特許ウォッチ

公開番号2025093417
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-24
出願番号2023209034
出願日2023-12-12
発明の名称基板把持装置
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250617BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板の厚さや反り形状にかかわらず、基板を確実に把持することができる基板把持装置を提供する。
【解決手段】基板把持装置は、フォロアピン40および基板支持面41を有する支持部材2と、支持部材2に対して相対的に移動可能な可動ロッド5と、基板Wのエッジを把持するためのチャック7を備える。チャック7は、屈曲した形状のガイド長穴50を有し、フォロアピン40は、ガイド長穴50内に配置され、かつガイド長穴50に対して相対的に移動可能である。ガイド長穴50は、第1区間51、第2区間52、および連結区間53を有し、第1区間51は連結区間53から上方に延び、第2区間52は第1区間51とは異なる方向に延びる。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
基板を把持するための基板把持装置であって、
フォロアピンおよび基板支持面を有する支持部材と、
前記支持部材に対して相対的に移動可能な可動ロッドと、
前記基板のエッジを把持するためのチャックと、
前記チャックを前記可動ロッドに回転可能に連結する連結軸を備え、
前記チャックは、屈曲した形状のガイド長穴を有し、
前記フォロアピンは、前記ガイド長穴内に配置され、かつ前記ガイド長穴に対して相対的に移動可能であり、
前記ガイド長穴は、第１区間、第２区間、および前記第１区間と前記第２区間内に位置する連結区間を有し、
前記第１区間は前記連結区間から上方に延び、
前記第２区間は前記第１区間とは異なる方向に延びる、基板把持装置。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記フォロアピンが前記第１区間内に位置しているときの前記第１区間は、前記可動ロッドの移動方向と平行である、請求項１に記載の基板把持装置。
【請求項３】
前記ガイド長穴は、前記連結軸に隣接している、請求項１に記載の基板把持装置。
【請求項４】
前記第２区間は、前記第１区間と前記連結軸との間に位置している、請求項１に記載の基板把持装置。
【請求項５】
基板を把持するための基板把持装置であって、
フォロアピンおよび基板支持面を有する支持部材と、
前記支持部材に対して相対的に移動可能な可動ロッドと、
前記基板のエッジを把持するためのチャックと、
前記チャックを前記可動ロッドに回転可能に連結する連結軸を備え、
前記チャックは、屈曲した形状のガイド長穴を有し、
前記フォロアピンは、前記ガイド長穴内に配置され、かつ前記ガイド長穴に対して相対的に移動可能であり、
前記ガイド長穴は、第１区間、第２区間、および前記第１区間と前記第２区間内に位置する連結区間を有し、
前記第２区間は前記第１区間とは異なる方向に延び、
前記フォロアピンが前記第１区間内に位置しているときの前記第１区間は、前記可動ロッドの移動方向と平行である、基板把持装置。
【請求項６】
基板を把持するための基板把持装置であって、
基板支持面を有する支持部材と、
前記支持部材に対して相対的に移動可能な可動ロッドと、
前記基板のエッジを把持するためのチャックと、
前記チャックを前記可動ロッドに回転可能に連結する連結軸を備え、
前記支持部材は、屈曲した形状のガイド長穴を有し、
前記チャックは、フォロアピンを有し、
前記フォロアピンは、前記ガイド長穴内に配置され、かつ前記ガイド長穴に対して相対的に移動可能であり、
前記ガイド長穴は、第１区間、第２区間、および前記第１区間と前記第２区間内に位置する連結区間を有し、
前記第１区間は前記連結区間から下方に延び、
前記第２区間は前記第１区間とは異なる方向に延びる、基板把持装置。
【請求項７】
前記第１区間は、前記可動ロッドの移動方向と平行である、請求項６に記載の基板把持装置。
【請求項８】
前記ガイド長穴は、前記連結軸に隣接している、請求項６に記載の基板把持装置。
【請求項９】
前記第１区間は、前記第２区間と前記連結軸との間に位置している、請求項６に記載の基板把持装置。
【請求項１０】
基板を把持するための基板把持装置であって、
基板支持面を有する支持部材と、
前記支持部材に対して相対的に移動可能な可動ロッドと、
前記基板のエッジを把持するためのチャックと、
前記チャックを前記可動ロッドに回転可能に連結する連結軸を備え、
前記支持部材は、屈曲した形状のガイド長穴を有し、
前記チャックは、フォロアピンを有し、
前記フォロアピンは、前記ガイド長穴内に配置され、かつ前記ガイド長穴に対して相対的に移動可能であり、
前記ガイド長穴は、第１区間、第２区間、および前記第１区間と前記第２区間内に位置する連結区間を有し、
前記第２区間は前記第１区間とは異なる方向に延び、
前記第１区間は、前記可動ロッドの移動方向と平行である、基板把持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は基板把持装置に関し、特にウェーハなどの基板の洗浄装置や乾燥装置に適用することができる基板把持装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程では、研磨処理やめっき処理の後に基板の洗浄処理や乾燥処理が行われる。例えば、基板の洗浄処理では、基板を基板把持装置で把持しつつ基板を回転させ、この状態で基板に洗浄液を供給する。スポンジなどからなるスクラブ洗浄具は、回転する基板の表面上を移動しながら、基板の表面をスクラブ洗浄する。
【０００３】
図１０は、従来の基板把持装置の一例を示す図である。この基板把持装置は、可動ロッド５００に連結されたチャック５０１を備えている。チャック５０１はピボット軸５０３を中心に回転可能である。可動ロッド５００は水平に延びる長穴５０５を有しており、チャック５０１は、長穴５０５内に配置されたピン５０７を有している。可動ロッド５００が上下動すると、チャック５０１はピボット軸５０３を中心に回転する。図１０は、可動ロッド５００が下降して、チャック５０１が基板Ｗのエッジを把持している様子を示している。
【０００４】
チャック５０１は、基板Ｗのエッジを覆うようにして基板Ｗを把持する。基板Ｗの最外端からチャック５０１の先端までの距離を、本明細書ではオーバーラップ量Ｌと称する。このオーバーラップ量Ｌは、基板Ｗの把持の安定性のみならず、基板Ｗの洗浄結果にも影響する。すなわち、オーバーラップ量Ｌが小さすぎると、基板Ｗはチャック５０１から外れやすくなる。その一方で、オーバーラップ量Ｌが大きすぎると、基板Ｗの洗浄領域が小さくなる。すなわち、スクラブ洗浄具は、回転するチャック５０１に接触しない範囲内で基板Ｗの表面を洗浄するので、オーバーラップ量Ｌが大きくなると、基板Ｗの洗浄領域が小さくなる。
【０００５】
図１１は、図１０に示す基板Ｗよりも厚い基板Ｗをチャック５０１が把持している様子を示す図である。図１０と図１１との比較から分かるように、基板Ｗの厚さによって、オーバーラップ量Ｌが変わる。言い換えれば、基板Ｗの厚さによって、基板Ｗの把持の安定性および基板Ｗの洗浄結果が代わりうる。このような問題は、基板把持装置を乾燥装置に適用した場合にも起こりうる。
【０００６】
図１２は、反った基板Ｗをチャック５０１が把持しようとしているときの図であり、図１３は、図１１に示す基板Ｗよりもさらに厚い基板Ｗをチャック５０１が把持しようとしているときの図である。図１２および図１３に示すように、反った基板Ｗまたは厚い基板Ｗのエッジが、チャック５０１の可動範囲外にあるときは、チャック５０１はこれら基板Ｗを把持することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０１４－１３３６４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明は、基板の厚さや反り形状にかかわらず、基板を確実に把持することができる基板把持装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
一態様では、基板を把持するための基板把持装置であって、フォロアピンおよび基板支持面を有する支持部材と、前記支持部材に対して相対的に移動可能な可動ロッドと、前記基板のエッジを把持するためのチャックと、前記チャックを前記可動ロッドに回転可能に連結する連結軸を備え、前記チャックは、屈曲した形状のガイド長穴を有し、前記フォロアピンは、前記ガイド長穴内に配置され、かつ前記ガイド長穴に対して相対的に移動可能であり、前記ガイド長穴は、第１区間、第２区間、および前記第１区間と前記第２区間内に位置する連結区間を有し、前記第１区間は前記連結区間から上方に延び、前記第２区間は前記第１区間とは異なる方向に延びる、基板把持装置が提供される。
【００１０】
一態様では、前記フォロアピンが前記第１区間内に位置しているときの前記第１区間は、前記可動ロッドの移動方向と平行である。
一態様では、前記ガイド長穴は、前記連結軸に隣接している。
一態様では、前記第２区間は、前記第１区間と前記連結軸との間に位置している。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許