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公開番号2024067483
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-17
出願番号2022177597
出願日2022-11-04
発明の名称エキスパンド装置及びエキスパンド方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/301 20060101AFI20240510BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】エキスパンドシートの破損や接着フィルムの浮きを抑えて良好にエキスパンドシートを拡張することができること。
【解決手段】エキスパンド装置1は、フレームの開口に、被加工物の外縁より大きく、かつ、フレームの内縁より小さい外縁を有するDAFを積層したエキスパンドシートによって、被加工物を支持したフレームユニットのエキスパンドシートを拡張するエキスパンド装置であって、フレームを保持するフレーム保持ユニット10と、フレーム保持ユニット10で保持されたフレームの内縁と被加工物の外縁との間のエキスパンドシートを押圧して拡張する押圧ユニット20と、を備え、押圧ユニット20は、複数のローラー22を有し、ローラー22は、DAFの外縁よりもフレームの側に設置される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
フレームの開口に、被加工物の外縁より大きく、かつ、該フレームの内縁より小さい外縁を有する接着フィルムを積層したエキスパンドシートによって、被加工物を支持したフレームユニットの該エキスパンドシートを拡張するエキスパンド装置であって、
該フレームを保持するフレーム保持ユニットと、
該フレーム保持ユニットで保持された該フレームの内縁と被加工物の外縁との間の該エキスパンドシートを押圧して拡張する押圧ユニットと、を備え、
該押圧ユニットは、
複数のローラーを有し、
該ローラーは、該接着フィルムの外縁よりも外周側に設置されることを特徴とするエキスパンド装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
該ローラーを移動可能に支持する支持ユニットと、
制御ユニットと、をさらに備え、
該制御ユニットは、
該接着フィルムの外縁の位置に関する情報を取得する情報取得部と、
該情報に基づき、該支持ユニットによってローラーの位置を調整する位置調整部と、
を含むことを特徴とする請求項１に記載のエキスパンド装置。
【請求項３】
該ローラーを移動可能に支持する支持ユニットと、
該接着フィルムの外縁を含む領域を撮像する撮像ユニットと、
制御ユニットと、をさらに備え、
該制御ユニットは、
該撮像ユニットで撮像された画像を取得する画像取得部と、
該画像から該接着フィルムの外縁を検出する外縁検出部と、
該外縁検出部の情報に基づき、該支持ユニットを駆動させ、該ローラーの位置を調整する位置調整部と、
を含むことを特徴とする請求項１に記載のエキスパンド装置。
【請求項４】
被加工物を収容する開口を有するフレームの該開口に被加工物の外縁より大きく、該フレームの内縁より小さい外形を有する接着フィルムを積層したエキスパンドシートによって、被加工物を支持したフレームユニットの該エキスパンドシートを拡張するエキスパンド方法であって、
フレーム保持ユニットで保持された該フレームの内縁と被加工物の外縁との間の該エキスパンドシートを複数のローラーを有する押圧ユニットで押圧して拡張する拡張ステップを有し、
該拡張ステップにおいて、該ローラーは該接着フィルムの外縁よりも外周側に設置されることを特徴とするエキスパンド方法。
【請求項５】
該拡張ステップの前に、該ローラーの位置を調整する位置調整ステップをさらに備えることを特徴とする請求項４に記載のエキスパンド方法。
【請求項６】
該拡張ステップの前に、該接着フィルムの外縁の位置に関する情報を取得する情報取得ステップをさらに備え、
該位置調整ステップは、該情報取得ステップで取得した情報に基づき、該ローラーの位置を調整することを特徴とする請求項５に記載のエキスパンド方法。
【請求項７】
該拡張ステップの前に、該接着フィルムの外縁を含む領域を撮像し画像を取得する画像取得ステップと、
該画像から該外縁の位置を検出する外縁検出ステップと、をさらに備え、
該位置調整ステップは、該画像取得ステップで取得した画像に基づき、該ローラーの位置を調整することを特徴とする請求項５に記載のエキスパンド方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキスパンド装置及びエキスパンド方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
フレームの開口に配置された被加工物の裏面に貼着されるとともに外縁がフレームに支持されたエキスパンドシートを拡張するエキスパンド装置が従来から用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６７０００９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述した特許文献１に示されたエキスパンド装置が、接着フィルムが積層されたエキスパンドシートを拡張する際に、ローラーが接触している領域に特に外力が集中するため、接着フィルムの外縁にローラーが接触した状態で押圧を開始すると、エキスパンドシートが破れる問題や、接着フィルムの外縁がローラーにより押圧され、接着フィルムがエキスパンドシートから浮きやすくなり、拡張後に破断された接着フィルムの破片が飛散する問題があった。
【０００５】
エキスパンドシートが破れるのは、エキスパンドシートに接着フィルムを貼り付けた後に、カッターや金型でくりぬいて製造されている場合、エキスパンドシートの強度が部分的に弱くなっているためである。
【０００６】
本発明の目的は、エキスパンドシートの破損や接着フィルムの浮きを抑えて良好にエキスパンドシートを拡張することができるエキスパンド装置及びエキスパンド方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のエキスパンド装置は、フレームの開口に、被加工物の外縁より大きく、かつ、該フレームの内縁より小さい外縁を有する接着フィルムを積層したエキスパンドシートによって、被加工物を支持したフレームユニットの該エキスパンドシートを拡張するエキスパンド装置であって、該フレームを保持するフレーム保持ユニットと、該フレーム保持ユニットで保持された該フレームの内縁と被加工物の外縁との間の該エキスパンドシートを押圧して拡張する押圧ユニットと、を備え、該押圧ユニットは、複数のローラーを有し、該ローラーは、該接着フィルムの外縁よりもフレーム側に設置されることを特徴とする。
【０００８】
前記エキスパンド装置において、該ローラーを移動可能に支持する支持ユニットと、制御ユニットと、をさらに備え、該制御ユニットは、該接着フィルムの外縁の位置に関する情報を取得する情報取得部と、該情報に基づき、該支持ユニットによってローラーの位置を調整する位置調整部と、を含んでも良い。
【０００９】
前記エキスパンド装置において、該ローラーを移動可能に支持する支持ユニットと、該接着フィルムの外縁を含む領域を撮像する撮像ユニットと、制御ユニットと、をさらに備え、該制御ユニットは、該撮像ユニットで撮像された画像を取得する画像取得部と、該画像から該接着フィルムの外縁を検出する外縁検出部と、該外縁検出部の情報に基づき、該支持ユニットを駆動させ、該ローラーの位置を調整する位置調整部と、を含んでも良い。
【００１０】
本発明のエキスパンド方法は、被加工物を収容する開口を有するフレームの該開口に被加工物の外縁より大きく、該フレームの内縁より小さい外形を有する接着フィルムを積層したエキスパンドシートによって、被加工物を支持したフレームユニットの該エキスパンドシートを拡張するエキスパンド方法であって、フレーム保持ユニットで保持された該フレームの内縁と被加工物の外縁との間の該エキスパンドシートを複数のローラーを有する押圧ユニットで押圧して拡張する拡張ステップを有し、該拡張ステップにおいて、該ローラーは該接着フィルムの外縁よりもフレーム側に設置されることを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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