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公開番号2024078849
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-11
出願番号2022191431
出願日2022-11-30
発明の名称赤外ラマン装置
出願人株式会社島津製作所
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類G02B 21/00 20060101AFI20240604BHJP(光学)
要約【課題】対物光学系周りの小型化が可能であるとともに、測定モードの切り替えに伴う試料位置の調整を不要とすることが可能な赤外ラマン装置を提供する。
【解決手段】赤外ラマン装置(100,100A)は、試料(S)に対するラマン測定及び第1赤外測定を切り替えて行うことが可能である。赤外ラマン装置は、ラマン測定用対物レンズ(41)と、赤外測定用第1観察レンズ(42)と、レーザ光(L1)を発生させるレーザ光源(11)と、第1赤外光(L2)を発生させる第1赤外光源(12)と、ミラー(30)とを備える。ラマン測定が行われる際、ミラーは、レーザ光を反射してラマン測定用対物レンズを通過させるとともに、ラマン測定用対物レンズを通過して試料に照射されたレーザ光により試料から発生し、かつラマン測定用対物レンズを通過したラマン光(L3)を反射するように配置されている。
【選択図】図1A
特許請求の範囲【請求項１】
試料に対するラマン測定及び第１赤外測定を切り替えて行うことが可能な赤外ラマン装置であって、
ラマン測定用対物レンズと、
赤外測定用第１観察レンズと、
レーザ光を発生させるレーザ光源と、
第１赤外光を発生させる第１赤外光源と、
ミラーとを備え、
前記ラマン測定が行われる際、前記ミラーは、前記レーザ光を反射して前記ラマン測定用対物レンズを通過させるとともに、前記ラマン測定用対物レンズを通過して前記試料に照射された前記レーザ光により前記試料から発生し、かつ前記ラマン測定用対物レンズを通過したラマン光を反射するように配置されており、
前記第１赤外測定が行われる際、前記赤外測定用第１観察レンズは、前記赤外測定用第１観察レンズの光軸が前記ラマン測定が行われる際の前記ラマン測定用対物レンズの光軸と一致するように前記ラマン測定用対物レンズから切り替えて用いられ、
前記第１赤外測定が行われる際、前記ミラーは、前記第１赤外光を部分的に反射して前記赤外測定用第１観察レンズを通過させるとともに、前記赤外測定用第１観察レンズを通過した上で前記試料で反射され、かつ前記赤外測定用第１観察レンズを再び通過した前記第１赤外光を通過させるように配置されている、赤外ラマン装置。
続きを表示（約 570 文字）【請求項２】
レボルバをさらに備え、
前記レボルバには、前記ラマン測定用対物レンズ及び前記赤外測定用第１観察レンズが取り付けられており、
前記第１赤外測定が行われる際、前記レボルバを回転させることにより、前記赤外測定用第１観察レンズは、前記赤外測定用第１観察レンズの光軸が前記ラマン測定が行われる際の前記ラマン測定用対物レンズの光軸と一致するように前記ラマン測定用対物レンズから切り替えて用いられる、請求項１に記載の赤外ラマン装置。
【請求項３】
前記赤外ラマン装置は、前記試料に対する第２赤外測定をさらに切り替えて行うことが可能であり、
赤外測定用第２観察レンズと、
第２赤外光を発生させる第２赤外光源とをさらに備え、
前記赤外測定用第２観察レンズの光軸は、前記第１赤外測定が行われる際の前記赤外測定用第１観察レンズの光軸と一致しており、
前記第２赤外測定が行われる際、前記ミラーは、前記赤外測定用第２観察レンズ、前記試料及び前記赤外測定用第１観察レンズを順次通過した前記第２赤外光の光路から離脱されている、請求項１に記載の赤外ラマン装置。
【請求項４】
前記ミラーは、エッジミラーである、請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の赤外ラマン装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、赤外ラマン装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、国際公開第２０１３／１３２７３４号（特許文献１）には、試料に対するラマン測定及び赤外測定を切り替えて行う装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０１３／１３２７３４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
試料に対するラマン測定及び赤外測定を切り替えて行う装置では、対物光学系周りが大型化してしまうことがある。また、試料に対するラマン測定及び赤外測定を切り替えて行う装置では、測定モードの切り替えに伴い、試料位置の調整が必要なことがある。
【０００５】
本開示は、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものである。より具体的には、本開示は、対物光学系周りの小型化が可能であるとともに、測定モードの切り替えに伴う試料位置の調整を不要とすることが可能な赤外ラマン装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の赤外ラマン装置は、試料に対するラマン測定及び第１赤外測定を切り替えて行うことが可能である。赤外ラマン装置は、ラマン測定用対物レンズと、赤外測定用第１観察レンズと、レーザ光を発生させるレーザ光源と、第１赤外光を発生させる第１赤外光源と、ミラーとを備える。ラマン測定が行われる際、ミラーは、レーザ光を反射してラマン測定用対物レンズを通過させるとともに、ラマン測定用対物レンズを通過して試料に照射されたレーザ光により試料から発生し、かつラマン測定用対物レンズを通過したラマン光を反射するように配置されている。第１赤外測定が行われる際、赤外測定用第１観察レンズは、赤外測定用第１観察レンズの光軸がラマン測定が行われる際のラマン測定用対物レンズの光軸と一致するようにラマン測定用対物レンズから切り替えて用いられる。第１赤外測定が行われる際、ミラーは、第１赤外光を部分的に反射して赤外測定用第１観察レンズを通過させるとともに、赤外測定用第１観察レンズを通過した上で試料で反射され、かつ赤外測定用第１観察レンズを再び通過した第１赤外光を通過させるように配置されている。
【発明の効果】
【０００７】
本開示の赤外ラマン装置によると、対物光学系周りの小型化が可能であるとともに、測定モードの切り替えに伴う試料位置の調整を不要とすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
ラマン測定が行われる際の赤外ラマン装置１００の模式図である。
第１赤外測定が行われる際の赤外ラマン装置１００の模式図である。
第１赤外測定が行われる際のミラー３０近傍における拡大模式図である。
赤外測定用第１観察レンズ４２の模式図である。
第１赤外光Ｌ２が赤外測定用第１観察レンズ４２を通過する際の模式図である。
ラマン測定が行われる際の赤外ラマン装置２００の模式図である。
第１赤外測定が行われる際の赤外ラマン装置２００の模式図である。
第２赤外測定が行われる際の赤外ラマン装置１００Ａの模式図である。
赤外測定用第２観察レンズ４６の模式図である。
第２赤外光Ｌ４が赤外測定用第２観察レンズ４６、試料Ｓ及び赤外測定用第１観察レンズ４２を通過する際の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本開示の実施形態を、図面を参照しながら説明する。以下の図面では、同一又は相当する部分に同一の参照符号を付し、重複する説明は繰り返さないものとする。
【００１０】
（第１実施形態）
第１実施形態に係る赤外ラマン装置（以下「赤外ラマン装置１００」とする。）を説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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