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公開番号2025083242
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-30
出願番号2023197034
出願日2023-11-20
発明の名称振動型アクチュエータ、光学機器、電子機器
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H02N 2/04 20060101AFI20250523BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】駆動時における異音の発生が低減された振動型アクチュエータを提供する。
【解決手段】弾性体と電気-機械エネルギ変換素子とを有する振動体と、振動体と加圧され接触する接触体と、を備え、振動体の振動により、振動体と接触体とを相対移動させる振動型アクチュエータであって、弾性体と電気-機械エネルギ変換素子との間に中間部材を有し、中間部材は、貫通穴、溝、またはスリットの少なくとも1つを有することを特徴とする。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
弾性体と電気－機械エネルギ変換素子とを有する振動体と、
前記振動体と加圧され接触する接触体と、を備え、
前記振動体の振動により、前記振動体と前記接触体とを相対移動させる振動型アクチュエータであって、
前記弾性体と前記電気－機械エネルギ変換素子との間に中間部材を有し、
前記中間部材は、貫通穴、溝、またはスリットの少なくとも１つを有することを特徴とする振動型アクチュエータ。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記弾性体と前記中間部材は、矩形かつ平板状の形状を有することを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項３】
前記弾性体は前記接触体と接触する接触部を有し、
前記中間部材は、前記振動体が前記接触体に対して加圧される加圧方向において、前記弾性体の前記接触部がある面とは反対側の面に接着され、前記電気－機械エネルギ変換素子は、前記加圧方向において、前記中間部材の前記弾性体との接着面とは反対側の面に接着されていることを特徴とする請求項１または２に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項４】
前記中間部材の貫通穴は、前記中間部材の前記弾性体との接着面から前記電気－機械エネルギ変換素子との接着面へ貫通している貫通穴であることを特徴とする請求項３に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項５】
前記中間部材の溝は、前記中間部材の前記弾性体との接着面に開口を有し、
前記中間部材の前記電気－機械エネルギ変換素子との接着面は、一様な平面形状であることを特徴とする請求項３に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項６】
前記中間部材が、複数の平板によって構成されており、
前記複数の平板が、それぞれの間に空隙がある状態で前記弾性体及び前記電気－機械エネルギ変換素子と接着されていることで、前記中間部材のスリットが形成されていることを特徴とする請求項３に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項７】
前記中間部材の前記貫通穴、前記溝、または前記スリットは、前記中間部材の中心を通る前記相対移動の方向の軸、および、前記相対移動の方向と前記加圧方向とに直交する方向の軸に対して、それぞれ対称な位置に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項８】
前記中間部材の前記貫通穴、前記溝、または前記スリットは、前記振動型アクチュエータの駆動に用いる振動とは異なる振動の節近傍に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項９】
前記中間部材の前記貫通穴、前記溝、または前記スリットは、前記相対移動の方向に延びた長穴形状を有することを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項１０】
前記中間部材は、複数の貫通穴を有し、
前記複数の貫通穴は、前記相対移動の方向に沿って並んで設けられていることを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動型アクチュエータ、光学機器、および電子機器に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
一般に、振動型アクチュエータは、振動体と被駆動体（接触体）とを加圧接触させ、振動体に励起した振動により振動体と被駆動体とを相対的に摩擦駆動させることにより、駆動力を得る。そのため、振動型アクチュエータは構造が簡素であり、薄型であるとともに、高精度で静粛な駆動が可能である。振動型アクチュエータは、レンズが移動可能なレンズ鏡筒、雲台などの旋回駆動装置、ＦＡ（ファクトリーオートメーション）などの生産装置、ＯＡ機器などの駆動モータとして適用されてきた。
【０００３】
例えば、特許文献１には、振動型アクチュエータの部品点数を削減し小型化するとともに、異音の発生を抑制する技術が記載されている。具体的には、特許文献１に記載の振動型アクチュエータは、振動体を保持する保持部材が、振動体に発生する振動の節近傍の位置を接触加圧することにより振動体の姿勢を保持する構造となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２０－１９８６５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示される振動型アクチュエータでは、駆動に用いる振動モードの共振周波数よりも高い周波数から、共振周波数に近づけるように交流電圧の周波数を掃引すると、特定の周波数領域で「鳴き」と呼ばれる異音が発生することがある。
【０００６】
具体的には、交流電圧の周波数の掃引時に励振される４倍の高調波成分が通過する周波数領域において、駆動に用いる振動とは異なる不要振動が自励振動として発生する。この不要振動が発生すると、振動体と被駆動体との接触が不安定になり、交流電圧の周波数の１／２分数調波振動や様々な不要振動が発生する。そして、これらの不要振動ともとの振動の周波数の差が可聴域の振動となって発生するため異音発生の原因となり、また、振動型アクチュエータの駆動が不安定になる。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、駆動時における異音の発生が低減された振動型アクチュエータを提供することにある。また、本発明の別の目的は、駆動時における異音の発生が低減された振動型アクチュエータを備える光学機器または電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的は以下の本発明によって達成される。すなわち、本発明によれば、弾性体と電気－機械エネルギ変換素子とを有する振動体と、振動体と加圧され接触する接触体と、を備え、振動体の振動により、振動体と接触体とを相対移動させる振動型アクチュエータであって、弾性体と電気－機械エネルギ変換素子との間に中間部材を有し、中間部材は、貫通穴、溝、またはスリットの少なくとも１つを有することを特徴とする振動型アクチュエータが提供される。
【０００９】
また、本発明によれば、弾性体と電気－機械エネルギ変換素子とを有する振動体と、振動体と加圧され接触する接触体と、を備え、振動体の振動により、振動体と接触体とを相対移動させる振動型アクチュエータであって、弾性体と電気－機械エネルギ変換素子との間に中間部材を有し、中間部材は、貫通穴、溝、またはスリットの少なくとも１つを有することを特徴とする振動型アクチュエータを備える光学機器または電子機器が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、駆動時における異音の発生が低減された振動型アクチュエータを提供することができる。また、本発明によれば、駆動時における異音の発生が低減された振動型アクチュエータを備える光学機器または電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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