特許ウォッチ

公開番号2025098725
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-02
出願番号2023215053
出願日2023-12-20
発明の名称ワーク保持装置、処理装置および物品製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250625BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ワークを受け取る際におけるワークの位置ずれを低減ないし防止するために有利な技術を提供する。
【解決手段】ワーク保持装置は、ワークを保持するワーク保持部と、前記ワーク保持部に対して相対的に昇降する支持部材とを備える。前記支持部材は、前記ワークに当接する開口端を有する収縮可能なパッドと、前記パッドを支持するパッド支持部とを含む。前記パッド支持部は、前記パッドの内部空間と外部空間とを接続する第1流路および第2流路と、逆止弁と含む。逆止弁は、前記第1流路を通して前記内部空間から前記外部空間に向けて空気が流れることを許し、前記第1流路を通して前記外部空間から前記内部空間に向けて空気が流れることを妨げるように前記第1流路に配置される。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ワークを保持するワーク保持部と、前記ワーク保持部に対して相対的に昇降する支持部材とを備えるワーク保持装置であって、
前記支持部材は、前記ワークに当接する開口端を有する収縮可能なパッドと、前記パッドを支持するパッド支持部と、を含み、
前記パッド支持部は、
前記パッドの内部空間と外部空間とを接続する第１流路および第２流路と、
前記第１流路を通して前記内部空間から前記外部空間に向けて空気が流れることを許し、前記第１流路を通して前記外部空間から前記内部空間に向けて空気が流れることを妨げるように前記第１流路に配置された逆止弁と、含む、
ことを特徴とするワーク保持装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記パッド支持部は、前記第２流路に配置されたオリフィスを更に含む、
ことを特徴とする請求項１に記載のワーク保持装置。
【請求項３】
前記パッドは、蛇腹形状を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載のワーク保持装置。
【請求項４】
前記支持部材を昇降させる昇降機構を更に備え、
前記昇降機構が前記支持部材を上昇させることによって、前記ワークに対して前記パッドが当接し、前記パッドの前記開口端が前記ワークによって閉塞されながら前記ワークが上方に移動し、
前記パッドの前記開口端が前記ワークによって閉塞されながら前記ワークが上方に移動することによって前記内部空間の体積が増加し、これにより前記内部空間が負圧となり前記ワークに吸引力が作用する、
ことを特徴とする請求項１に記載のワーク保持装置。
【請求項５】
前記ワークに前記吸引力が作用することによって前記ワークが前記パッドから離隔することが抑制される、
ことを特徴とする請求項４に記載のワーク保持装置。
【請求項６】
前記昇降機構は、前記ワークに対して前記パッドが当接した後に前記支持部材の上昇を停止させる、
ことを特徴とする請求項４に記載のワーク保持装置。
【請求項７】
前記昇降機構が前記支持部材を上昇させ前記ワークに対して前記パッドが当接する動作を経て前記パッドにより前記ワークが支持され、その後、前記昇降機構が前記支持部材を下降させることによって前記ワークが前記ワーク保持部によって保持される、
ことを特徴とする請求項４に記載のワーク保持装置。
【請求項８】
前記支持部材は、前記第１流路と前記第２流路とを接続する接続部と、前記接続部と前記パッドの前記内部空間とを接続する第３流路とを更に含む、
ことを特徴とする請求項１に記載のワーク保持装置。
【請求項９】
前記第１流路の中心軸と前記第２流路の中心軸とが一致している、
ことを特徴とする請求項８に記載のワーク保持装置。
【請求項１０】
前記第１流路の前記中心軸および前記第２流路の前記中心軸を含む直線に対して第３流路の中心軸が垂直である、
ことを特徴とする請求項９に記載のワーク保持装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク保持装置、処理装置および物品製造方法に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
処理装置は、搬送装置によって搬送されてくるワークを複数のリフトピンによって受け取るように構成されうる。例えば、処理装置は、搬送装置のハンドによって支持されたワークを複数のリフトピンによって受け取るように構成されうる。しかし、複数のリフトピンがワークに当接する瞬間にワークが位置ずれを起こしうる。このような位置ずれが発生しないように複数のリフトピンを上昇させるスピードを遅くすると、生産性の低下を招きうる。なお、特許文献１には、ウエハを吸引によって保持する構成が記載されているが、このような構成を処理装置に組み込むと、吸引を制御するための機構が必要になり、処理装置の全体の構成が複雑になりうる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
実開平６－２９１４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、ワークを受け取る際におけるワークの位置ずれを低減ないし防止するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の１つの側面は、ワークを保持するワーク保持部と、前記ワーク保持部に対して相対的に昇降する支持部材とを備えるワーク保持装置に係り、前記支持部材は、前記ワークに当接する開口端を有する収縮可能なパッドと、前記パッドを支持するパッド支持部と、を含み、前記パッド支持部は、前記パッドの内部空間と外部空間とを接続する第１流路および第２流路と、前記第１流路を通して前記内部空間から前記外部空間に向けて空気が流れることを許し、前記第１流路を通して前記外部空間から前記内部空間に向けて空気が流れることを妨げるように前記第１流路に配置された逆止弁と、含む。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、ワークを受け取る際におけるワークの位置ずれを低減ないし防止するために有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
一実施形態のワーク保持装置の構成例を模式的に示す断面図。
一実施形態のワーク保持装置の構成例を模式的に示す平面図。
ワーク保持装置の支持部材の構成例を模式的に示す断面図。
搬送機構の搬送ハンドの構成例を示す平面図。
ワーク保持装置が搬送機構からワークを受け取ってワーク保持部によって保持する処理を説明するための図。
ワーク保持装置が搬送機構からワークを受け取ってワーク保持部によって保持する処理を説明するための図。
ワーク保持装置が搬送機構からワークを受け取ってワーク保持部によって保持する処理を説明するための図。
ワーク保持装置が搬送機構からワークを受け取ってワーク保持部によって保持する処理を説明するための図。
ワーク保持装置が搬送機構からワークを受け取ってワーク保持部によって保持する処理を説明するための図。
ワーク保持装置が搬送機構からワークを受け取ってワーク保持部によって保持する処理を説明するための図。
ワーク保持装置が搬送機構からワークを受け取ってワーク保持部によって保持する処理を説明するための図。
ワーク保持装置が組み込まれた処理装置の一例としての露光装置の構成例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【０００９】
添付図面および以下の説明において、三次元空間における方向は、ＸＹＺ座標系に従って説明される。ＸＹＺ座標系におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は相互に直交する方向である。Ｘ軸に平行な方向はＸ方向、Ｙ軸に平行な方向はＹ方向、Ｚ軸に平行な方向はＺ方向と表現されうる。Ｚ軸は、典型的には、鉛直方向に平行な方向である。
【００１０】
図１は、一実施形態のワーク保持装置１００の構成を模式的に示す断面図である。図２は、ワーク保持装置１００の構成を模式的に示す平面図である。図４は、搬送機構７の搬送ハンドの構成を示す平面図である。ワーク保持装置１００は、ワークＷを処理する装置に組み込まれうる。ワーク保持装置１００は、基板等のワークＷを保持する装置として構成されうる。ワーク保持装置１００は、ワークＷを保持するワーク保持部（チャック）６と、ワーク保持部６に対して相対的に昇降する１又は複数の支持部材ＳＭとを備えうる。典型的には、ワーク保持装置１００は、複数の支持部材ＳＭを備えうるが、単一の支持部材ＳＭを備える場合もありうる。後者においては、他の１以上の支持ピン等の部材が支持部材ＳＭとともに使用されうる。各支持部材ＳＭは、昇降ピン５の先端に設けられうる。ワーク保持装置１００は、複数の昇降ピン５を昇降させる昇降機構８を更に備えうる。ワーク保持装置１００は、制御部ＣＮＴによって制御されうる。制御部ＣＮＴは、ワーク保持装置１００を備える処理装置に設けられた制御部に組み込まれてもよい。制御部ＣＮＴは、例えば、ＦＰＧＡ（ＦｉｅｌｄＰｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅＧａｔｅＡｒｒａｙの略。）などのＰＬＤ（ＰｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅＬｏｇｉｃＤｅｖｉｃｅの略。）、又は、ＡＳＩＣ（ＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎＳｐｅｃｉｆｉｃＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔの略。）、又は、プログラムが組み込まれた汎用又は専用のコンピュータ、又は、これらの全部または一部の組み合わせによって構成されうる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許