特許ウォッチ

公開番号2025100437
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-03
出願番号2024219763
出願日2024-12-16
発明の名称昇降装置、ウェハ―搬送ロボット及びウェハ―搬送システム
出願人シンフォニアテクノロジー株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250626BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】小型且つ単純な構成で安定した長ストローク化が可能な昇降装置を実現する。
【解決手段】第1のボールねじナット11とスプラインナット12が係合されたボールねじスプライン軸13と、第2のボールねじナット14が係合されてボールねじスプライン軸13に併設されたボールねじ軸15と、ボールねじスプライン軸13を回転駆動するモータ16とを備え、第1のボールねじナット11はボールねじスプライン軸13にねじ送りされて昇降し、スプラインナット12は外輪12bが第1のボールねじナット11と一体となって昇降するとともに内輪12aがボールねじスプライン軸13と共に回転し、ボールねじ軸15はスプラインナット12の外輪12bと一体となって昇降するとともにスプラインナット12の内輪12aの回転を受けて回転し、第2のボールねじナット14はボールねじ軸15にねじ送りされて昇降するように構成した。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
第１のボールねじナットとスプラインナットが係合されたボールねじスプライン軸と、第２のボールねじナットが係合されて前記ボールねじスプライン軸に併設されたボールねじ軸と、前記ボールねじスプライン軸を回転駆動するモータとを備え、
前記第１のボールねじナットは前記ボールねじスプライン軸にねじ送りされて昇降し、
前記スプラインナットは外輪が前記第１のボールねじナットと一体となって昇降するとともに内輪が前記ボールねじスプライン軸と共に回転し、
前記ボールねじ軸は前記スプラインナットの外輪と一体となって昇降するとともに当該スプラインナットの内輪の回転を受けて回転し、
前記第２のボールねじナットは前記ボールねじ軸にねじ送りされて昇降する、
ことを特徴とする、昇降装置。
続きを表示（約 680 文字）【請求項２】
前記ボールねじスプライン軸を基礎筐体に取り付け、前記第１のボールねじナット、前記スプラインナット、及び前記ボールねじ軸と一体に昇降するように第１の可動筐体を取り付け、前記第２のボールねじナットと一体に昇降するように第２の可動筐体を取り付けており、前記第２の可動筐体は側壁の内側に中空部を有する構造であり、前記ボールねじスプライン軸及び前記ボールねじ軸は前記中空部の外に配置されている、請求項１に記載の昇降装置。
【請求項３】
前記基礎筐体と前記第１の可動筐体のあいだに第１リニアガイドを設け、前記第１の可動筐体と前記第２の可動筐体のあいだに第２リニアガイドを設けている、請求項２に記載の昇降装置。
【請求項４】
前記第１ボールねじナット及び前記スプリングナットを備えた前記ボールねじスプライン軸を、前記第２ボールねじナットを備えた前記ボールねじ軸の前に複数段併設し、当該複数段のボールねじスプライン軸間においても更にテレスコピック動作をさせるようにしている、請求項２に記載の昇降装置。
【請求項５】
請求項２～４に記載の昇降装置を利用し、前記第２の可動筐体を前記第１の可動筐体に対して旋回可能とし、旋回軸モータを前記第２の可動筐体の外に配置し、前記第２の可動筐体の上にアーム機構を取り付けたことを特徴とする、ウェハ―搬送ロボット。
【請求項６】
請求項５に記載のウェハ―搬送ロボットを、搬送室内に設けたレールに沿って走行させるように構成したことを特徴とする、ウェハ―搬送システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型且つ単純な構成で長ストローク化を実現した、昇降装置、ウェハ―搬送ロボット及びウェハ―搬送システムに関するものである。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
この種のウェハ―搬送ロボットは、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）等の搬送室内に配置され、レールに沿った走行移動や、ロボットハンドの伸縮動作、昇降動作等によって必要な可動域をカバーしている。ロボットを昇降させる昇降機構には、一般にボールねじ機構が採用される。
【０００３】
ところで、近年になって、ウェハ―搬送ロボットのＺ軸方向の長ストローク化及び小型化が要求されている。しかしながら、単純なボールねじ機構では、ロボットのストロークを伸ばしたくても、ロボット自体の全長を伸ばさない限り、単純にボールねじ長さを伸ばすことはできない。
【０００４】
このような課題を解決するために、例えば特許文献１、２に示すものが利用可能なものとして考えられる。
【０００５】
いずれの文献も、プーリーと昇降ベルトを使って、テレスコピック構造を実現している。具体的には、１段目と３段目の筐体を昇降ベルトで繋ぎ、２段目の筐体にプーリーを取り付けて動滑車の役割を担わせている。
【０００６】
この状態で、ボールねじ昇降などにより、１段目に対して２段目が昇降した場合に、昇降ベルトによって同時に３段目も昇降させることができ、ストロークを倍増させることが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２００４－３４３１４０
特開２０００－１１７６７０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、何れのテレスコピック機構も、滑車やワイヤを巻き掛ける構造やスペースが必要になるうえに、筐体の内空を広く確保する必要がある。このため、機構が複雑になり、機構全体が大型化する問題がある。しかも、昇降ベルト構造だと剛性が低く、振動が生じ易いうえに、ベルト破断等も起こり易いため、長期に亘って正確な動作を行わせることが困難になるという問題がある。
【０００９】
本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、小型且つ単純な構成で安定した長ストローク化が可能な、昇降装置、ウェハ―搬送ロボット及びウェハ―搬送システムを実現することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。
（【００１１】以降は省略されています）

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