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公開番号2024169126
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-05
出願番号2023086343
出願日2023-05-25
発明の名称X線回折測定装置
出願人株式会社不二越
代理人個人,個人
主分類G01N 23/205 20180101AFI20241128BHJP(測定;試験)
要約【課題】X線回折測定装置を小型化する。
【解決手段】X線回折測定装置は、基板16と、基板15の孔から試料へX線を照射するコリメータ12と、基板16上において、コリメータ12の中心からの距離がD₁の位置に設けられ、試料から回折した回折環を検出するチップ15Aとチップ15Bと、コリメータの中心からの距離がD₁より長いD₂の位置に設けられ、試料から回折した回折環を検出するチップ16を備える。D₁とD₂とは、α相とγ相のそれぞれに対応した回折角等のパラメータを用いた関係式により示される。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
基板と、
前記基板の孔から試料へＸ線を照射するコリメータと、
前記基板上において、前記コリメータの中心からの距離Ｄ
１
は、検出面から前記試料までの距離をＣ
Ｌ
とし、第１の相に対応する回折角を２θ
０１
とし、前記距離Ｄ
１
と平行な前記検出面の幅をＷ
１
とすると、
TIFF
2024169126000012.tif
30
170
となり、前記試料から回折した回折環を検出する第１検出部と、
前記基板上において、前記コリメータの中心からの距離Ｄ
２
は、前記距離Ｄ
１
より長く、前記第１の相とは異なり回折角が２θ
０１
と異なる第２の相に対応する回折角を２θ
０２
とし、前記距離Ｄ
２
と平行な前記検出面の幅をＷ
２
とすると、
TIFF
2024169126000013.tif
28
170
となり、前記試料から回折した回折環を検出する第２検出部と、
を備えるＸ線回折測定装置。
続きを表示（約 680 文字）【請求項２】
前記第１検出部は、前記コリメータを挟んで２つ設けられており、
前記第２検出部は、２つの前記第１検出部の中心及び前記コリメータの中心を結ぶ線と直交する方向において、前記距離Ｄ
２
の位置に設けられている請求項１に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項３】
前記第１の相は、α相であり、
前記第１検出部は、α相Ｋα回折を検出し、
前記第２の相は、γ相であり、
前記第２検出部は、γ相Ｋα回折を検出する請求項１に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項４】
前記Ｃ
Ｌ
は、前記第１の相又は前記第２の相に対応して、回折プロフィル幅をＷ
ｐ
とし、半価幅をＦＷＨＭとし、回折角を２θ
０
とすると、
TIFF
2024169126000014.tif
36
170
となる請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項５】
前記基板は、前記第１検出部を前記距離Ｄ
１
の方向に、前記第２検出部を前記距離Ｄ
２
の方向に位置変更可能な機構が設けられている請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項６】
前記コリメータの中心を軸として、前記試料と、前記第１検出部及び前記第２検出部とを前記軸周りに相対的に回転させる回転機構を備える請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線回折測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線回折測定装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
試料を分析するために、試料へ向けてＸ線を照射し、試料で回折したＸ線の回折環を検出する方法がある。検出された回折環によることで、試料の半価幅（鉄鋼材料では硬さに相当）や残留応力、残留オーステナイト等を分析することが可能である。
【０００３】
例えば特許文献１には、α相（フェライト相又はマルテンサイト相）と、γ相（オーステナイト相）との理論回折Ｘ線ピーク強度比から、γ相の体積率を求めることが開示されている。また、特許文献２には、試料にＸ線を照射して得た回折線のピーク付近をガウス曲線で近似して回折線の広がりを評価し、硬度を推定することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平７－１４００９４号公報
特開昭５９－１５５７４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来方法では複数の相に対応する回折を検出して、試料の物性分析に用いている。例えば残留オーステナイト量の分析では、回折強度の高いα相Ｋα回折とγ相Ｋα回折とを用いている。しかしながら、通常、試料における各相の回折角は異なる。例えば鉄鋼材をＣｒターゲット線で測定する場合、α相Ｋα回折で回折角が約１５６．４°、γ相Ｋα回折で回折角が約１２８．８°と異なる。このように回折角が異なる複数の相の回折をそれぞれ検出しようとした場合、測角機構等を搭載した大型の装置により検出器を円弧上に移動させて回折Ｘ線を得るか、大型の２次元検出器を搭載した装置を使用していた。
【０００６】
上記課題に鑑み、本発明は、装置の小型化をすることができるＸ線回折測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係るＸ線回折測定装置は、基板と、前記基板の孔から試料へＸ線を照射するコリメータと、前記基板上において、前記コリメータの中心からの距離Ｄ
１
は、検出面から前記試料までの距離をＣ
Ｌ
とし、第１の相に対応する回折角を２θ
０１
とし、前記距離Ｄ
１
と平行な前記検出面の幅をＷ
１
とすると、
【０００８】
TIFF
2024169126000002.tif
30
170
【０００９】
となり、前記試料から回折した回折環を検出する第１検出部と、前記基板上において、前記コリメータの中心からの距離Ｄ
２
は、前記距離Ｄ
１
より長く、前記第１の相とは異なり回折角が２θ
０１
と異なる第２の相に対応する回折角を２θ
０２
とし、前記距離Ｄ
２
と平行な前記検出面の幅をＷ
２
とすると、
【００１０】
TIFF
2024169126000003.tif
28
170
となり、前記試料から回折した回折環を検出する第２検出部と、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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