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公開番号2024076590
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-06
出願番号2022188205
出願日2022-11-25
発明の名称表示装置の製造方法
出願人株式会社ジャパンディスプレイ
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類H10K 71/16 20230101AFI20240530BHJP()
要約【課題】 信頼性の低下を抑制することが可能な表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 一実施形態に係る表示装置の製造方法は、複数の表示素子が形成される第1主面と、前記第1主面と接続された側面とを有する基材の前記第1主面と重なる下電極を形成し、前記下電極と重なる画素開口を有するリブを形成し、前記リブの上に隔壁を形成し、前記画素開口を通じて前記下電極を覆う第1有機層と、前記第1有機層を覆う第1上電極とを含む第1蒸着膜を形成し、前記第1蒸着膜を覆う第1封止層を形成する、ことを含む。前記第1封止層は、前記第1蒸着膜を覆う第1上端部と、前記第1上端部と接続され、前記側面を覆う第1側端部と、を有する。
【選択図】 図13
特許請求の範囲【請求項1】
複数の表示素子が形成される第1主面と、前記第1主面と接続された側面とを有する基材の前記第1主面と重なる下電極を形成し、
前記下電極と重なる画素開口を有するリブを形成し、
前記リブの上に隔壁を形成し、
前記画素開口を通じて前記下電極を覆う第1有機層と、前記第1有機層を覆う第1上電極とを含む第1蒸着膜を形成し、
前記第1蒸着膜を覆う第1封止層を形成する、ことを含み、
前記第1封止層は、前記第1蒸着膜を覆う第1上端部と、前記第1上端部と接続され、前記側面を覆う第1側端部と、を有する、
表示装置の製造方法。
続きを表示(約 1,200 文字)【請求項2】
前記基材は、前記第1主面と反対側の第2主面をさらに有し、
前記第1封止層は、前記第1側端部と接続され、前記第2主面の少なくとも一部を覆う下端部をさらに有する、
請求項1に記載の表示装置の製造方法。
【請求項3】
前記第1封止層を形成した後、前記第1封止層の上に第1レジストを形成し、
前記第1封止層および前記第1蒸着膜のうち前記第1レジストから露出した部分をエッチングによって除去し、
前記第1レジストを除去する、ことをさらに含む、
請求項1に記載の表示装置の製造方法。
【請求項4】
前記第1封止層および前記第1蒸着膜のうち前記第1レジストから露出した部分を除去することは、前記第1上端部と前記第1側端部とを除去することを含む、
請求項3に記載の表示装置の製造方法。
【請求項5】
前記第1蒸着膜は、前記第1上電極を覆うキャップ層をさらに含む、
請求項1に記載の表示装置の製造方法。
【請求項6】
前記第1封止層は、無機絶縁材料によって形成される、
請求項1に記載の表示装置の製造方法。
【請求項7】
前記第1レジストを除去した後、前記画素開口を通じて前記下電極を覆う第2有機層と、前記第2有機層を覆う第2上電極と、を含む第2蒸着膜を形成し、
前記第2蒸着膜を覆う第2封止層を形成する、ことをさらに含み、
前記第2封止層は、前記第2蒸着膜を覆う第2上端部と、前記第2上端部と接続され、前記側面を覆う第2側端部と、を有する、
請求項3に記載の表示装置の製造方法。
【請求項8】
前記第2封止層を形成した後、前記第2封止層の上に第2レジストを形成し、
前記第2封止層および前記第2蒸着膜のうち前記第2レジストから露出した部分をエッチングによって除去し、
前記第2レジストを除去する、ことをさらに含む、
請求項7に記載の表示装置の製造方法。
【請求項9】
前記第2レジストを除去した後、前記画素開口を通じて前記下電極を覆う第3有機層と、前記第3有機層を覆う第3上電極と、を含む第3蒸着膜を形成し、
前記第3蒸着膜を覆う第3封止層を形成する、ことをさらに含み、
前記第3封止層は、前記第3蒸着膜を覆う第3上端部と、前記第3上端部と接続され、前記側面を覆う第3側端部と、を有する、
請求項8に記載の表示装置の製造方法。
【請求項10】
前記隔壁は、前記リブの上に配置された下部と、前記下部の上に配置され、前記下部よりも大きな幅を有する上部と、を有する、
請求項1に記載の表示装置の製造方法。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、表示装置の製造方法に関する。
続きを表示(約 2,100 文字)【背景技術】
【0002】
近年、表示素子として有機発光ダイオード(OLED)を適用した表示装置が実用化されている。この表示素子は、下電極と、下電極を覆う有機層と、有機層を覆う上電極とを備えている。
【0003】
ところで、上述の表示装置は、複数のパネル部を有するマザー基板を用意し、マザー基板からカットされたパネル部の各々を用いて製造される。このような表示装置を製造する過程において、表示装置の信頼性の低下を抑制する技術が必要とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2000-195677号公報
特開2004-207217号公報
特開2008-135325号公報
特開2009-32673号公報
特開2010-118191号公報
国際公開第2018/179308号
米国特許出願公開第2022/0077251号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明の目的は、信頼性の低下を抑制することが可能な表示装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
一実施形態に係る表示装置の製造方法は、複数の表示素子が形成される第1主面と、前記第1主面と接続された側面とを有する基材の前記第1主面と重なる下電極を形成し、前記下電極と重なる画素開口を有するリブを形成し、前記リブの上に隔壁を形成し、前記画素開口を通じて前記下電極を覆う第1有機層と、前記第1有機層を覆う第1上電極とを含む第1蒸着膜を形成し、前記第1蒸着膜を覆う第1封止層を形成する、ことを含む。前記第1封止層は、前記第1蒸着膜を覆う第1上端部と、前記第1上端部と接続され、前記側面を覆う第1側端部と、を有する。
【図面の簡単な説明】
【0007】
図1は、一実施形態に係る表示装置の構成例を示す図である。
図2は、副画素のレイアウトの一例を示す図である。
図3は、図2中のIII-III線に沿う表示装置の概略的な断面図である。
図4は、表示装置用マザー基板の概略的な平面図である。
図5は、表示装置の製造方法の一例を示すフローチャートである。
図6は、表示装置の製造工程の一部を示す概略的な断面図である。
図7は、図6に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図8は、図7に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図9は、図8に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図10は、図9に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図11は、図10に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図12は、図11に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図13は、表示装置の製造工程の一部を示す概略的な断面図である。
図14は、図13に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図15は、図14に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図16は、図15に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図17は、表示装置の製造工程の他の例を示す概略的な断面図である。
図18は、比較例に係る表示装置の製造工程の一部を示す概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
一実施形態について図面を参照しながら説明する。
開示はあくまで一例に過ぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一または類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。
【0009】
なお、図面には、必要に応じて理解を容易にするために、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を記載する。X軸に沿った方向を第1方向Xと称し、Y軸に沿った方向を第2方向Yと称し、Z軸に沿った方向を第3方向Zと称する。第3方向Zは、第1方向Xと第2方向Yを含む平面に対して法線方向である。また、第3方向Zと平行に各種要素を見ることを平面視という。
【0010】
一実施形態に係る表示装置は、表示素子として有機発光ダイオード(OLED)を備える有機エレクトロルミネッセンス表示装置であり、テレビ、パーソナルコンピュータ、車載機器、タブレット端末、スマートフォン、携帯電話端末等に搭載され得る。
(【0011】以降は省略されています)

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