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公開番号2024011323
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-01-25
出願番号2022113237
出願日2022-07-14
発明の名称センサ及び電子装置
出願人株式会社東芝
代理人弁理士法人iX
主分類G01P 15/08 20060101AFI20240118BHJP(測定;試験)
要約【課題】安定した特性が得られるセンサ及び電子装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、センサは、基体、第1支持部、第1可動部及び第1絶縁部材を含む。基体は、第1面を含む。第1面は、第1基体領域、第2基体領域及び第3基体領域を含む。第1支持部は、第3基体領域に固定される。第1可動部は、第1支持部に支持される。第1可動部は、第1可動領域及び第2可動領域を含む。第1基体領域と第1可動領域との間に第1間隙が設けられる。第1絶縁部材は、第2基体領域に固定される。第3基体領域から第1支持部への第1方向において第1絶縁部材は第2基体領域と第2可動領域との間にある。第1絶縁部材と第2可動領域との間に第2間隙が設けられる。第1絶縁部材と第2可動領域との間の第1方向に沿う第2距離は、第1基体領域と第1可動領域との間の第1方向に沿う第1距離よりも短い。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１基体領域、第２基体領域及び第３基体領域を含む第１面を含む基体と、
前記第３基体領域に固定された第１支持部と、
前記第１支持部に支持された第１可動部であって、前記第１可動部は、第１可動領域及び第２可動領域を含み、前記第１基体領域と前記第１可動領域との間に第１間隙が設けられた、前記第１可動部と、
前記第２基体領域に固定された第１絶縁部材であって、前記第３基体領域から前記第１支持部への第１方向において前記第１絶縁部材は前記第２基体領域と前記第２可動領域との間にあり、前記第１絶縁部材と前記第２可動領域との間に第２間隙が設けられ、前記第１絶縁部材と前記第２可動領域との間の前記第１方向に沿う第２距離は、前記第１基体領域と前記第１可動領域との間の前記第１方向に沿う第１距離よりも短い、前記第１絶縁部材と、
を備えたセンサ。
続きを表示（約 930 文字）【請求項２】
前記第１支持部に支持された第１接続部をさらに備え、
前記第１接続部は、前記第１可動部を前記第１支持部に接続する、請求項１に記載のセンサ。
【請求項３】
前記第１面に固定された第１固定電極をさらに備え、
前記第１固定電極は、前記第１可動部と対向する、請求項１に記載のセンサ。
【請求項４】
前記第１方向と交差する第２方向において、前記第１固定電極は前記第１可動部と対向する、請求項３に記載のセンサ。
【請求項５】
前記第１可動部は、前記第１方向に沿う孔を含み、
前記第１固定電極の一部は、前記孔の中を通る、請求項４に記載のセンサ。
【請求項６】
前記基体と前記第１固定電極との間に設けられた第１固定絶縁部をさらに備え、
前記第１絶縁部材は、前記第１固定絶縁部に含まれる材料を含む、請求項３に記載のセンサ。
【請求項７】
前記第３基体領域と前記第１支持部との間に設けられた第１支持絶縁部をさらに備え、
前記第１絶縁部材は、前記第１支持絶縁部に含まれる材料を含む、請求項１に記載のセンサ。
【請求項８】
第２面を含む対向基板と、
前記第２面に固定された第１対向電極層と、
前記第１支持部に固定された第１支持電極層と、
をさらに備え、
前記第１面と前記第２面との間に、前記第１支持部及び前記第１可動部があり、
前記第１支持電極層は、前記第１対向電極層と対向し、
前記第１支持電極層は、前記第１対向電極層と電気的に接続され、
前記第１可動部と前記第２面との間に第５間隙が設けられた、請求項１に記載のセンサ。
【請求項９】
前記第２面に固定された対向基板部材をさらに備え、
前記第１可動部と前記対向基板部材との間に第６間隙が設けられた、請求項８に記載のセンサ。
【請求項１０】
請求項１～９のいずれか１つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
を備えた電子装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、センサ及び電子装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
ジャイロセンサなどのセンサがある。センサ及び電子装置において、安定した特性が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－２１７８４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、安定した特性が得られるセンサ及び電子装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態によれば、センサは、基体、第１支持部、第１可動部及び第１絶縁部材を含む。前記基体は、第１面を含む。前記第１面は、第１基体領域、第２基体領域及び第３基体領域を含む。前記第１支持部は、前記第３基体領域に固定される。前記第１可動部は、前記第１支持部に支持される。前記第１可動部は、第１可動領域及び第２可動領域を含む。前記第１基体領域と前記第１可動領域との間に第１間隙が設けられる。前記第１絶縁部材は、前記第２基体領域に固定される。前記第３基体領域から前記第１支持部への第１方向において前記第１絶縁部材は前記第２基体領域と前記第２可動領域との間にある。前記第１絶縁部材と前記第２可動領域との間に第２間隙が設けられる。前記第１絶縁部材と前記第２可動領域との間の前記第１方向に沿う第２距離は、前記第１基体領域と前記第１可動領域との間の前記第１方向に沿う第１距離よりも短い。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図２は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図３は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図４は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図５は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図６は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図７は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図８は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図９（ａ）及び図９（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの製造方法を例示する模式的断面図である。
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの製造方法を例示する模式的断面図である。
図１１は、第２実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。
図１２（ａ）～図１２（ｈ）は、電子装置の応用を例示する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図２は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１は、図２のＡ１－Ａ２線断面図である。
図１に示すように、実施形態に係るセンサ１１０は、基体１０ｓ、第１支持部２１、第１可動部２３、及び、第１絶縁部材３１を含む。
【０００９】
基体１０ｓは、第１面１０ｆを含む。第１面１０ｆは、第１基体領域１０ａ、第２基体領域１０ｂ及び第３基体領域１０ｃを含む。
【００１０】
第１支持部２１は、第３基体領域１０ｃに固定される。この例では、第３基体領域１０ｃと第１支持部２１との間に第１支持絶縁部２１ｉが設けられている。第１支持部２１は、第１支持絶縁部２１ｉを介して第３基体領域１０ｃに固定される。
（【００１１】以降は省略されています）

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