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公開番号2025047731
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-03
出願番号2023156405
出願日2023-09-21
発明の名称半導体装置
出願人株式会社東芝,東芝デバイス&ストレージ株式会社
代理人弁理士法人鈴榮特許綜合事務所
主分類H01L 25/07 20060101AFI20250326BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】トランジスタの発振を抑制できる半導体装置を提供する。
【解決手段】実施形態に係る半導体装置は、基板と、基板上に設けられた第1乃至第4導電部と、第1導電部に接続されるドレイン及び第2導電部に接続されるソースを有する第1トランジスタと、各々が、第2導電部に接続されるドレイン、第3導電部に接続されるソース、及び第4導電部に接続されるゲートを有する第2乃至第3トランジスタと、を備え、第2導電部は、第2及びトランジスタと各々接する第1部分及び第2部分と、を含み、第3導電部は、第2及び第3トランジスタのソースが各々接続される第3部分及び第4部分と、第3乃至第4部分を電気的に接続する第5部分と、を含み、第4導電部は、第2及び第3トランジスタのゲートが各々接続される第6部分及び第7部分と、第6乃至第7部分を電気的に接続する第8部分と、を含み、第8部分の形状は、第6部分及び第7部分の形状と異なる。
【選択図】図3

特許請求の範囲【請求項１】
基板と、
前記基板上に設けられた第１導電部、第２導電部、第３導電部、及び第４導電部と、
前記第１導電部と電気的に接続されるドレイン及び前記第２導電部と電気的に接続されるソースを有する第１トランジスタと、
各々が、前記第２導電部と電気的に接続されるドレイン、前記第３導電部と電気的に接と続されるソース、及び前記第４導電部と電気的に接続されるゲートを有する第２トランジスタ及び第３トランジスタと、
を備え、
前記第２導電部は、前記第２トランジスタと接する第１部分と、前記第３トランジスタと接しかつ前記第１導電部に対して前記第１部分と反対側に位置する第２部分と、を含み、
前記第３導電部は、前記第２トランジスタのソースが接続されかつ前記第１部分に対して前記第１導電部と反対側に位置する第３部分と、前記第３トランジスタのソースが接続されかつ前記第２部分に対して前記第１導電部と反対側に位置する第４部分と、前記第３部分及び前記第４部分を電気的に接続する第５部分と、を含み、
前記第４導電部は、前記第２トランジスタのゲートが接続されかつ前記第３部分に対して前記第１導電部と反対側に位置する第６部分と、前記第３トランジスタのゲートが接続されかつ前記第４部分に対して前記第１導電部と反対側に位置する第７部分と、前記第６部分及び前記第７部分を電気的に接続する第８部分と、を含み、
前記第８部分の形状は、前記第６部分の形状及び前記第７部分の形状と異なる、
半導体装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記第４導電部の前記第６部分及び前記第７部分は、導体パターンを含み、
前記第４導電部の前記第８部分は、ワイヤを含む、
請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記第４導電部の前記第８部分に含まれるワイヤは、前記基板上に設けられる全ての導体パターンを跨がないように設けられる、
請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記第４導電部の前記第６部分、前記第７部分、及び前記第８部分は、連続した導体パターンであり、
前記第４導電部の前記第８部分は、蛇行部を有する、
請求項１に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記第４導電部の前記第６部分、前記第７部分、及び前記第８部分は、連続した導体パターンであり、
前記第４導電部の前記第８部分の幅は、前記第６部分の幅及び前記第７部分の幅よりも短い、
請求項１に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記第３導電部の前記第５部分の形状は、前記第３部分の形状及び前記第４部分の形状と異なる、
請求項１に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記第３導電部の前記第３部分及び前記第４部分、並びに前記第４導電部の前記第６部分及び前記第７部分は、導体パターンを含み、
前記第３導電部の前記第５部分及び前記第４導電部の前記第８部分は、ワイヤを含む、
請求項６に記載の半導体装置。
【請求項８】
前記第３導電部の前記第５部分及び前記第４導電部の前記第８部分に含まれるワイヤは、前記基板上に設けられる全ての導体パターンを跨がないように設けられる、
請求項７に記載の半導体装置。
【請求項９】
前記第３導電部の前記第３部分、前記第４部分、及び前記第５部分は、連続した導体パターンであり、
前記第４導電部の前記第６部分、前記第７部分、及び前記第８部分は、連続した導体パターンであり、
前記第３導電部の前記第５部分及び前記第４導電部の前記第８部分の各々は、蛇行部を有する、
請求項６に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記第３導電部の前記第３部分、前記第４部分、及び前記第５部分は、連続した導体パターンであり、
前記第４導電部の前記第６部分、前記第７部分、及び前記第８部分は、連続した導体パターンであり、
前記第３導電部の前記第５部分の幅は、前記第３導電部の前記第３部分及び前記第４部分の各々の幅よりも短く、
前記第４導電部の前記第８部分の幅は、前記第４導電部の前記第６部分及び前記第７部分の各々の幅よりも短い、
請求項６に記載の半導体装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
実施形態は、半導体装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体装置として、複数のトランジスタが直列に接続された、ハーフブリッジ構成のパワーモジュールが知られている。パワーモジュールは、トラクションインバータなどに利用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６８９９９７６号公報
国際公開第２０１９／４４７４８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
トランジスタの発振を抑制できる半導体装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態に係る半導体装置は、基板と、基板上に設けられた第１導電部、第２導電部、第３導電部、及び第４導電部と、第１導電部と電気的に接続されるドレイン及び第２導電部と電気的に接続されるソースを有する第１トランジスタと、各々が、第２導電部と電気的に接続されるドレイン、第３導電部と電気的に接続されるソース、及び第４導電部と電気的に接続されるゲートを有する第２トランジスタ及び第３トランジスタと、を備え、第２導電部は、第２トランジスタと接する第１部分と、第３トランジスタと接しかつ第１導電部に対して第１部分と反対側に位置する第２部分と、を含み、第３導電部は、第２トランジスタのソースが接続されかつ第１部分に対して第１導電部と反対側に位置する第３部分と、第３トランジスタのソースが接続されかつ第２部分に対して第１導電部と反対側に位置する第４部分と、第３部分及び第４部分を電気的に接続する第５部分と、を含み、第４導電部は、第２トランジスタのゲートが接続されかつ第３部分に対して第１導電部と反対側に位置する第６部分と、第３トランジスタのゲートが接続されかつ第４部分に対して第１導電部と反対側に位置する第７部分と、第６部分及び第７部分を電気的に接続する第８部分と、を含み、第８部分の形状は、第６部分の形状及び第７部分の形状と異なる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１は、第１実施形態に係る半導体装置の外部構造の一例を示す斜視図。
図２は、第１実施形態に係る半導体装置の回路構成の一例を示す回路図。
図３は、第１実施形態に係る半導体装置の内部構造の一例を示す斜視図。
図４は、第１実施形態に係る半導体装置の平面レイアウトの一例を示す平面図。
図５は、第１実施形態の第１変形例に係る半導体装置の平面レイアウトの一例を示す平面図。
図６は、第１実施形態の第２変形例に係る半導体装置の平面レイアウトの一例を示す平面図。
図７は、第２実施形態に係る半導体装置の内部構造の一例を示す斜視図。
図８は、第２実施形態に係る半導体装置の平面レイアウトの一例を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に実施形態が図面を参照して記述される。以下の説明において、略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付す。同じ文字を含んだ参照符号で表される要素を相互に区別する必要がない場合、これらの要素はそれぞれ文字のみを含んだ参照符号により参照される。
【０００８】
以下の説明において、ある第１要素が別の第２要素に「接続されている」とは、第１要素が常時あるいは選択的に導電性となる中間要素を介して間接的に、又は中間要素を介することなく直接的に第２要素に接続されていることを含む。
【０００９】
１．第１実施形態
第１実施形態について説明する。以下では、第１実施形態に係る半導体装置の例として、パワーモジュールについて説明する。パワーモジュールは、例えば、トラクションインバータ等に適用される。
【００１０】
第１実施形態に係る半導体装置の構成について説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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