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公開番号2025100479
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-03
出願番号2024224378
出願日2024-12-19
発明の名称ウエハの熱制御のための装置
出願人エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/02 20060101AFI20250626BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウエハの熱制御のための装置を提供する。
【解決手段】ウエハ温度制御能力を有する装置が提示される。本装置は、その上に配置された前記ウエハの温度を制御するように構成されたプレートと、低温流体および高温流体をそれぞれ貯蔵するための低温タンクおよび高温タンクと、前記低温タンクおよび前記高温タンク内の前記流体をそれぞれ冷却および加熱するための冷却および加熱装置と、前記プレートから出る前記流体の方向を制御するように構成された排出切替弁と、前記プレートに入る前記流体の方向を制御するように構成された注入切替弁と、第1の流体ラインと、第2の流体ラインと、第3の流体ラインと、第4の流体ラインと、前記注入経路内の前記流体を前記プレート内にポンプ注入するように構成されたポンプと、排出切替弁および注入切替弁の開放状態を制御するように構成されたコントローラと、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウエハの熱制御のための装置であって、
流体と、
その上に配置される前記ウエハの温度を、前記流体を使用して制御するように構成されたプレートと、
前記流体を貯蔵するように構成された低温タンクおよび高温タンクと、
前記低温タンク内の前記流体を第１の閾値を下回る第１の温度に冷却するように構成された冷却装置と、
前記高温タンク内の前記流体を第２の閾値を超える第２の温度に加熱するように構成された加熱装置と、
前記プレートから出る前記流体の方向を制御するように構成された排出切替弁と、
前記プレートに入る前記流体の方向を制御するように構成された注入切替弁と、
前記排出切替弁と前記高温タンクとの間に配置され、前記排出切替弁と前記高温タンクとを流体接続するように構成された第１の流体ラインと、
前記排出切替弁と前記低温タンクとの間に配置され、前記排出切替弁と前記低温タンクとを流体接続するように構成された第２の流体ラインと、
前記高温タンクと前記注入切替弁との間に配置され、前記高温タンクと前記注入切替弁とを流体接続するように構成された第３の流体ラインと、
前記低温タンクと前記注入切替弁との間に配置され、前記低温タンクと前記注入切替弁とを流体接続するように構成された第４の流体ラインと、
前記流体を前記プレート内にポンプ注入するように構成されたポンプと、
前記排出切替弁および前記注入切替弁に電気的に連結されたコントローラであって、前記排出切替弁および前記注入切替弁の開放状態を制御するように構成されたコントローラと、を備える、装置。
続きを表示（約 2,200 文字）【請求項２】
前記プレートは、第１の部分および第２の部分をさらに有し、重複することなく長い連続経路である流体経路が前記第１の部分上に溝加工されており、
前記流体経路の第１の端部および前記流体経路の第２の端部は、前記プレートの外側に露出され、前記第１の部分および前記第２の部分は、前記流体経路を封止するように構成されている、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記注入切替弁と前記流体経路の前記第１の端部との間に配置され、前記注入切替弁と前記流体経路の前記第１の端部とを流体接続するように構成された注入経路と、
前記流体経路の前記第２の端部と前記排出切替弁との間に配設され、前記流体経路の前記第２の端部と前記排出切替弁とを流体接続するように構成された排出経路と、
をさらに備えた請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記流体経路の前記第１の端部に配置され、前記流体経路の前記第１の端部および前記注入経路の接触領域を封止するように構成されている、第１の接合部と、
前記流体経路の前記第２の端部に配置され、前記流体経路の前記第２の端部および前記排出経路の接触領域を封止するように構成されている、第２の接合部と、
をさらに備えた請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記プレートは、第１の部分および第２の部分並びに流体パイプをさらに備え、前記流体パイプは、前記プレートを覆う長い連続経路であり、
前記流体パイプの第１の端部および前記流体パイプの第２の端部は、前記プレートの外側に晒され、前記流体パイプは、前記第１の部分と前記第２の部分との間に配置されている、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記注入切替弁と前記流体パイプの前記第１の端部との間に配置され、前記注入切替弁と前記流体パイプの前記第１の端部とを流体接続するように構成された注入経路と、
前記流体パイプの前記第２の端部と前記排出切替弁との間に配設され、前記流体パイプの前記第２の端部と前記排出切替弁を流体接続するように構成された排出経路と、
をさらに備えた請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記流体パイプの前記第１の端部に配置され、前記流体パイプの前記第１の端部および前記注入経路の接触領域を封止するように構成された第１の接合部と、
前記流体パイプの前記第２の端部に配置され、前記流体パイプの前記第２の端部および前記排出経路の接触領域を封止するように構成された第２の接合部と、
をさらに備えた請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記第１の部分、前記第２の部分、および前記流体パイプの間の空間を充填するように構成された充填材をさらに備える、
請求項５に記載の装置。
【請求項９】
ウエハの熱制御のための装置であって、
流体と、
その上に配置される前記ウエハの温度を、前記流体を使用して制御するように構成されたプレートと、
前記流体を貯蔵するように構成された低温タンクおよび高温タンクと、
前記低温タンク内の前記流体を第１の閾値を下回る温度に冷却するように構成された冷却装置と、
前記高温タンク内の前記流体を第２の閾値を超える温度に加熱するように構成された加熱装置と、
前記プレートから出る前記流体の方向を制御するように構成された排出切替弁と、
前記プレートに入る前記流体の方向を制御するように構成された注入切替弁と、
前記排出切替弁と前記高温タンクとの間に配置され、前記排出切替弁と前記高温タンクとを流体接続するように構成された第１の流体ラインと、
前記排出切替弁と前記低温タンクとの間に配置され、前記排出切替弁と前記低温タンクとを流体接続するように構成された第２の流体ラインと、
前記高温タンクと前記注入切替弁との間に配置され、前記高温タンクと前記注入切替弁とを流体接続するように構成された第３の流体ラインと、
前記低温タンクと前記注入切替弁との間に配置され、前記低温タンクと前記注入切替弁とを流体接続するように構成された第４の流体ラインと、
前記高温タンク内の前記流体を前記プレート内にポンプ注入するように構成された第１のポンプと、
前記低温タンク内の前記流体を前記プレート内にポンプ注入するように構成された第２のポンプと、
前記排出切替弁および前記注入切替弁に電気的に連結されたコントローラであって、前記排出切替弁および前記注入切替弁の開放状態を制御するように構成されたコントローラと、を備える、装置。
【請求項１０】
前記プレートは、第１の部分および第２の部分をさらに備え、重複することなく長い連続経路である流体経路が前記第１の部分上に溝加工され、
前記流体経路の第１の端部および前記流体経路の第２の端部が、前記プレートの外側に露出され、前記第１の部分および前記第２の部分が、前記流体経路を封止するように構成されている、請求項９に記載の装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板支持装置に関し、より具体的には、その上に配置された基板の温度を制御する能力を有する装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造および／または処理において、基板は様々な工程で冷却および加熱を必要とする。
【０００３】
しかしながら、基板を冷却するためのプレートは、高い熱容量を有し、熱モード変化、すなわち、加熱から冷却へ、または冷却から加熱への熱モード変化には多くの時間がかかる。加えて、冷却剤は、モードが冷却から加熱に変化すると容易に気化し得る。
【０００４】
したがって、本開示は、同じ空間でウエハを加熱および／または冷却するための、よりシンプルで簡単なシステムおよび方法を提供するものである。
開示の概要
【発明の概要】
【０００５】
この概要は、一部の概念を簡略化した形態で紹介するために提供される。これらの概念は、下記の本開示の例示の実施形態の詳細な説明において、さらに詳細に記載される。この概要は、特許請求される主題の主要な特徴または本質的な特徴を特定することを意図するものではなく、特許請求される主題の範囲を限定するために使用されることも意図するものではない。
【０００６】
一実施形態によれば、ウエハの熱制御のための装置を提供し得、本装置は、その上に配置された前記ウエハの温度を制御するように構成されたプレートと、流体を貯蔵するように構成された低温タンクと、前記低温タンク内の前記流体を第１の閾値を下回る温度に冷却するように構成された冷却装置と、前記流体を貯蔵するように構成された高温タンクと、前記高温タンク内の前記流体を第２の閾値を超える別の温度に加熱するように構成された加熱装置と、前記プレートから出る前記流体の方向を制御するように構成された排出切替弁と、前記プレートに入る前記流体の方向を制御するように構成された注入切替弁と、前記排出切替弁と前記高温タンクとの間に配置され、排出切替弁と高温タンクとを流体接続するように構成された第１の流体ラインと、前記排出切替弁と前記低温タンクとの間に配置され、排出切替弁と低温タンクとを流体接続するように構成された第２の流体ラインと、前記高温タンクと前記注入切替弁との間に配置され、前記高温タンクと前記注入切替弁とを流体接続するように構成された第３の流体ラインと、前記低温タンクと前記注入切替弁との間に配置され、前記低温タンクと前記注入切替弁とを流体接続するように構成された第４の流体ラインと、前記注入経路上に配置され、前記注入経路内の前記流体を前記プレート内にポンプ注入するように構成されたポンプと、排出切替弁および注入切替弁に電気的に連結され、前記排出切替弁および前記注入切替弁の開放状態を制御するように構成されたコントローラと、を備えている。
【０００７】
少なくとも１つの態様では、前記プレートは、第１の部分および第２の部分をさらに有し、重複することなく長い連続経路である流体経路が前記第１の部分上に溝加工され、流体経路の第１の端部および流体経路の第２の端部が、プレートの外側に晒され、第１の部分および第２の部分が、流体経路を封止するように構成されている。
【０００８】
少なくとも１つの態様では、本装置は、注入切替弁と流体経路の第１の端部との間に配置された注入経路であって、注入切替弁と流体経路の第１の端部とを流体接続するように構成された注入経路と、流体経路の第２の端部と排出切替弁との間に配置され、流体経路の第２の端部と排出切替弁とを流体接続するように構成された排出経路と、をさらに備えている。
【０００９】
少なくとも１つの態様では、本装置は、流体経路の第１の端部に配置され、流体経路の第１の端部および注入経路の接触領域を封止するように構成された第１の接合部と、流体パイプの第２の端部に配置され、流体経路の第２の端部および排出経路の接触領域を封止するように構成された第２の接合部と、をさらに備える。
【００１０】
少なくとも１つの態様では、前記プレートは、第１の部分および第２の部分ならびにパイプをさらに備え、前記流体パイプは、プレートを覆う長い連続経路であり、前記流体パイプの第１の端部および前記流体パイプの第２の端部は、プレートの外側に晒され、前記流体パイプは、第１の部分と第２の部分との間に配置されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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