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公開番号2024096569
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-17
出願番号2023000131
出願日2023-01-04
発明の名称センサ及び電子装置
出願人株式会社東芝
代理人弁理士法人iX
主分類G01P 15/097 20060101AFI20240709BHJP(測定;試験)
要約【課題】安定した特性が得られるセンサ及び電子装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、センサは、筐体、センサ部、及び、複数の第1固定部材を含む。前記筐体は、筐体基体を含む、前記センサ部は、前記筐体に囲まれる。前記センサ部は、センサ基体と、前記センサ基体に固定された支持部と、前記支持部に支持された可動部と、前記センサ基体に固定され前記可動部に対向する複数の固定電極と、を含む。前記センサ基体と前記可動部との間に第1間隙が設けられる。前記センサ基体から前記支持部への第1方向に対して垂直な第1平面において、前記複数の固定電極は、n回転対称に設けられる。前記nは2以上の整数である。前記複数の第1固定部材は、前記センサ基体を前記筐体基体に固定する。前記第1平面において、前記複数の第1固定部材は前記n回転対称に設けられる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
筐体基体を含む筐体と、
前記筐体に囲まれたセンサ部であって、前記センサ部は、
センサ基体と、
前記センサ基体に固定された支持部と、
前記支持部に支持された可動部と、
前記センサ基体に固定され前記可動部に対向する複数の固定電極と、
を含み、前記センサ基体と前記可動部との間に第１間隙が設けられ、前記センサ基体から前記支持部への第１方向に対して垂直な第１平面において、前記複数の固定電極は、ｎ回転対称に設けられ、前記ｎは２以上の整数である、前記センサ部と、
前記センサ基体を前記筐体基体に固定する複数の第１固定部材であって、前記第１平面において、前記複数の第１固定部材は前記ｎ回転対称に設けられた、前記複数の第１固定部材と、
を備えた、センサ。
続きを表示（約 770 文字）【請求項２】
複数の第１接続導電部材をさらに備え、
前記複数の第１接続導電部材の１つは、前記複数の固定電極の１つと電気的に接続された、請求項１に記載のセンサ。
【請求項３】
前記複数の第１接続導電部材は、前記第１方向において前記複数の第１固定部材と重ならない、請求項２に記載のセンサ。
【請求項４】
前記複数の固定電極のそれぞれは、前記複数の第１接続導電部材と電気的接続に接続された接続箇所を含み、
前記複数の固定電極の前記複数の接続箇所は、前記ｎ回転対称に設けられた、請求項２に記載のセンサ。
【請求項５】
前記センサ基体の前記第１方向に沿う第１厚さは、前記可動部の前記第１方向に沿う第２厚さの２倍以下である、請求項１～４のいずれか１つに記載のセンサ。
【請求項６】
前記可動部は、前記支持部を中心とする環状である、請求項１に記載のセンサ。
【請求項７】
前記複数の第１固定部材の少なくとも一部は、前記第１方向において、前記センサ基体のコーナ部と重なる、請求項１に記載のセンサ。
【請求項８】
前記複数の第１固定部材の少なくとも一部は、前記第１方向において、前記センサ基体の辺と重なる、請求項１に記載のセンサ。
【請求項９】
第２固定部材をさらに備え、
前記第２固定部材は、前記筐体基体と前記センサ基体との間に設けられ、
前記第２固定部材の少なくとも一部は、前記第１方向において前記支持部と重なる、請求項１に記載のセンサ。
【請求項１０】
請求項１に記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
を備えた電子装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、センサ及び電子装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
ジャイロセンサなどのセンサがある。センサ及び電子装置において、安定した特性が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１４４０６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、安定した特性が得られるセンサ及び電子装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態によれば、センサは、筐体、センサ部、及び、複数の第１固定部材を含む。前記筐体は、筐体基体を含む、前記センサ部は、前記筐体に囲まれる。前記センサ部は、センサ基体と、前記センサ基体に固定された支持部と、前記支持部に支持された可動部と、前記センサ基体に固定され前記可動部に対向する複数の固定電極と、を含む。前記センサ基体と前記可動部との間に第１間隙が設けられる。前記センサ基体から前記支持部への第１方向に対して垂直な第１平面において、前記複数の固定電極は、ｎ回転対称に設けられる。前記ｎは２以上の整数である。前記複数の第１固定部材は、前記センサ基体を前記筐体基体に固定する。前記第１平面において、前記複数の第１固定部材は前記ｎ回転対称に設けられる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図２は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図３は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図４は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図５は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図６は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図７は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図８は、第２実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。
図９（ａ）～図９（ｈ）は、電子装置の応用を例示する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１実施形態）
図１及び図２は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図３は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図１は、図３に例示する構造の一部に関する平面図である。図２において、図１に例示する一部の要素が省略されている。図３は、図１のＡ１－Ａ２線断面図である。
【０００９】
図１～３に示すように、実施形態に係るセンサ１１０は、筐体４０、センサ部１０Ｕ、及び、複数の第１固定部材３１を含む。
【００１０】
筐体４０は、筐体基体４１を含む。筐体４０は、筐体部材４２をさらに含んで良い。筐体部材４２は、筐体基体４１と接続される。例えば、筐体部材４２は、第１側部４２ａ、第２側部４２ｂ、第３側部４２ｃ、第４側部４２ｄ、及び、第５部分４２ｅを含む。第１側部４２ａ、第２側部４２ｂ、第３側部４２ｃ、及び、第４側部４２ｄは、筐体基体４１及び第５部分４２ｅと接続される。これらの部分の互いの境界は明確でも不明確でも良い。筐体基体４１と筐体部材４２との間に空間が形成される。例えば、この空間にセンサ部１０Ｕが設けられる。
（【００１１】以降は省略されています）

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