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公開番号2024125016
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-13
出願番号2023033070
出願日2023-03-03
発明の名称駆動装置、リソグラフィー装置、物品製造方法、プロセッサ、プログラムおよび検知方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類H02P 29/024 20160101AFI20240906BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】直動軸受案内の摩耗の検知のための制約を減らしつつ摩耗を高い精度で検知するために有利な技術を提供する。
【解決手段】駆動装置は、直動軸受案内と、前記直動軸受案内によって案内される移動体と、前記移動体を駆動する駆動部と、前記直動軸受案内の摩耗を検知する検知部と、を備え、前記駆動部は、前記移動体とともに移動する第1部品と、前記第1部品に対して力を与える第2部品とを含み、前記検知部は、前記第1部品と前記第2部品との間隙の変化によって引き起こされる振動に基づいて前記直動軸受案内の摩耗を検知する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
直動軸受案内と、
前記直動軸受案内によって案内される移動体と、
前記移動体を駆動する駆動部と、
前記直動軸受案内の摩耗を検知する検知部と、を備え、
前記駆動部は、前記移動体とともに移動する第１部品と、前記第１部品に対して力を与える第２部品とを含み、
前記検知部は、前記第１部品と前記第２部品との間隙の変化によって引き起こされる振動に基づいて前記直動軸受案内の摩耗を検知する、
ことを特徴とする駆動装置。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記第１部品および前記第２部品は、ラックアンドピニオンを構成し、
前記振動は、前記ラックアンドピニオンの噛み合い周波数を整数で除した周波数にピークを有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記整数は、偶数である、
ことを特徴とする請求項２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記整数は、２または４である、
ことを特徴とする請求項２に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記整数は、２である、
ことを特徴とする請求項２に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記噛み合い周波数は、ピニオンギアの回転数と前記ピニオンギアの歯数との積である、
ことを特徴とする請求項２に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記駆動部は、前記第１部品を可動子とし、前記第２部品を固定子とするリニアモータである、
ことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項８】
前記振動は、前記リニアモータのコギングによる振動である、
ことを特徴とする請求項７に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記コギングの周波数は、前記移動体の速度を前記リニアモータの固定子を構成する磁石のピッチで除した値を有する、
ことを特徴とする請求項８に記載の駆動装置。
【請求項１０】
前記リニアモータは、リニアパルスモータである、
ことを特徴とする請求項７に記載の駆動装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置、リソグラフィー装置、物品製造方法、プロセッサ、プログラムおよび検知方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
直動軸受案内の摩耗を検知する方法として、直動軸受案内から発生する振動の強度変化を監視する方法と、直動軸受案内から発生する振動の周波数変化を監視する方法がある。前者の方法が特許文献１に記載され、後者の方法が特許文献２に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１０－１９６７４２号公報
特開２００９－０２００９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された方法では、摩耗検知対象の直動軸受案内によって案内される移動体を常に同じ条件で駆動する必要がある。よって、特許文献１に記載された方法は、駆動条件が常に変化しうる直動軸受案内には適用が難しい摩耗検知方法である。これは、直動軸受案内から発する振動の振幅のピーク値が、直動軸受案内のブロックによって支持される移動体の駆動速度Ｖによって変わるからである。例えば、移動体（ブロック）を高速で動かせばピーク値は大きくなり、低速で動かせばピーク値は小さくなる。そのため移動体を常に同じ条件で駆動させなければ、正確な摩耗検知ができない。
【０００５】
特許文献２に記載された方法では、直動軸受案内のブロック内部の部品と転動体の衝突による振動のために、直動軸受案内から発する振動のピーク周波数が不安定になりうる。そのため、同方法では、正確に摩耗検知ができない可能性がある。例えば、直動軸受案内の内部には転動体が循環する経路があり、転動体がその経路を循環する際に転動体同士が衝突する。また、ブロックの両端にあるエンドキャップには、転動体をＵターンさせるリターンガイドがあり、このリターンガイドと転動体とが衝突する。このような衝突のために転動体の循環が円滑にできず、直動軸受案内から発する振動のピーク周波数が不安定になりうる。
【０００６】
本発明は、直動軸受案内の摩耗の検知のための制約を減らしつつ摩耗を高い精度で検知するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の１つの側面は、駆動装置に係り、前記駆動装置は、直動軸受案内と、前記直動軸受案内によって案内される移動体と、前記移動体を駆動する駆動部と、前記直動軸受案内の摩耗を検知する検知部と、を備え、前記駆動部は、前記移動体とともに移動する第１部品と、前記第１部品に対して力を与える第２部品とを含み、前記検知部は、前記第１部品と前記第２部品との間隙の変化によって引き起こされる振動に基づいて前記直動軸受案内の摩耗を検知する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、直動軸受案内の摩耗の検知のための制約を減らしつつ摩耗を高い精度で検知するために有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１実施形態の駆動装置の構成を例示する図。
直動軸受案内の内部構造を例示する断面図。
第２実施形態の駆動装置の構成を例示する図。
鉄芯付きリニアモータの構成を模式的に示す断面図。
第３実施形態の駆動装置の構成を例示する図。
リニアパルスモータの駆動装置の構成を例示する図。
リニアパルスモータの吸引力を説明するための図。
リソグラフィー装置の構成を例示する図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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