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公開番号2024119569
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-03
出願番号2023026567
出願日2023-02-22
発明の名称濃度計
出願人アズビル株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01N 21/27 20060101AFI20240827BHJP(測定;試験)
要約【課題】解析対象の薬液について効率的な解析をすること。
【解決手段】濃度計10は、投光部110と、分光部120と、受光部131と、記憶部140と、設定部132と、処理部133とを備える。投光部110は、測定対象の薬液に光を投光する。分光部120は、測定対象の薬液を透過した投光部110による光を分光する。受光部131は、分光部120によって分光された光を受光する。記憶部140は、受光部131により受光された光のデータを記憶する。設定部132は、測定対象の薬液ごとに予め定められた解析に必要なデータ数を設定する。処理部133は、記憶部140に測定対象の薬液ごとに記憶された光のデータの数である第1データ数が、設定部132により設定された解析に必要なデータ数に達した場合に処理を行う。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
測定対象の薬液に光を投光する投光部と、
前記測定対象の薬液を透過した前記投光部による光を分光する分光部と、
前記分光部によって分光された光を受光する受光部と、
前記受光部により受光された光のデータを記憶する記憶部と、
前記測定対象の薬液ごとに予め定められた解析に必要なデータ数を設定する設定部と、
前記記憶部に前記測定対象の薬液ごとに記憶された前記光のデータの数である第１データ数が、前記設定部により設定された解析に必要なデータ数に達した場合に処理を行う処理部と、
を備えることを特徴とする濃度計。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
前記処理部は、前記記憶部に記憶された前記第１データ数のデータ群の中から、所定の閾値に基づき、スペクトル強度が異常と判断したデータを切り捨てる
ことを特徴とする請求項１に記載の濃度計。
【請求項３】
前記設定部は、前記測定対象の薬液ごとに予め定められた、濃度測定処理に使用されるデータ数をさらに設定し、
前記第１データ数から前記処理部により切り捨てられたデータ数を除いた第２データ数が、前記濃度測定処理に使用されるデータ数に達しない場合に、異常通知を行う通知部をさらに備える
ことを特徴とする請求項２に記載の濃度計。
【請求項４】
前記投光部における光源の順電圧値を取得し、光源を制御する光源制御部と、
前記順電圧値と、前記受光部によって受光した光のスペクトル強度とに基づき、前記受光部により受光された光のデータの補正を行うデータ補正部とをさらに備え、
前記記憶部は、前記データ補正部により補正が行われた前記データを記憶する
ことを特徴とする請求項１に記載の濃度計。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、濃度計に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体のエッチング液や洗浄液といった水溶液に対して光を照射し、発光強度と水溶液を介して受光した光との強度とから水溶液の濃度を測定する技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１２４３８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来技術では、解析対象の薬液について効率的な解析が難しい場合があった。例えば、従来の技術では、解析する薬液種に関わらず、複数の薬液に対して同じ更新周期で解析データが出力されるため、データ採取数が少なくても計測できる薬液についても、更新周期が遅い薬液が出力される周期に合わせなければならず、待ち時間が発生することがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の濃度計は、測定対象の薬液に光を投光する投光部と、測定対象の薬液を透過した投光部による光を分光する分光部と、分光部によって分光された光を受光する受光部と、受光部により受光された光のデータを記憶する記憶部と、測定対象の薬液ごとに予め定められた解析に必要なデータ数を設定する設定部と、記憶部に測定対象の薬液ごとに記憶された光のデータの数である第１データ数が、設定部により設定された解析に必要なデータ数に達した場合に処理を行う処理部とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、解析対象の薬液について効率的な解析をすることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、実施形態に係る濃度計の概要を示す図である。
図２は、実施形態に係る濃度計の構成例を示す図である。
図３は、実施形態に係る濃度計の処理部における異常データ切り捨て処理及び通知部における異常通知処理の具体例を示す図である。
図４は、実施形態に係る濃度計の処理の具体例を示す図である。
図５は、実施形態に係る濃度計の処理手順の一例を示すフローチャートである。
図６は、実施形態に係る濃度計の処理手順の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に、本願に係る濃度計の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態により本願に係る濃度計が限定されるものではない。
【０００９】
〔１．はじめに〕
図１は、本実施形態に係る濃度計の概要を示す図である。図１の例では、本実施形態に係る濃度計による、測定対象の薬液の濃度測定処理の概要を示している。例えば、濃度計１０は、変換器１００と検出器２００とから構成され、濃度計１０は、投光部１１０から投光された光を、配管２０を流れる測定対象の薬液に通過させ、通過した光を分光・受光し、解析することにより、薬液の濃度を測定する。そして、濃度計１０は、測定した濃度を外部の端末装置３０に出力する。
【００１０】
濃度計１０は、測定対象の薬液に光を投光し、測定対象を透過した光を分光する。その後、濃度計１０は、分光された光を受光し、受光した光のデータを記憶する。そして、濃度計１０は、測定対象の薬液ごとに予め定められた解析に必要なデータ数を設定し、薬液ごとに記憶された光のデータの数である第１データ数が、設定された解析に必要なデータ数に達した場合に、処理を行う。
（【００１１】以降は省略されています）

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