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公開番号2025110635
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-29
出願番号2024004579
出願日2024-01-16
発明の名称X線検査装置
出願人アンリツ株式会社
代理人弁理士法人日誠国際特許事務所
主分類G01N 23/04 20180101AFI20250722BHJP(測定;試験)
要約【課題】X線の光軸の位置とX線ラインセンサの位置とを合わせることができるX線検査装置を提供すること。
【解決手段】順次搬送される被検査物にX線を照射するとともに、被検査物を透過してX線ラインセンサによって検出されたX線により取得したX線画像を用いて被検査物の検査を行う検査モードを有するX線検査装置であって、X線ラインセンサを被検査物の搬送方向と平行な方向に往復移動させる移動機構と、X線の光軸が通る検査位置に停止している被検査物に対して、X線を照射するとともに、X線ラインセンサを搬送方向と平行な方向に移動させながら連続的に撮像を行う撮像モードを実行可能な撮像モード実行部と、撮像モードで取得されたX線画像に基づき、搬送方向と平行な方向におけるX線の光軸の位置とX線ラインセンサの位置とを合わせる位置決め部と、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
被検査物（Ｗ）にＸ線を照射するＸ線発生器（２）と、
前記被検査物を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線ラインセンサ（３）と、を備え、
順次搬送される前記被検査物にＸ線を照射するとともに、前記被検査物を透過して前記Ｘ線ラインセンサによって検出されたＸ線により取得したＸ線画像を用いて前記被検査物の検査を行う検査モードを有するＸ線検査装置であって、
前記Ｘ線ラインセンサを前記被検査物の搬送方向と平行な方向に往復移動させる移動機構（８）と、
前記Ｘ線の光軸が通る検査位置（Ｐ）に停止している前記被検査物に対して、前記Ｘ線を照射するとともに、前記Ｘ線ラインセンサを前記搬送方向と平行な方向に移動させながら連続的に撮像を行う撮像モードを実行可能な撮像モード実行部（４５）と、
前記撮像モードで取得されたＸ線画像に基づき、前記搬送方向と平行な方向における前記Ｘ線の光軸の位置と前記Ｘ線ラインセンサの位置とを合わせる位置決め部（４６）と、を備えるＸ線検査装置。
続きを表示（約 410 文字）【請求項２】
前記位置決め部は、前記撮像モードで得られたＸ線画像に基づき前記搬送方向と平行な方向における前記Ｘ線の光軸の位置を検出し、検出した前記Ｘ線の光軸の位置に前記Ｘ線ラインセンサの受光面（３１）が重なるように前記Ｘ線ラインセンサを移動させる請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記位置決め部は、前記撮像モードで得られたＸ線画像内において、前記搬送方向と平行な方向に並んだ画素列ごとに各画素列の代表値を求め、前記各画素列の代表値の分布に基づき前記Ｘ線の光軸の位置を検出する請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記撮像モードで得られたＸ線画像を表示する表示部（６）と、
前記搬送方向と平行な方向における前記Ｘ線ラインセンサの位置を調整する操作を受け付ける操作入力部（７）と、を更に備える請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、順次搬送される被検査物に対し、搬送路の途中の検査空間においてＸ線を照射するとともに被検査物を透過したＸ線を検出するものであり、搬送路の途中の検査空間の上方に所定高さ離隔して配置されたＸ線発生器と、搬送部内にＸ線発生器と対向して配置されたＸ線検出器としてのＸ線ラインセンサとを備えたＸ線検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第７０６０４４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に記載のＸ線検査装置において、例えば、複数の層を構成するように仕切部材によって仕切られた層構造を内部に有する被検査物を検査する場合、Ｘ線の光軸の位置に対してＸ線ラインセンサの位置がずれていると、各仕切部材の間を精度良く撮像することができず、当該被検査物の内部を正確に検査することができないおそれがある。
【０００５】
したがって、層構造を内部に有する被検査物を検査する場合、Ｘ線の光軸の位置とＸ線ラインセンサの位置とを合わせておくことが重要である。
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載のＸ線検査装置にあっては、Ｘ線の光軸の位置とＸ線ラインセンサの位置とを合わせることに関して何ら考慮されていなかった。
【０００７】
本発明は、上述のような事情に鑑みてなされたもので、Ｘ線の光軸の位置とＸ線ラインセンサの位置とを合わせることができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るＸ線検査装置は、被検査物にＸ線を照射するＸ線発生器と、前記被検査物を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線ラインセンサと、を備え、順次搬送される前記被検査物にＸ線を照射するとともに、前記被検査物を透過して前記Ｘ線ラインセンサによって検出されたＸ線により取得したＸ線画像を用いて前記被検査物の検査を行う検査モードを有するＸ線検査装置であって、前記Ｘ線ラインセンサを前記被検査物の搬送方向と平行な方向に往復移動させる移動機構と、前記Ｘ線の光軸が通る検査位置に停止している前記被検査物に対して、前記Ｘ線を照射するとともに、前記Ｘ線ラインセンサを前記搬送方向と平行な方向に移動させながら連続的に撮像を行う撮像モードを実行可能な撮像モード実行部と、前記撮像モードで取得されたＸ線画像に基づき、前記搬送方向と平行な方向における前記Ｘ線の光軸の位置と前記Ｘ線ラインセンサの位置とを合わせる位置決め部と、を備える。
【０００９】
この構成により、本発明に係るＸ線検査装置は、撮像モードにおいて、Ｘ線発生器から照射されるＸ線の光軸が通る検査位置に停止している被検査物に対して、Ｘ線を照射するとともにＸ線ラインセンサを搬送方向と平行な方向に移動させながら連続的に撮像を行うので、当該連続的な撮像によってＸ線の光軸の位置を特定可能なＸ線画像を取得することができる。なお、ここでいう「停止している」とは、搬送によって移動していた被検査物が停止する場合のみならず、ユーザが検査位置に載置した場合も含む意味である。
【００１０】
さらに、本発明に係るＸ線検査装置は、撮像モードで取得されたＸ線画像に基づき搬送方向と平行な方向におけるＸ線の光軸の位置とＸ線ラインセンサの位置とを合わせる位置決め部を備えるので、撮像モードで取得されたＸ線画像に基づき特定されるＸ線の光軸の位置に、Ｘ線ラインセンサの位置を合わせることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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