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公開番号2024085700
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-27
出願番号2022200367
出願日2022-12-15
発明の名称表示装置およびその製造方法
出願人株式会社ジャパンディスプレイ
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類H10K 50/824 20230101AFI20240620BHJP()
要約【課題】歩留まりを向上させることが可能な表示装置を提供する。
【解決手段】一実施形態に係る表示装置は、下電極と、前記下電極に重なる画素開口を有するリブと、前記リブの上に配置された導電性のボトム部、前記ボトム部の上に配置された軸部および前記軸部の上に配置されたトップ部を含む隔壁と、前記画素開口を通じて前記下電極を覆い、電圧の印加に応じて発光する有機層と、前記有機層を覆い、前記ボトム部に接触した上電極と、を備えている。前記ボトム部および前記トップ部は、前記軸部の側面から突出している。前記側面からの前記ボトム部の第1突出長さは、0.2μm以上かつ0.7μm以下である。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
下電極と、
前記下電極に重なる画素開口を有するリブと、
前記リブの上に配置された導電性のボトム部と、前記ボトム部の上に配置された軸部と、前記軸部の上に配置されたトップ部とを含む隔壁と、
前記画素開口を通じて前記下電極を覆い、電圧の印加に応じて発光する有機層と、
前記有機層を覆い、前記ボトム部に接触した上電極と、
を備え、
前記ボトム部および前記トップ部は、前記軸部の側面から突出しており、
前記側面からの前記ボトム部の第１突出長さは、０．２μｍ以上かつ０．７μｍ以下である、
表示装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記第１突出長さは、０．３μｍ以上かつ０．５μｍ以下である、
請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記第１突出長さは、前記側面からの前記トップ部の第２突出長さよりも小さい、
請求項１に記載の表示装置。
【請求項４】
前記ボトム部は、前記軸部よりも薄い、
請求項１に記載の表示装置。
【請求項５】
前記第１突出長さは、前記ボトム部の厚さよりも大きい、
請求項１に記載の表示装置。
【請求項６】
前記ボトム部は、窒化チタンで形成されている、
請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項７】
前記軸部は、アルミニウムで形成されている、
請求項６に記載の表示装置。
【請求項８】
下電極を形成し、
前記下電極の少なくとも一部を覆うリブを形成し、
導電性のボトム部と、前記ボトム部の上に位置する軸部と、前記軸部の上に位置するトップ部とを含む隔壁を前記リブの上に形成する、
ことを含み、
前記隔壁の形成は、
導電性の第１層を形成し、
前記第１層の上に第２層を形成し、
前記第２層の上に第３層を形成し、
前記第３層の上にレジストを形成し、
前記第３層のうち前記レジストから露出した部分を除去することにより前記トップ部を形成し、
前記第２層のうち前記トップ部から露出した部分を除去し、
前記トップ部の下方に残された前記第２層の幅を前記トップ部の幅よりも小さい第１幅に低減し、
前記第１層のうち前記第１幅の前記第２層から露出した部分を除去することにより前記ボトム部を形成し、
前記ボトム部を形成した後に、前記第２層の幅を前記ボトム部の幅よりも小さい第２幅に低減することにより前記軸部を形成する、
ことを含む、表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記軸部の側面からの前記ボトム部の第１突出長さは、０．２μｍ以上かつ０．７μｍ以下である、
請求項８に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記第１突出長さは、０．３μｍ以上かつ０．５μｍ以下である、
請求項９に記載の表示装置の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、表示装置およびその製造方法に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、表示素子として有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）を適用した表示装置が実用化されている。この表示素子は、下電極と、下電極を覆う有機層と、有機層を覆う上電極とを備えている。
【０００３】
上記のような表示装置を製造するにあたり、歩留まりを向上させる技術が必要とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０００－１９５６７７号公報
特開２００４－２０７２１７号公報
特開２００８－１３５３２５号公報
特開２００９－３２６７３号公報
特開２０１０－１１８１９１号公報
国際公開第２０１８／１７９３０８号
米国特許出願公開第２０２２／００７７２５１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、歩留まりを向上させることが可能な表示装置およびその製造方法を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一実施形態に係る表示装置は、下電極と、前記下電極に重なる画素開口を有するリブと、前記リブの上に配置された導電性のボトム部、前記ボトム部の上に配置された軸部および前記軸部の上に配置されたトップ部を含む隔壁と、前記画素開口を通じて前記下電極を覆い、電圧の印加に応じて発光する有機層と、前記有機層を覆い、前記ボトム部に接触した上電極と、を備えている。前記ボトム部および前記トップ部は、前記軸部の側面から突出している。前記側面からの前記ボトム部の第１突出長さは、０．２μｍ以上かつ０．７μｍ以下である。
【０００７】
一実施形態に係る表示装置の製造方法は、下電極を形成し、前記下電極の少なくとも一部を覆うリブを形成し、導電性のボトム部と、前記ボトム部の上に位置する軸部と、前記軸部の上に位置するトップ部とを含む隔壁を前記リブの上に形成する、ことを含む。前記隔壁の形成は、導電性の第１層を形成し、前記第１層の上に第２層を形成し、前記第２層の上に第３層を形成し、前記第３層の上にレジストを形成し、前記第３層のうち前記レジストから露出した部分を除去することにより前記トップ部を形成し、前記第２層のうち前記トップ部から露出した部分を除去し、前記トップ部の下方に残された前記第２層の幅を前記トップ部の幅よりも小さい第１幅に低減し、前記第１層のうち前記第１幅の前記第２層から露出した部分を除去することにより前記ボトム部を形成し、前記ボトム部を形成した後に、前記第２層の幅を前記ボトム部の幅よりも小さい第２幅に低減することにより前記軸部を形成する、ことを含む。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、一実施形態に係る表示装置の構成例を示す図である。
図２は、副画素のレイアウトの一例を示す概略的な平面図である。
図３は、図２中のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿う表示装置の概略的な断面図である。
図４は、隔壁に適用し得る構成の一例を示す概略的な断面図である。
図５は、表示装置の製造方法の一例を示すフローチャートである。
図６は、リブおよび隔壁を形成するための工程の一例を示す概略的な断面図である。
図７は、図６に続く工程を示す概略的な断面図である。
図８は、図７に続く工程を示す概略的な断面図である。
図９は、図８に続く工程を示す概略的な断面図である。
図１０は、図９に続く工程を示す概略的な断面図である。
図１１は、図１０に続く工程を示す概略的な断面図である。
図１２は、図１１に続く工程を示す概略的な断面図である。
図１３は、表示素子を形成するための工程の一例を示す概略的な断面図である。
図１４は、図１３に続く工程を示す概略的な断面図である。
図１５は、図１４に続く工程を示す概略的な断面図である。
図１６は、図１５に続く工程を示す概略的な断面図である。
図１７は、図１６に続く工程を示す概略的な断面図である。
図１８は、図１７に続く工程を示す概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
一実施形態について図面を参照しながら説明する。
開示はあくまで一例に過ぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一または類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。
【００１０】
なお、図面には、必要に応じて理解を容易にするために、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を記載する。Ｘ軸に沿った方向を第１方向Ｘと称し、Ｙ軸に沿った方向を第２方向Ｙと称し、Ｚ軸に沿った方向を第３方向Ｚと称する。第３方向Ｚは、第１方向Ｘと第２方向Ｙを含む平面に対して法線方向である。また、第３方向Ｚと平行に各種要素を見ることを平面視という。
（【００１１】以降は省略されています）

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