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公開番号2025110979
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-30
出願番号2024005087
出願日2024-01-17
発明の名称窒化アルミニウム粉末、窒化アルミニウム焼結体、回路基板および接合基板
出願人デンカ株式会社
代理人個人
主分類C01B 21/072 20060101AFI20250723BHJP(無機化学)
要約【課題】熱伝導性が向上した窒化アルミニウム粉末を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム粒子を含む窒化アルミニウム粉末であって、前記窒化アルミニウム粉末の、下記の条件で測定されるラマン分光スペクトルにおいて、波数が150cm^-1以上350cm^-1以下の範囲(A)および800cm^-1以上1000cm^-1以下の範囲(B)にそれぞれピークを有する窒化アルミニウム粉末。(条件)レーザー波長:532nm 対物レンズ倍率:20倍グレーティング:300Gr/mm スリット幅:50μm 露光時間:1秒間露光回数:10回
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
窒化アルミニウム粒子を含む窒化アルミニウム粉末であって、
前記窒化アルミニウム粉末の、下記の条件で測定されるラマン分光スペクトルにおいて、波数が１５０ｃｍ
－１
以上３５０ｃｍ
－１
以下の範囲（Ａ）および８００ｃｍ
－１
以上１０００ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｂ）にそれぞれピークを有する窒化アルミニウム粉末。
（条件）
レーザー波長：５３２ｎｍ
対物レンズ倍率：２０倍
グレーティング：３００Ｇｒ／ｍｍ
スリット幅：５０μｍ
露光時間：１秒間
露光回数：１０回
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記ラマン分光スペクトルにおいて、波数が５００ｃｍ
－１
以上７５０ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｘ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ｘ
に対する、波数が１２５０ｃｍ
－１
以上１４５０ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｃ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ｃ
の比Ｉ
Ｃ
／Ｉ
Ｘ
が０．０２０以下である、請求項１に記載の窒化アルミニウム粉末。
【請求項３】
前記ラマン分光スペクトルにおいて、前記範囲（Ｃ）にピークを有さない、請求項２に記載の窒化アルミニウム粉末。
【請求項４】
前記ラマン分光スペクトルにおいて、波数が５００ｃｍ
－１
以上７５０ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｘ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ｘ
に対する、波数が１５００ｃｍ
－１
以上１７００ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｄ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ｄ
の比Ｉ
Ｄ
／Ｉ
Ｘ
が０．０２０以下である、請求項１～３のいずれかに記載の窒化アルミニウム粉末。
【請求項５】
前記ラマン分光スペクトルにおいて、前記範囲（Ｄ）にピークを有さない、請求項４に記載の窒化アルミニウム粉末。
【請求項６】
前記ラマン分光スペクトルにおいて、波数が５００ｃｍ
－１
以上７５０ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｘ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ｘ
に対する、前記範囲（Ａ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ａ
の比Ｉ
Ａ
／Ｉ
Ｘ
が０．０２０以上０．２００以下である、請求項１～３のいずれかに記載の窒化アルミニウム粉末。
【請求項７】
前記ラマン分光スペクトルにおいて、波数が５００ｃｍ
－１
以上７５０ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｘ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ｘ
に対する、前記範囲（Ｂ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ｂ
の比Ｉ
Ｂ
／Ｉ
Ｘ
が０．０３０以上０．４００以下である、請求項１～３のいずれかに記載の窒化アルミニウム粉末。
【請求項８】
前記ラマン分光スペクトルにおいて、波数が５００ｃｍ
－１
以上７５０ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｘ）に２つ以上のピークをさらに有する、請求項１～３のいずれかに記載の窒化アルミニウム粉末。
【請求項９】
前記窒化アルミニウム粉末のレーザー回折散乱法による体積基準のメジアン径Ｄ
５０
が０．５０μｍ以上５．００μｍ以下である、請求項１～３のいずれかに記載の窒化アルミニウム粉末。
【請求項１０】
前記窒化アルミニウム粉末のレーザー回折散乱法による体積頻度粒度分布において、累積値が１０％となる粒子径Ｄ
１０
、９０％となる粒子径Ｄ
９０
、メジアン径Ｄ
５０
について、（Ｄ
９０
－Ｄ
１０
）／Ｄ
５０
の値が３．００以下である、請求項１～３のいずれかに記載の窒化アルミニウム粉末。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、窒化アルミニウム粉末、窒化アルミニウム焼結体、回路基板および接合基板に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
窒化アルミニウム粉末を含む焼結体は、回路基板や接合基板に用いられることがある。
特許文献１には、従来品よりも極めて低酸素で、放熱部材の充填材として用いたときに優れた高熱伝導率を示す窒化アルミニウム粉末を提供することを目的として、中空の窒化アルミニウム質粒子を、窒素を含む還元雰囲気下、１９００℃～２２００℃で加熱することによって得られる、酸素量が０．２質量％以下及び平均粒子径が１０～５０μｍである窒化アルミニウム粉末が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－２８４３１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、熱伝導性が向上した窒化アルミニウム粉末を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、窒化アルミニウム粒子を含む窒化アルミニウム粉末であって、前記窒化アルミニウム粉末について、特定の条件で測定されるラマン分光スペクトルにおいて、波数が１５０ｃｍ
－１
以上３５０ｃｍ
－１
以下の範囲（Ａ）および８００ｃｍ
－１
以上１０００ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｂ）にそれぞれピークを有する窒化アルミニウム粉末が、熱伝導性を向上できることを見出し、本発明を完成させた。
【０００６】
本発明によれば、以下に示す窒化アルミニウム粉末、窒化アルミニウム焼結体、回路基板および接合基板が提供される。
【０００７】
［１］
窒化アルミニウム粒子を含む窒化アルミニウム粉末であって、
前記窒化アルミニウム粉末の、下記の条件で測定されるラマン分光スペクトルにおいて、波数が１５０ｃｍ
－１
以上３５０ｃｍ
－１
以下の範囲（Ａ）および８００ｃｍ
－１
以上１０００ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｂ）にそれぞれピークを有する窒化アルミニウム粉末。
（条件）
レーザー波長：５３２ｎｍ
対物レンズ倍率：２０倍
グレーティング：３００Ｇｒ／ｍｍ
スリット幅：５０μｍ
露光時間：１秒間
露光回数：１０回
［２］
前記ラマン分光スペクトルにおいて、波数が５００ｃｍ
－１
以上７５０ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｘ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ｘ
に対する、波数が１２５０ｃｍ
－１
以上１４５０ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｃ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ｃ
の比Ｉ
Ｃ
／Ｉ
Ｘ
が０．０２０以下である、［１］に記載の窒化アルミニウム粉末。
［３］
前記ラマン分光スペクトルにおいて、前記範囲（Ｃ）にピークを有さない、［２］に記載の窒化アルミニウム粉末。
［４］
前記ラマン分光スペクトルにおいて、波数が５００ｃｍ
－１
以上７５０ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｘ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ｘ
に対する、波数が１５００ｃｍ
－１
以上１７００ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｄ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ｄ
の比Ｉ
Ｄ
／Ｉ
Ｘ
が０．０２０以下である、［１］～［３］のいずれかに記載の窒化アルミニウム粉末。
［５］
前記ラマン分光スペクトルにおいて、前記範囲（Ｄ）にピークを有さない、［４］に記載の窒化アルミニウム粉末。
［６］
前記ラマン分光スペクトルにおいて、波数が５００ｃｍ
－１
以上７５０ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｘ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ｘ
に対する、前記範囲（Ａ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ａ
の比Ｉ
Ａ
／Ｉ
Ｘ
が０．０２０以上０．２００以下である、［１］～［５］のいずれかに記載の窒化アルミニウム粉末。
［７］
前記ラマン分光スペクトルにおいて、波数が５００ｃｍ
－１
以上７５０ｃｍ
－１
以下の範囲（Ｘ）における最大ピークのピーク強度Ｉ
Ｘ
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、熱伝導性が向上した窒化アルミニウム粉末を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本実施形態の接合基板の構造の一例を模式的に示す斜視図である。
本実施形態の回路基板の構造の一例を模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
煩雑さを避けるため、同一図面内に同一の構成要素が複数ある場合には、その１つのみに符号を付し、全てには符号を付さない場合がある。
図面はあくまで説明用のものである。図面中の各部材の形状や寸法比などは、必ずしも現実の物品と対応しない。
（【００１１】以降は省略されています）

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