの輪郭線から寸法計測値を算出する方法は、従来から知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
例えば、撮像画像から測長された測長箇所の寸法データは、人の手によって表又はグラフ形式で表現され、解析に利用されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１４－１６３６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本開示は、複数の画像データから測長した測長箇所の寸法データとプロセス条件のパラメータとの相関関係の認識をより容易にする技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様は、電子顕微鏡によって撮像された複数の画像データを処理する情報処理装置であって、前記画像データを測長対象の領域とそれ以外の領域とに二値化する二値化処理部と、二値化した前記画像データから得られる前記測長対象の領域の輪郭データを用いて、前記測長対象の領域の複数の測長箇所の寸法データを測長する測長処理部と、前記画像データと対応付いた複数のパラメータを含むプロセス条件を用いて、前記複数の測長箇所の寸法データと前記複数のパラメータとの相関関係を視覚的に示す画像を出力する出力処理部と、を有する。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、複数の画像データから測長した測長箇所の寸法データとプロセス条件のパラメータとの相関関係の認識をより容易にする技術を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本実施形態に係る基板処理システムの一例の構成図である。
コンピュータの一例のハードウェア構成図である。
本実施形態に係る情報処理装置の機能を示した一例の構成図である。
本実施形態に係る情報処理装置の処理の一例のフローチャートである。
測長対象の画像データの一例のイメージ図である。
ノイズが低減された測長対象の画像データの一例のイメージ図である。
測長対象の画像データの一例のイメージ図である。
測長対象の画像データの画像ヒストグラムの一例を示す図である。
測長対象の画像データの画像ヒストグラムと測長対象の領域との関係を示す一例の図である。
測長対象の画像データ及び二値化した測長対象の画像データの一例のイメージ図である。
二値化した測長対象の画像データの複数の測長箇所を示す一例のイメージ図である。
複数の測長箇所の寸法データとプロセスパラメータとの相関関係を示す一例のグラフ図である。
測長対象の画像データの複数の測長箇所の寸法データと複数のプロセスパラメータとの相関関係をプロセスパラメータごとに示すマッピング画像の一例のイメージ図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して、本開示の実施形態の説明を行う。本実施形態では、膜厚寸法とプロセス条件に含まれるパラメータ（プロセスパラメータ）との相関関係の例を説明するが、膜厚寸法に限定するものではなく、パターン寸法などであってもよい。
【００１０】
＜システム構成＞
図１は、本実施形態に係る基板処理システム１の一例の構成図である。図１に示す基板処理システム１は、基板処理装置１０、装置制御コントローラ２０、情報処理装置２２、電子顕微鏡２４、及び情報記憶装置２６を有している。
（【００１１】以降は省略されています）

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