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公開番号2025099312
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-03
出願番号2023215876
出願日2023-12-21
発明の名称感光性導電ペースト、積層型電子部品の製造方法および積層型電子部品
出願人株式会社村田製作所
代理人個人,個人,個人
主分類H01B 1/22 20060101AFI20250626BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】焼成中の収縮の挙動が制御された感光性導電ペースト、積層型電子部品の製造方法および積層型電子部品を提供する。
【解決手段】感光性導電ペーストは、導電性粉末と、有機成分と、溶剤と、を含み、前記有機成分は、アルカリ可溶ポリマー、感光性モノマーおよび光重合開始剤を含み、前記有機成分の硬化物の、酸素雰囲気における熱分解性が、下記の条件Aおよび条件Bを満たす。
(条件A)
熱重量測定において、300℃における重量減少率が50%未満である。
(条件B)
熱重量測定において、700℃における重量減少率が100%である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
導電性粉末と、有機成分と、溶剤と、を含み、
前記有機成分は、アルカリ可溶ポリマー、感光性モノマーおよび光重合開始剤を含み、前記有機成分の硬化物の、酸素雰囲気における熱分解性が、下記の条件Ａおよび条件Ｂを満たす、感光性導電ペースト。
（条件Ａ）
熱重量測定において、３００℃における重量減少率が５０％未満である。
（条件Ｂ）
熱重量測定において、７００℃における重量減少率が１００％である。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記条件Ａにおける、３００℃における重量減少率が３０％未満である、請求項１に記載の感光性導電ペースト。
【請求項３】
前記条件Ｂにおいて、６００℃における重量減少率が１００％である、請求項１または２に記載の感光性導電ペースト。
【請求項４】
前記硬化物の酸素雰囲気における熱分解性が、下記の条件Ｃを満たす、請求項１または２に記載の感光性導電ペースト。
（条件Ｃ）
熱重量測定において、３００℃以上４００℃以下の範囲における重量減少率の変化が７０％以下である。
【請求項５】
前記アルカリ可溶ポリマーは、熱分解時に主鎖開裂型の分解性を示す易脱離性重合ユニットを含む共重合体を含み、
前記易脱離性重合ユニット数の、前記共重合体を構成する全重合ユニット数に占める割合が、０．２以上０．６以下である、請求項１または２に記載の感光性導電ペースト。
【請求項６】
前記アルカリ可溶ポリマーの配合重量Ｗｐに対する、前記感光性モノマーの配合重量Ｗｍの割合（Ｗｍ／Ｗｐ）が、０．２以上０．９以下である、請求項５に記載の感光性導電ペースト。
【請求項７】
前記導電性粉末は、銀粉である、請求項１または２に記載の感光性導電ペースト。
【請求項８】
前記銀粉の平均粒径Ｄ５０は、０．５μｍ以上５．０ｍ以下である、請求項７に記載の感光性導電ペースト。
【請求項９】
請求項１または２に記載の感光性導電ペーストを絶縁層に積層する工程と、
前記感光性導電ペーストと前記絶縁層とを８００℃以上の焼成温度で焼結させる工程と、を含み、
前記感光性導電ペーストから内部電極を形成し、
前記絶縁層から素体を形成し、
前記素体内に前記内部電極を設ける、積層型電子部品の製造方法。
【請求項１０】
ホウケイ酸ガラスと無機フィラーとを含む素体と、
前記素体内に設けられ、請求項１または２に記載の感光性導電ペーストの焼結体である内部電極と、を含む、積層型電子部品。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性導電ペースト、積層型電子部品の製造方法および積層型電子部品に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、感光性導電ペーストを用いて内部電極を形成することにより、積層セラミック回路基板等の積層型電子部品を製造することが行われている。内部電極は、感光性導電ペーストをパターニングした後に焼成することにより、感光性導電ペーストに含有されている導電性粉末が焼結されて形成される。積層型電子部品に用いられる感光性導電ペーストとしては、例えば、特開２００２－１６９２７４号公報（特許文献１）および特開２００７－１８８８４号公報（特許文献２）に開示されたものがある。
【０００３】
特開２００２－１６９２７４号公報には、主成分として、導電性粉末を４０～８０ｗｔ％、光重合性化合物を３～２０ｗｔ％、光重合開始剤を１０ｗｔ％以下、および、一種又は二種以上の非導電性金属酸化物を０．３～２．５ｗｔ％含有する感光性導電ペーストが開示されている。非導電性金属酸化物は、一般に「共材」と呼ばれている。特開２００２－１６９２７４号公報では、共材を含むため、内部電極の焼成収縮を低減できるとしている。
【０００４】
特開２００７－１８８８４号公報には、アトマイズ製法で得られる平均粒径が５μｍ以下の第１導電性粉末と、湿式還元法で得られる平均粒径が０．２～２．０μｍの範囲内の第２導電性粉末とを、２０／８０≦（第１導電性粉末／第２導電性粉末）≦８０／２０の範囲内の重量割合で含む感光性導電ペーストが開示されている。特開２００７－１８８８４号公報では、平均粒径が相対的に大きい第１導電性粉末を含むため、内部電極の焼成収縮を低減できるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００２－１６９２７４号公報
特開２００７－１８８８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、内部電極の焼成収縮を低減しても、焼成中の感光性導電ペーストの収縮が素体材料の収縮に対応していない場合、デラミネーションが発生し得ることが判明した。
【０００７】
そこで、本開示の目的は、焼成中の収縮の挙動が制御された感光性導電ペーストを提供することにある。さらに、本開示の目的は、この感光性導電ペーストを用いた積層型電子部品の製造方法および積層型電子部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するため、本開示の一態様である感光性導電ペーストは、
導電性粉末と、有機成分と、溶剤と、を含み、
前記有機成分は、アルカリ可溶ポリマー、感光性モノマーおよび光重合開始剤を含み、前記有機成分の硬化物の、酸素雰囲気における熱分解性が、下記の条件Ａおよび条件Ｂを満たす。
（条件Ａ）
熱重量測定において、３００℃における重量減少率が５０％未満である。
（条件Ｂ）
熱重量測定において、７００℃における重量減少率が１００％である。
【０００９】
前記態様によれば、焼成中の感光性導電ペーストの収縮の挙動が制御されるため、これを積層電子部品の内部電極として使用する際、焼成中の素体材料の収縮挙動との乖離が小さくなって、デラミネーションが抑制される。加えて、共材を必須成分とせず、また導電性粉末の大粒径化を必要としないため、フォトリソパターニング時の解像性が向上し、形成される内部電極の電気抵抗を低減できる。
【発明の効果】
【００１０】
本開示に係る感光性導電ペーストによれば、焼成中の感光性導電ペーストの収縮の挙動が制御される。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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