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公開番号2024069925
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-22
出願番号2022180219
出願日2022-11-10
発明の名称保持面の維持方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B24B 49/10 20060101AFI20240515BHJP(研削;研磨)
要約【課題】研削装置の保持面の良否を、ウェーハを研削することなく判断する。
【解決手段】保持面研削工程(セルフグラインド)の直後の保持面22の高さである初期保持面高さデータと、複数回の研削工程および保持面洗浄工程を経た後の保持面22の高さである経過保持面高さデータとの差に基づいて、保持面22における異常の有無を判断する。したがって、保持面22における異常の有無を判断するために、ウェーハ3を研削する必要がないため、ウェーハ3の消費量を抑えることができる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハを研削砥石によって研削する研削装置の該保持面を正常な状態に維持する、保持面の維持方法であって、
該保持面を保持面研削用砥石によって研削する保持面研削工程と、
該保持面研削工程で研削された該保持面の高さを、該保持面の中心からの距離の異なる複数の測定点において測定する初期保持面高さ測定工程と、
該初期保持面高さ測定工程で測定された該保持面の高さのデータである初期保持面高さデータを記憶する記憶工程と、
該記憶工程の後に、該保持面に保持されたウェーハの研削、および、ウェーハが離隔された該保持面の洗浄が複数回実施された後、該初期保持面高さ測定工程と同一の測定点で該保持面の高さを測定する経過保持面高さ測定工程と、
該記憶工程で記憶された該初期保持面高さデータと、該経過保持面高さ測定工程で測定された該保持面の高さのデータである経過保持面高さデータとの差を各々の測定点において求め、該差が予め設定された許容値以下であったら該保持面は正常であると判断する一方、該差が該許容値を超えていたら該保持面は異常であると判断する判断工程と、
該判断工程で該保持面が異常であると判断された際に、該保持面を該保持面研削用砥石で研削する保持面再生工程と、を備える、
保持面の維持方法。
続きを表示（約 140 文字）【請求項２】
該研削装置は、該チャックテーブルを該保持面の中心を軸に回転させる回転機構を備え、
該初期保持面高さ測定工程および該経過保持面高さ測定工程では、該チャックテーブルを回転させ、渦巻き状に該保持面高さを測定する、
請求項１記載の保持面の維持方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持面の維持方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示のように、研削装置では、ポーラス部材の保持面に保持されたウェーハを、研削砥石で均一な厚みに研削している。保持面は、スピンドルに装着された保持面研削用砥石を回転させて保持面を研削するセルフグラインドによって、中心を頂点とする円錐形状に研削し、半径部分が保持面研削用砥石の下面に平行となるように形成されている。
【０００３】
ウェーハを研削する際は、スピンドルに、ウェーハ研削用の研削砥石が装着される。保持面研削用砥石とウェーハ研削用の研削砥石とは、同一形状に形成されている。このため、スピンドルに装着されたウェーハ研削用の研削砥石の下面と保持面の半径部分とは、互いに平行になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００８－７３７８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
研削砥石でウェーハを研削することによって発生した研削屑は、ポーラス部材の保持面に付着する。保持面に付着した研削屑を除去するために、ウェーハを保持面から離隔させた後、保持面に洗浄砥石を接触させて、研削屑を削り落としている。そのため、洗浄を行うたびに、保持面が洗浄砥石によって少しずつ削られて、保持面の中央部分が、研削砥石の下面に平行にならなくなる。このような保持面に保持されて研削されたウェーハでは、面内厚みが均一な厚みになりにくい。
【０００６】
従来、保持面の半径部分が研削砥石の下面に平行になっているか否かを認識するためには、保持面に保持されたウェーハを研削して、研削後のウェーハの厚みを半径方向において複数箇所にわたって測定し、厚みのばらつきを確認している。つまり、保持面の良否判断のために、ウェーハを消費することになる。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、研削装置の保持面の良否を、ウェーハを研削することなく判断することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明にかかる保持面の維持方法（本維持方法）は、チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハを研削砥石によって研削する研削装置の該保持面を正常な状態に維持する、保持面の維持方法であって、該保持面を保持面研削用砥石によって研削する保持面研削工程と、該保持面研削工程で研削された該保持面の高さを、該保持面の中心からの距離の異なる複数の測定点において測定する初期保持面高さ測定工程と、該初期保持面高さ測定工程で測定された該保持面の高さのデータである初期保持面高さデータを記憶する記憶工程と、該記憶工程の後に、該保持面に保持されたウェーハの研削、および、ウェーハが離隔された該保持面の洗浄が複数回実施された後、該初期保持面高さ測定工程と同一の測定点で該保持面の高さを測定する経過保持面高さ測定工程と、該記憶工程で記憶された該初期保持面高さデータと、該経過保持面高さ測定工程で測定された該保持面の高さのデータである経過保持面高さデータとの差を各々の測定点において求め、該差が予め設定された許容値以下であったら該保持面は正常であると判断する一方、該差が該許容値を超えていたら該保持面は異常であると判断する判断工程と、該判断工程で該保持面が異常であると判断された際に、該保持面を該保持面研削用砥石で研削する保持面再生工程と、を備える。
【０００９】
本維持方法では、該研削装置は、該チャックテーブルを該保持面の中心を軸に回転させる回転機構を備えてもよく、該初期保持面高さ測定工程および該経過保持面高さ測定工程では、該チャックテーブルを回転させ、渦巻き状に該保持面高さを測定してもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本維持方法では、保持面研削工程（セルフグラインド）の直後の保持面の高さである初期保持面高さデータと、複数回の研削工程および保持面洗浄工程を経た後の保持面の高さである経過保持面高さデータとの差に基づいて、保持面における異常の有無を判断する。したがって、保持面における異常の有無を判断するために、ウェーハを研削する必要がないため、ウェーハの消費量を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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