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公開番号2025088690
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-11
出願番号2024082278
出願日2024-05-21
発明の名称分圧回路及びそれを用いた半導体装置
出願人エイブリック株式会社
代理人
主分類H10D 89/00 20250101AFI20250604BHJP()
要約【課題】抵抗素子に生じる抵抗値の経時的な変化による分圧出力電圧の変化の低減と分圧回路領域の面積増大の抑制を両立した分圧回路の提供。
【解決手段】分圧回路100は、第1の端子1と、第2の端子2と、分圧出力端子Qと、第1の端子1と分圧出力端子Qの間に複数の抵抗素子R1nが接続された第1の抵抗群S1と、第2の端子2と分圧出力端子Qの間に複数の抵抗素子R2mが接続された第2の抵抗群S2と、第1の端子1に接続され、平面視において少なくとも第1の抵抗群S1の一部を含む領域を覆う第1の金属膜106と、第2の端子2に接続され、平面視において少なくとも第2の抵抗群S2の一部を含む領域を覆う第2の金属膜107と、を備える分圧回路であって、第2の金属膜107は、さらに第1の抵抗群S1の一部を覆う。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１の端子と、
第２の端子と、
分圧出力端子と、
前記第１の端子と前記分圧出力端子の間に複数の抵抗素子が接続された第１の抵抗群と、
前記第２の端子と前記分圧出力端子の間に複数の抵抗素子が接続された第２の抵抗群と、
前記第１の端子に接続され、平面視において少なくとも前記第１の抵抗群の一部を含む領域を覆う第１の金属膜と、
前記第２の端子に接続され、平面視において少なくとも前記第２の抵抗群の一部を含む領域を覆う第２の金属膜と、
を備える分圧回路であって、
前記第２の金属膜は、さらに前記第１の抵抗群の一部を覆うことを特徴とする分圧回路。
続きを表示（約 99 文字）【請求項２】
前記第１の金属膜と前記第２の金属膜が同じ層に形成されている請求項１に記載の分圧回路。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の分圧回路を有する半導体装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、分圧回路及びそれを用いた半導体装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
携帯機器などに使用される二次電池は、過充電又は過放電すると劣化してしまうため、正負の両端子間には電池電圧を監視して電池を保護する半導体装置が接続される場合が多い。このような半導体装置においては、１０ｍＶ以下程度の検出精度が求められており、個々の半導体装置ごとの検出精度のばらつきを無視できない場合がある。
【０００３】
所定の電圧を検出する技術として、基準電圧や被測定電圧を分圧回路により分圧して比較して行うものがあり、その検出精度を高めるために様々な分圧回路が提案されている。
【０００４】
半導体装置では、多結晶シリコンで形成した複数の抵抗素子を直列に接続した分圧回路を用いる場合がある。この多結晶シリコン抵抗素子は、水素含有量に応じて抵抗値が変化することが知られている。
【０００５】
半導体装置の製造工程においては、パッシベーションに用いるシリコン窒化膜の形成工程やアロイ工程等の水素を含んだ工程を用いることが一般的である。このため、多結晶シリコン抵抗素子の製造工程の途中においては、多結晶シリコン抵抗素子に水素が侵入し、各抵抗素子の抵抗値にばらつきが生じるおそれがある。
【０００６】
この水素の侵入を抑制するため、例えば、特許文献１に記載の発明では、複数の抵抗素子の全体を覆う金属膜を形成することによって、抵抗素子に水素が侵入することを抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２００８－２１１１１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の一つの側面では、抵抗素子に生じる抵抗値の経時的な変化による分圧出力電圧の変化の低減と分圧回路領域の面積増大の抑制を両立した分圧回路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一実施形態における分圧回路は、
第１の端子と、
第２の端子と、
分圧出力端子と、
前記第１の端子と前記分圧出力端子の間に複数の抵抗素子が接続された第１の抵抗群と、
前記第２の端子と前記分圧出力端子の間に複数の抵抗素子が接続された第２の抵抗群と、
前記第１の端子に接続され、平面視において少なくとも前記第１の抵抗群の一部を含む領域を覆う第１の金属膜と、
前記第２の端子に接続され、平面視において少なくとも前記第２の抵抗群の一部を含む領域を覆う第２の金属膜と、
を備える分圧回路であって、
前記第２の金属膜は、さらに前記第１の抵抗群の一部を覆っている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一つの側面によれば、抵抗素子に生じる抵抗値の経時的な変化による分圧出力電圧の変化の低減と分圧回路領域の面積増大の抑制を両立した分圧回路を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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