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公開番号2024147154
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-16
出願番号2023059985
出願日2023-04-03
発明の名称ミラー装置
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G02B 26/08 20060101AFI20241008BHJP(光学)
要約【課題】枠部材のベース部に対する配置精度が向上されていると共に、走査可能範囲が広く確保されたミラー装置を提供する。
【解決手段】ミラー装置1は、配置面3aに開口する凹部33が形成されたベース部3と、凹部33内に配置された磁石部4と、ミラー面15aを有するミラーユニット2と、第2表面5bにおいて配置面3a上に配置された枠部材5と、窓部材6と、を備える。窓部材6は、枠部材5の第1壁部51及び第2壁部52の頂面51a,52a上に配置され、ミラー面15aに対して傾斜している。枠部材5の第2表面5bには、突起部7が形成されている。突起部7は、Z方向から見た場合に、磁石部4と凹部33の開口縁33aとの間に配置されている。枠部材5の第1表面5aのうち、Z方向において突起部7と重なる部分は、ミラー面15aに対して傾斜した傾斜面となっており、当該傾斜面上に窓部材6が配置されている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
配置面を有し、前記配置面に開口する凹部が形成されたベース部と、
前記凹部内に配置された磁石部と、
所定の軸線周りに揺動可能に構成された可動部、前記可動部に設けられ、前記磁石部が発生させる磁界が作用するコイル、及び前記可動部上に設けられたミラー面を有し、前記磁石部上に配置されたミラーユニットと、
第１方向における一方側を向いた第１表面、及び前記第１方向における他方側を向いた第２表面を有し、前記第２表面において前記ベース部の前記配置面上に配置された枠部材と、
前記枠部材上に配置された窓部材と、を備え、
前記枠部材は、第１壁部と、前記第１方向に垂直な第２方向において前記第１壁部と向かい合う第２壁部と、を有し、
前記第１壁部の高さは、前記第２壁部の高さよりも低く、
前記窓部材は、前記第１壁部の頂面上及び前記第２壁部の頂面上に配置され、前記ミラー面に対して傾斜しており、
前記枠部材の前記第２表面には、突起部が形成されており、
前記突起部は、前記第１方向から見た場合に、前記磁石部と前記凹部の開口縁との間に配置されており、
前記枠部材の前記第１表面のうち、前記第１方向において前記突起部と重なる部分の少なくとも一部は、前記ミラー面に対して傾斜した傾斜面となっており、前記傾斜面上に前記窓部材が配置されている、ミラー装置。
続きを表示（約 900 文字）【請求項２】
前記突起部は、前記第１方向に垂直な一の方向において、前記磁石部と前記凹部の側面との間に配置されている、請求項１に記載のミラー装置。
【請求項３】
前記突起部は、前記第１壁部の底面に形成された第１部分を有している、請求項１又は２に記載のミラー装置。
【請求項４】
前記第１部分は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向に沿って延在している、請求項３に記載のミラー装置。
【請求項５】
前記突起部は、前記第２壁部の底面に形成された第２部分を更に有している、請求項３に記載のミラー装置。
【請求項６】
前記第２部分は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向に沿って延在している、請求項５に記載のミラー装置。
【請求項７】
前記枠部材は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向において互いに向かい合う一対の第３壁部を更に有し、
前記突起部は、前記一対の第３壁部の底面にそれぞれ形成された一対の第３部分を有している、請求項１又は２に記載のミラー装置。
【請求項８】
前記第３部分は、前記第２方向に沿って延在している、請求項７に記載のミラー装置。
【請求項９】
前記枠部材は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向において互いに向かい合う一対の第３壁部を更に有し、
前記突起部は、前記第１壁部の底面に形成された第１部分と、前記第２壁部の底面に形成された第２部分と、前記一対の第３壁部の一方の底面に形成された第３部分と、を有し、
前記第３部分は、前記第２方向に沿って延在しており、前記第２方向における一端において前記第１部分に接続され、前記第２方向における他端において前記第２部分に接続されている、請求項１又は２に記載のミラー装置。
【請求項１０】
前記突起部は、前記第１方向から見た場合に前記凹部の隅部に対応する箇所に配置された部分を有している、請求項１又は２に記載のミラー装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラー装置に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
ミラー装置として、回転可能なミラー部を有するミラーユニットを備え、ベース部上に配置された枠状の部材によりガラス板をミラー部と向かい合うように支持したものがある（例えば特許文献１の図７参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１６－０９９５６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したようなミラー装置には、ミラー部へ向かう光、又はミラー部で反射した光が枠状の部材により遮られることを防止するために、枠状の部材をベース部上に精度良く配置することが求められ得る。また、ミラー装置には、ミラー部により光を走査可能な範囲を広く確保することが併せて求められ得る。
【０００５】
そこで、本発明は、枠部材のベース部に対する配置精度が向上されていると共に、走査可能範囲が広く確保されたミラー装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のミラー装置は、［１］「配置面を有し、前記配置面に開口する凹部が形成されたベース部と、前記凹部内に配置された磁石部と、所定の軸線周りに揺動可能に構成された可動部、前記可動部に設けられ、前記磁石部が発生させる磁界が作用するコイル、及び前記可動部上に設けられたミラー面を有し、前記磁石部上に配置されたミラーユニットと、第１方向における一方側を向いた第１表面、及び前記第１方向における他方側を向いた第２表面を有し、前記第２表面において前記ベース部の前記配置面上に配置された枠部材と、前記枠部材上に配置された窓部材と、を備え、前記枠部材は、第１壁部と、前記第１方向に垂直な第２方向において前記第１壁部と向かい合う第２壁部と、を有し、前記第１壁部の高さは、前記第２壁部の高さよりも低く、前記窓部材は、前記第１壁部の頂面上及び前記第２壁部の頂面上に配置され、前記ミラー面に対して傾斜しており、前記枠部材の前記第２表面には、突起部が形成されており、前記突起部は、前記第１方向から見た場合に、前記磁石部と前記凹部の開口縁との間に配置されており、前記枠部材の前記第１表面のうち、前記第１方向において前記突起部と重なる部分は、前記ミラー面に対して傾斜した傾斜面となっており、前記傾斜面上に前記窓部材が配置されている、ミラー装置」である。
【０００７】
このミラー装置では、第１壁部の高さが第２壁部の高さよりも低く、窓部材が、第１壁部の頂面上及び第２壁部の頂面上に配置され、ミラー面に対して傾斜している。これにより、窓部材で反射した光が進む方向をミラー面で反射した光が進む方向とは異ならせることができ、窓部材で反射した光がノイズ光となることを抑制することができる。また、枠部材の第２表面に突起部が形成されており、突起部が、第１方向から見た場合に磁石部と凹部の開口縁との間に配置されている。これにより、例えば枠部材をベース部上に配置する際に、突起部が第１方向から見た場合に磁石部と凹部の開口縁との間に位置するように枠部材を配置することで、枠部材を狙いの位置に配置することができる。また、例えば枠部材をベース部上に配置した後に枠部材がベース部に対して第１方向と垂直な方向に移動してしまった場合でも、突起部が凹部の側面に接触することで、枠部材の位置ずれを所定量以下に抑えることができる。これらの理由により、このミラー装置では、枠部材のベース部に対する配置精度が向上されている。また、このミラー装置では、枠部材の第１表面のうち第１方向において突起部と重なる部分が、ミラー面に対して傾斜した傾斜面となっており、当該傾斜面上に窓部材が配置されている。これにより、窓部材の面積を広くすることができ、ミラー面により光を走査可能な範囲を広く確保することができる。このように、このミラー装置においては、枠部材のベース部に対する配置精度が向上されていると共に、走査可能範囲が広く確保されている。
【０００８】
本発明のミラー装置は、［２］「前記突起部は、前記第１方向に垂直な一の方向において、前記磁石部と前記凹部の側面との間に配置されている、［１］に記載のミラー装置」であってもよい。この場合、例えば枠部材をベース部上に配置した後に枠部材がベース部に対して第１方向に垂直な方向に移動してしまった場合でも、突起部が凹部の側面又は磁石部に接触することで、枠部材の位置ずれを所定量以下に抑えることができる。
【０００９】
本発明のミラー装置は、［３］「前記突起部は、前記第１壁部の底面に形成された第１部分を有している、［１］又は［２］に記載のミラー装置」であってもよい。この場合、第２壁部がミラー面に近づくように移動することを抑制することができ、第１壁部よりも高い第２壁部によってミラー面へ向かう光又はミラー面で反射した光が遮られることを抑制することができる。
【００１０】
本発明のミラー装置は、［４］「前記第１部分は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向に沿って延在している、［３］に記載のミラー装置」であってもよい。この場合、枠部材をベース部に対して一層精度良く配置することができる。また、第１壁部の強度を高めることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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