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公開番号2025130475
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-08
出願番号2024027665
出願日2024-02-27
発明の名称可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び移動体
出願人株式会社リコー
代理人個人,個人
主分類G02B 26/10 20060101AFI20250901BHJP(光学)
要約【課題】変位安定性を向上させつつ大きい変位量が得られる可動装置を提供する。
【解決手段】可動装置は、可動部と、一端が前記可動部に直接的又は間接的に接続され、前記可動部を駆動させる駆動梁と、前記駆動梁の他端が接続される固定枠と、を有し、前記駆動梁は、それぞれが駆動部を有する複数の駆動梁であり、前記駆動梁は、上側駆動梁と、前記上側駆動梁から前記固定枠の法線方向に離隔して配置された下側駆動梁と、を含む。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
可動部と、
一端が前記可動部に直接的又は間接的に接続され、前記可動部を駆動させる駆動梁と、
前記駆動梁の他端が接続される固定枠と、を有し、
前記駆動梁は、それぞれが駆動部を有する複数の駆動梁であり、
前記駆動梁は、上側駆動梁と、前記上側駆動梁から前記固定枠の法線方向に離隔して配置された下側駆動梁と、を含む、可動装置。
続きを表示（約 660 文字）【請求項２】
前記上側駆動梁は、前記固定枠の法線方向から視たときに、前記下側駆動梁と重なっている、請求項１に記載の可動装置。
【請求項３】
前記上側駆動梁と、前記下側駆動梁の数は異なる、請求項１に記載の可動装置。
【請求項４】
前記上側駆動梁は、接着材によって前記下側駆動梁に接続されている、請求項１に記載の可動装置。
【請求項５】
前記上側駆動梁は、前記下側駆動梁を駆動させる駆動電圧とは逆位相の駆動電圧により駆動される、請求項１に記載の可動装置。
【請求項６】
前記上側駆動梁又は前記下側駆動梁のどちらか一方と前記可動部との間に配置された弾性支持部材を有し、
前記可動部は、共振駆動される、請求項１に記載の可動装置。
【請求項７】
前記可動部は、前記上側駆動梁又は前記下側駆動梁のどちらか一方に対して、前記固定枠の法線方向に離隔して配置されている、請求項１に記載の可動装置。
【請求項８】
前記上側駆動梁は、前記下側駆動梁に対し、ワイヤーボンディングによって電気的に接続されている、請求項１に記載の可動装置。
【請求項９】
前記上側駆動梁は、前記下側駆動梁に対し、シリコン貫通電極によって電気的に接続されている、請求項１に記載の可動装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の可動装置を有する画像投影装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び移動体に関する。
続きを表示（約 3,000 文字）【背景技術】
【０００２】
シリコンやガラスを微細加工して製造されるＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）デバイス等の可動装置が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、大きい変位量を得るために、第１と第２の主面を有する少なくとも２つの圧電基板の第１の主面同士が、直接接合を利用して接合された圧電素子を有する変位制御アクチュエータが開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の変位制御アクチュエータ等の可動装置では、大きい変位量を得るために変形部分の剛性を小さくする。変形部分の剛性が小さいことにより、動作安定性が低下する点に改善の余地がある。
【０００５】
本発明は、変位安定性を向上させつつ大きい変位量が得られる可動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る可動装置は、可動部と、一端が前記可動部に直接的又は間接的に接続され、前記可動部を駆動させる駆動梁と、前記駆動梁の他端が接続される固定枠と、を有し、前記駆動梁は、それぞれが駆動部を有する複数の駆動梁であり、前記駆動梁は、上側駆動梁と、前記上側駆動梁から前記固定枠の法線方向に離隔して配置された下側駆動梁と、を含む。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、変位安定性を向上させつつ大きい変位量が得られる可動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の第一実施形態に係る可動装置を示す模式的上面図である。
図１におけるII－II線の模式的断面図である。
図１におけるIII－III線の模式的断面図である。
本発明の第一実施形態に係る可動装置を示す模式的下面図である。
図１におけるV-V線の模式的断面図である。
本発明の第一実施形態に係る可動装置における第二上側駆動部により可動部が揺動する様子を示す第一模式的斜視図である。
本発明の第一実施形態に係る可動装置における第二上側駆動部により可動部が揺動する様子を示す第二模式的斜視図である。
本発明の第一実施形態に係る可動装置における第二上側駆動部により可動部が揺動する様子を示す第三模式的斜視図である。
本発明の第一実施形態に係る可動装置における第二上側駆動部により可動部が揺動する様子を示す第四模式的斜視図である。
本発明の第一実施形態に係る可動装置の駆動部群に印加される駆動電圧の波形を示す第一図である。
本発明の第一実施形態に係る可動装置の駆動部群に印加される駆動電圧の波形を示す第二図である。
図１０の駆動電圧の波形と図１１の駆動電圧の波形を重ね合わせた図である。
本発明の第二実施形態に係る可動装置を示す模式的上面図である。
図１３におけるXIV－XIV線の模式的断面図である。
図１３におけるXV－XV線の模式的断面図である。
本発明の第二実施形態に係る可動装置を示す模式的下面図である。
図１３におけるXVII-XVII線の模式的断面図である。
本発明の第三実施形態に係る可動装置を示す模式的上面図である。
図２０におけるXIX－XXV線の模式的上面図である。
図１８におけるXX－XX線の模式的断面図である。
図１８におけるXXI－XXI線の模式的断面図である。
本発明の第三実施形態に係る可動装置を示す模式的下面図である。
図１８におけるXXIII-XXIII線の模式的断面図である。
本発明の第四実施形態に係る可動装置を示す模式的上面図である。
図２４におけるXXV－XXV線の模式的断面図である。
図２４におけるXXVI－XXVI線の模式的断面図である。
本発明の第四実施形態に係る可動装置を示す模式的下面図である。
図２４におけるXXVIII-XXVIII線の模式的断面図である。
本発明の第五実施形態に係る可動装置を示す模式的上面図である。
図２９におけるXXX－XXX線の模式的断面図である。
図２９におけるXXXI－XXXI線の模式的断面図である。
本発明の第五実施形態に係る可動装置を示す模式的下面図である。
図２９におけるXXXIII-XXXIII線の模式的断面図である。
本発明の第六実施形態に係る可動装置を示す模式的上面図である。
図３４におけるXXXV－XXXV線の模式的断面図である。
図３４におけるXXXVI－XXXVI線の模式的断面図である。
本発明の第六実施形態に係る可動装置を示す模式的下面図である。
図３４におけるXXXVIII-XXXVIII線の模式的断面図である。
光走査システムの一例の概略図である。
光走査システムの一例のハードウェア構成図である。
制御装置の一例の機能ブロック図である。
光走査システムに係る処理の一例のフローチャートである。
ヘッドアップディスプレイ装置を搭載した自動車の一例の概略図である。
ヘッドアップディスプレイ装置の一例の概略図である。
光書込装置を搭載した画像形成装置の一例の概略図である。
光書込装置の一例の概略図である。
ライダ装置を搭載した自動車の一例の概略図である。
ライダ装置の一例の概略図である。
レーザヘッドランプの構成の一例を説明する概略図である。
ヘッドマウントディスプレイの構成の一例を示す概略斜視図である。
ヘッドマウントディスプレイの構成の一部の一例を示す図である。
瞳孔又は角膜の位置検知装置の一例を示す第１概略構成図である。
瞳孔又は角膜の位置検知装置の一例を示す第２概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の実施形態に係る可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び移動体について図面を参照しながら詳細に説明する。但し、以下に示す形態は、本発明の実施形態に係る可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び移動体を例示するものであって、以下に限定するものではない。
【００１０】
本発明の実施形態に記載されている構成部の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限り、本発明の実施形態の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。なお、各図面が示す部材の大きさ、位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。また、以下の説明において、同一の名称、符号については同一もしくは同質の部材を示しており詳細説明を適宜省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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