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公開番号2025096722
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-27
出願番号2025036168,2021067475
出願日2025-03-07,2021-04-13
発明の名称可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、物体認識装置、計測装置、ロボット、移動体及び車両
出願人株式会社リコー
代理人弁理士法人ITOH
主分類G02B 26/10 20060101AFI20250620BHJP(光学)
要約【課題】可動装置に作用する加速度に応じた可動部のずれを抑制すること。
【解決手段】本可動装置は、可動部と、前記可動部を回動軸周りに回動可能な駆動部と、を備え、前記駆動部は、複数の梁部と、隣り合う前記梁部を接続する第1の接続部と、前記梁部と前記可動部を接続する第2の接続部と、を有し、前記第2の接続部のうち、前記回動軸と直交する直交方向で前記回動軸から最も離れた部分と、前記回動軸と、の間の距離は、前記可動部のうち、前記直交方向で前記回動軸から最も離れた部分と、前記回動軸と、の間の距離よりも長い。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
可動部と、
前記可動部を回動軸周りに回動可能な駆動部と、を備え、
前記駆動部は、
複数の梁部と、
隣り合う前記梁部を接続する第１の接続部と、
前記梁部と前記可動部とを接続する第２の接続部と、を有し、
前記第２の接続部のうち、前記回動軸と直交する直交方向で前記回動軸から最も離れた部分と、前記回動軸と、の間の距離は、前記第１の接続部のうち、前記直交方向で前記回動軸から最も離れた部分と、前記回動軸と、の間の距離よりも長いことを特徴とする可動装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記駆動部は、前記第２の接続部を介して前記回動軸と交差する方向で前記可動部に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の可動装置。
【請求項３】
前記第２の接続部のうち、前記直交方向で前記回動軸から最も離れた部分と、前記回動軸と、の間の距離をＬ１とし、前記可動部のうち、前記直交方向で前記回動軸から最も離れた部分と、前記回動軸と、の間の距離をＬ２とし、前記第１の接続部のうち、前記直交方向で前記回動軸から最も離れた部分と、前記回動軸と、の間の距離をＬ３とすると、以下の（１）式の条件を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の可動装置。
Ｌ１＞Ｌ３＞Ｌ２・・・（１）
【請求項４】
前記第２の接続部のうち、前記直交方向で前記回動軸から最も離れた部分と、前記回動軸と、の間の距離をＬ１とし、前記可動部のうち、前記直交方向で前記回動軸から最も離れた部分と、前記回動軸と、の間の距離をＬ２とし、前記第１の接続部のうち、前記直交方向で前記回動軸から最も離れた部分と、前記回動軸と、の間の距離をＬ３とすると、以下の（２）式の条件を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の可動装置。
Ｌ１＞Ｌ２＞Ｌ３・・・（２）
【請求項５】
前記第２の接続部が前記可動部に接続する位置は、前記回動軸に沿った方向において前記可動部の中央よりも前記駆動部側であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の可動装置。
【請求項６】
前記第２の接続部が前記可動部に接続する位置は、前記回動軸に沿った方向において前記可動部の中央であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の可動装置。
【請求項７】
前記第２の接続部が前記可動部に接続する位置は、前記回動軸に沿った方向において前記可動部の中央よりも前記駆動部とは反対側であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の可動装置。
【請求項８】
前記可動部と、前記第２の接続部と、の結合形状は、平面視が平行四辺形状であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の可動装置。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れか１項に記載の可動装置と、
光を発する光源と、
を備え、
前記光源から発せられた光を偏向して投影することを特徴とする画像投影装置。
【請求項１０】
前記光源は複数設けられており、
前記複数の光源は、異なる波長の光を発するものであって、
前記複数の光源から発した前記複数の光を合成する合成部を更に備え、
前記合成部において合成された光を偏向して投影することを特徴とする請求項９に記載の画像投影装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、物体認識装置、計測装置、ロボット、移動体及び車両に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、半導体製造技術を応用したマイクロマシニング技術の発達に伴い、シリコンやガラスを微細加工して製造されるＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)デバイスの開発が進んでいる。
【０００３】
ＭＥＭＳデバイスとして、例えば、ミラー部を支持する支持部と、一端がミラー部に、他端が支持部にそれぞれ連結され、圧電駆動によりミラー部を支持部に対して所定の軸周りに揺動させる圧電アクチュエータと、支持部に伝達される振動を検知する検知用圧電素子とを備える構成が開示されている（例えば、特許文献１参照）。この圧電アクチュエータは、複数の圧電カンチレバーを折り返し状に連結して構成されており、検知用圧電素子は支持部に配置されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記に例示した光偏向器の構成では、光偏向器等の可動装置に加速度が作用した場合に、作用する加速度に応じてミラー部等の可動部にずれが生じることで、所望の方向に光を偏向できない懸念がある。
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであって、可動装置に作用する加速度に応じた可動部のずれを抑制することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る可動装置は、可動部と、前記可動部を回動軸周りに回動可能な駆動部と、を備え、前記駆動部は、複数の梁部と、隣り合う前記梁部を接続する第１の接続部と、前記梁部と前記可動部を接続する第２の接続部と、を有し、前記第２の接続部のうち、前記回動軸と直交する直交方向で前記回動軸から最も離れた部分と、前記回動軸と、の間の距離は、前記可動部のうち、前記直交方向で前記回動軸から最も離れた部分と、前記回動軸と、の間の距離よりも長い。
【０００７】
本発明の一態様に係る可動装置は、可動部と、前記可動部を回動軸周りに回動可能な駆動部と、を備え、前記駆動部は、複数の梁部と、隣り合う前記梁部を接続する第１の接続部と、前記梁部と前記可動部とを接続する第２の接続部と、を有し、前記第２の接続部のうち、前記回動軸と直交する直交方向で前記回動軸から最も離れた部分と、前記回動軸と、の間の距離は、前記第１の接続部のうち、前記直交方向で前記回動軸から最も離れた部分と、前記回動軸と、の間の距離よりも長い。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、可動装置に作用する加速度に応じた可動部のずれを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１実施形態に係る可動装置の光偏向器を例示する平面図である。
図１のＡ－Ａ切断線に沿う断面図である。
加速度が作用した場合の可動部のずれを例示する図である。
第１変形例に係る光偏向器を例示する平面図である。
第２変形例に係る光偏向器を例示する平面図である。
第３変形例に係る光偏向器を例示する平面図である。
第４変形例に係る光偏向器を例示する平面図である。
第５変形例に係る光偏向器を例示する平面図である。
光走査システムの一例の概略図である。
光走査システムの一例のハードウェア構成図である。
制御装置の一例の機能ブロック図である。
光走査システムに係る処理の一例のフローチャートである。
ヘッドアップディスプレイ装置搭載の自動車の一例の図である。
ヘッドアップディスプレイ装置の一例の概略図である。
ライダ装置を搭載した自動車の一例の概略図である。
ライダ装置の一例の概略図である。
パッケージングされた可動装置の一例を示す概略図である。
三次元計測装置のブロック図である。
対象物に計測用パターンが投影されている状態例の図である。
ロボットの多関節を有するロボットアームを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について詳細に説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を適宜省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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