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公開番号2025135638
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024033474
出願日2024-03-06
発明の名称システム、プログラム、情報処理方法及びシステムの構築方法
出願人株式会社豊田中央研究所
代理人弁理士法人IPX
主分類G06Q 50/04 20120101AFI20250911BHJP(計算;計数)
要約【課題】被処理物の特性を従来よりも高精度に推定可能で、かつモデルの乱立・重複を防ぎ本質的な物理を反映することが可能なシステム、プログラム、情報処理方法及びシステムの構築方法等を提供する。
【解決手段】本発明の一態様によれば、システムが提供される。このシステムは、ある製造工程における被処理物の特性に関する計算を実行するモデルが定義された1以上のクラスを含む。1以上のクラスは、変動因子モデルと、特性変動モデルとが定義される。変動因子モデルは、処理装置により被処理物が処理される際に生じる雰囲気を用いて、変動因子の値を計算するように定義される。変動因子は、被処理物の特性を変動させる因子である。特性変動モデルは、変動因子の値を用いて、被処理物の特性の変動値を計算するように定義される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
システムであって、
ある製造工程における被処理物の特性に関する計算を実行するモデルが定義された１以上のクラスを含み、
前記１以上のクラスは、変動因子モデルと、特性変動モデルとが定義され、
前記変動因子モデルは、処理装置により前記被処理物が処理される際に生じる雰囲気を用いて、変動因子の値を計算するように定義され、
前記変動因子は、前記被処理物の特性を変動させる因子であり、
前記特性変動モデルは、前記変動因子の値を用いて、前記被処理物の特性の変動値を計算するように定義される、
システム。
続きを表示（約 910 文字）【請求項２】
請求項１に記載のシステムにおいて、
前記変動因子モデル及び前記特性変動モデルは、それぞれ異なるクラスに定義される、
システム。
【請求項３】
請求項１に記載のシステムにおいて、
前記変動因子モデルは、熱エネルギーの値を計算するように定義され、
前記特性変動モデルは、前記熱エネルギーの値を用いて、前記変動値を計算するように定義される、
システム。
【請求項４】
請求項１に記載のシステムにおいて、
前記変動因子モデル及び前記特性変動モデルは、前記製造工程の前工程における前記被処理物の特性を参照するように定義される、
システム。
【請求項５】
請求項１に記載のシステムにおいて、
前記被処理物は、半導体ウェハであり、
前記処理装置は、前記半導体ウェハに処理を行う装置である、
システム。
【請求項６】
プログラムであって、
請求項１から５までの何れか１項に記載のシステムのクラスに定義された各モデルをコンピュータに実行させるように構成される、
プログラム。
【請求項７】
情報処理方法であって、
請求項１から５までの何れか１項に記載のシステムのクラスに定義された各モデルを実行する、
情報処理方法。
【請求項８】
システムの構築方法であって、
前記システムは、ある製造工程における被処理物の特性に関する計算を実行するモデルが定義された１以上のクラスを含み、
第１定義ステップと、第２定義ステップとを備え、
前記第１定義ステップでは、処理装置により前記被処理物が処理される際に生じる雰囲気を用いて変動因子の値を計算する変動因子モデルを前記クラスに定義し、
前記変動因子は、前記被処理物の特性を変動させる因子であり、
前記第２定義ステップでは、前記変動因子の値を用いて前記被処理物の特性の変動値を計算する特性変動モデルを前記クラスに定義する、
構築方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、システム、プログラム、情報処理方法及びシステムの構築方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、製品情報管理方法が開示されている。
【０００３】
この製品情報管理方法は、構成関連情報と製造関連情報とをそれぞれ同種の管理対象に決定し、それら管理対象全体を管理対象相互の関連を抽出して複数のクラスＣＬ１，２，３・・・に分類することによってオブジェクトモデルを作成する。このモデルの下では、各情報が他の情報との関連と共にメモリに格納されるから、他の情報の変更に伴ってそのメモリの内容を変更することも不要となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平９－２６７２３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の技術では、製造工程の振る舞いが十分に表現されていないため、被処理物の特性を推定することができなかった。
【０００６】
本発明では上記事情を鑑み、被処理物の特性を従来よりも高精度に推定可能で、かつモデルの乱立・重複を防ぎ本質的な物理を反映することが可能なシステム、プログラム、情報処理方法及びシステムの構築方法等を提供することとした。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、システムが提供される。このシステムは、ある製造工程における被処理物の特性に関する計算を実行するモデルが定義された１以上のクラスを含む。１以上のクラスは、変動因子モデルと、特性変動モデルとが定義される。変動因子モデルは、処理装置により被処理物が処理される際に生じる雰囲気を用いて、変動因子の値を計算するように定義される。変動因子は、被処理物の特性を変動させる因子である。特性変動モデルは、変動因子の値を用いて、被処理物の特性の変動値を計算するように定義される。
【０００８】
このような態様によれば、被処理物の特性を従来よりも高精度に推定可能で、かつモデルの乱立・重複を防ぎ本質的な物理を反映することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
情報処理システム１００を表す構成図である。
情報処理装置２００のハードウェア構成を示すブロック図である。
端末３００のハードウェア構成を示すブロック図である。
システム４００のソフトウェア構成を示すブロック図である。
情報処理装置２００により実行される、システム４００の構築方法の流れを示すアクティビティ図である。
熱酸化炉モデル５１０及びプラズマエッチング装置モデル５２０と、半導体ウェハモデル５８０と、システム４００との関係を示す図である。
モデル化されたシステム４００を用いた、熱酸化炉モデル５１０と半導体ウェハモデル５８０との間の情報処理を示すアクティビティ図である。
熱エネルギーモデルによるデータ処理の例を示す図である。
熱的変動モデル４２１によるデータ処理の例を示す図である。
熱酸化炉モデル５１０及びプラズマエッチング装置モデル５２０と、半導体ウェハモデル５８０と、システム４００との関係の別の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を用いて本発明の実施形態について説明する。以下に示す実施形態中で示した各種特徴事項は、互いに組み合わせ可能である。
（【００１１】以降は省略されています）

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