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公開番号2025114176
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-05
出願番号2024008697
出願日2024-01-24
発明の名称キャビティ基板及びキャビティ基板の製造方法
出願人ミツミ電機株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 23/12 20060101AFI20250729BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】キャビティを加工するための加工時間の短縮を図り、加工コストの低減を図ること。
【解決手段】キャビティ基板100は、第1基板10と、第1基板10に積層され、キャビティ30を有する第2基板20と、キャビティ30に実装された半導体素子40と、を備える。キャビティ30は、NC加工機を用いてビット60を第2基板20の板厚方向に移動させることにより開口されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１基板と、
前記第１基板に積層され、キャビティを有する第２基板と、
前記キャビティに実装された半導体素子と、を備え、
前記キャビティは、ＮＣ加工機を用いてビットを前記第２基板の板厚方向に移動させることにより開口されているキャビティ基板。
続きを表示（約 350 文字）【請求項２】
前記キャビティは、前記板厚方向に見て円形を成している請求項１に記載のキャビティ基板。
【請求項３】
前記第２基板には、複数の前記キャビティが形成されている請求項１又は２に記載のキャビティ基板。
【請求項４】
第１基板と、前記第１基板に積層され、キャビティを有する第２基板と、前記キャビティに実装された半導体素子と、を備えたキャビティ基板を製造する方法であって、
ＮＣ加工機を用いて前記第２基板の板厚方向にビットを移動させて、前記第２基板に前記キャビティを加工する工程と、
前記第１基板と前記第２基板とを前記板厚方向に接合する工程と、
前記キャビティに前記半導体素子を実装する工程と、を含むキャビティ基板の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャビティ基板及びキャビティ基板の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば半導体素子が実装されるキャビティを有する配線基板が知られている（例えば特許文献１参照）。キャビティは、例えばルーター加工機を用いて基板を削り出すことにより形成されている（例えば特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００９－２６７２７４号公報
特開平０９－０８８３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来技術のようなルーター加工機を用いてキャビティを形成する場合には、基板の加工面に沿う方向に小径ビットを移動させて加工するため、小径ビットの移動距離が長くなっていた。そのため、従来技術では、加工時間が長くなり、加工コストの低減を図ることができなかった。
【０００５】
本発明は、キャビティを加工するための加工時間の短縮を図り、加工コストの低減を図ることが可能なキャビティ基板及びキャビティ基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示に係るキャビティ基板は、第１基板と、第１基板に積層され、キャビティを有する第２基板と、キャビティに実装された半導体素子と、を備え、キャビティは、ＮＣ加工機を用いてビットを第２基板の板厚方向に移動させることにより開口されている。
【発明の効果】
【０００７】
本開示は、キャビティを加工するための加工時間の短縮を図り、加工コストの低減を図ることが可能なキャビティ基板及びキャビティ基板の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施形態に係るセンサモジュールを示す平面図である。
実施形態に係るセンサモジュールの断面図である。
比較例に係るキャビティ基板を示す平面図である。
実施形態に係るセンサモジュールの製造方法の手順を示す工程図である。
個片化される前のキャビティ基板を示す平面図である。
第１変形例に係る第２基板を示す平面図である。
第２変形例に係る第２基板を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、実施形態に係るキャビティ基板及びキャビティ基板の製造方法について、添付の図面を参照しながら説明する。尚、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省く場合がある。
【００１０】
［実施形態に係るセンサモジュール１００］
図１は、実施形態に係るセンサモジュール１００を示す平面図である。図２は、実施形態に係るセンサモジュール１００の断面図である。なお、各図において、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向が示されている。Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は、直交していなくてもよい。Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は任意の方向でもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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