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公開番号2024158401
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-08
出願番号2023073567
出願日2023-04-27
発明の名称発光封体
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01J 65/04 20060101AFI20241031BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】出力光の品質の向上を図ることができる発光封体を提供する。
【解決手段】発光封体1Aは、レーザ光L1をプラズマ領域Rに入射させるレーザ光入射窓部10A、及び、プラズマ光L2をプラズマ領域Rから出射させるプラズマ光出射窓部10Bを有する筐体2と、筐体2内においてプラズマ領域Rを含む包囲空間73を画定しており、レーザ光入射窓部10Aに対応している光通過開口74、及びプラズマ光出射窓部10Bに対応している光通過開口75を有する包囲部7と、を備える。レーザ光入射窓部10Aは、光通過開口74における包囲空間73側の開口端74aに対して包囲空間73とは反対側に位置しており、プラズマ光出射窓部10Bは、光通過開口75における包囲空間73側の開口端75aに対して包囲空間73とは反対側に位置している。二つの光通過開口74,75は、包囲空間73に対して狭められている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
プラズマを発生させるためのガスを収容している筐体であって、前記プラズマが発生したプラズマ領域において前記プラズマを維持するための第１光を前記プラズマ領域に入射させる第１窓部、及び、前記プラズマから発せられた第２光を前記プラズマ領域から出射させる第２窓部を有する前記筐体と、
前記筐体内において前記プラズマ領域を含む包囲空間を画定しており、前記第１窓部に対応している第１開口、及び前記第２窓部に対応している第２開口を有する包囲部と、を備え、
前記第１窓部は、前記第１開口における前記包囲空間側の開口端に対して前記包囲空間とは反対側に位置しており、
前記第２窓部は、前記第２開口における前記包囲空間側の開口端に対して前記包囲空間とは反対側に位置しており、
前記第１開口及び前記第２開口の少なくとも一方は、前記包囲空間に対して狭められている、発光封体。
続きを表示（約 530 文字）【請求項２】
前記包囲部は、絶縁性材料によって形成されている、請求項１に記載の発光封体。
【請求項３】
前記第２開口は、前記第２開口における前記包囲空間側の前記開口端が前記第２開口における前記包囲空間とは反対側の開口端よりも小さいテーパ状の開口である、請求項１又は２に記載の発光封体。
【請求項４】
前記包囲部は、互いに別体で形成された第１包囲部材及び第２包囲部材を有し、
前記第１包囲部材は、前記第１開口を画定しており、
前記第２包囲部材は、前記第２開口を画定している、請求項１又は２に記載の発光封体。
【請求項５】
前記包囲部の内面は、滑らかな凹面状の領域を含み、
前記第１開口及び前記第２開口の少なくとも一方は、前記領域において開口している、請求項１又は２に記載の発光封体。
【請求項６】
前記第２窓部の一部は、前記第２開口の内側に位置している、請求項１又は２に記載の発光封体。
【請求項７】
前記包囲部の内面のうち前記プラズマ領域を挟んで前記第１窓部と向かい合っている領域は、滑らかな凹面状の領域である、請求項１又は２に記載の発光封体。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばレーザ励起光源に適用される発光封体に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
レーザ励起光源に適用される発光封体として、プラズマを発生させるためのガスを収容している筐体と、筐体内においてプラズマ領域を含む包囲空間を画定している包囲部と、を備える発光封体であって、筐体が、プラズマを維持するためのレーザ光をプラズマ領域に入射させるレーザ光入射窓部と、プラズマから発せられたプラズマ光をプラズマ領域から出射させるプラズマ光出射窓部と、を有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
米国特許第１０００８３７８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような発光封体では、筐体内に包囲部が配置されていない場合に比べ、ガスが対流する空間が狭くなるため、当該空間においてガスに対流が発生しにくくなる。ガスの対流が強くなると、筐体外に出射したプラズマ光にノイズ成分が乗ってしまう等の悪影響が生じるため、ガスの対流を抑制することで、出力光の品質が低下することが抑制される。しかし、当該光源を用いる装置の性能向上のためには、更なる出力光の品質の向上が求められている。
【０００５】
本発明は、出力光の品質の向上を図ることができる発光封体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の発光封体は、［１］「プラズマを発生させるためのガスを収容している筐体であって、前記プラズマが発生したプラズマ領域において前記プラズマを維持するための第１光を前記プラズマ領域に入射させる第１窓部、及び、前記プラズマから発せられた第２光を前記プラズマ領域から出射させる第２窓部を有する前記筐体と、前記筐体内において前記プラズマ領域を含む包囲空間を画定しており、前記第１窓部に対応している第１開口、及び前記第２窓部に対応している第２開口を有する包囲部と、を備え、前記第１窓部は、前記第１開口における前記包囲空間側の開口端に対して前記包囲空間とは反対側に位置しており、前記第２窓部は、前記第２開口における前記包囲空間側の開口端に対して前記包囲空間とは反対側に位置しており、前記第１開口及び前記第２開口の少なくとも一方は、前記包囲空間に対して狭められている、発光封体」である。
【０００７】
上記［１］に記載の発光封体では、筐体内においてプラズマ領域を含む包囲空間が包囲部によって画定されている。これにより、筐体内に包囲部が配置されていない場合に比べ、ガスが対流する空間が狭くなるため、当該空間においてガスに対流が発生するのを抑制することができる。更に、包囲部において第１開口及び第２開口の少なくとも一方が包囲空間に対して狭められている。これにより、第１開口及び第２開口の両方が包囲空間に対して狭められていない場合に比べ、包囲空間内のガスが筐体外の環境の影響を受けにくくなるため、筐体外の環境に起因するガスの対流の発生を抑制することができる。よって、上記［１］に記載の発光封体によれば、出力光の品質の向上を図ることができる。
【０００８】
本発明の発光封体は、［２］「前記包囲部は、絶縁性材料によって形成されている、上記［１］に記載の発光封体」であってもよい。当該［２］に記載の発光封体によれば、ガスが対流する空間が絶縁性の包囲部によって包囲されているため、包囲部がプラズマに影響を及ぼすことなく、プラズマを安定的に維持することができる。
【０００９】
本発明の発光封体は、［３］「前記第２開口は、前記第２開口における前記包囲空間側の前記開口端が前記第２開口における前記包囲空間とは反対側の開口端よりも小さいテーパ状の開口である、上記［１］又は［２］に記載の発光封体」であってもよい。当該［３］に記載の発光封体によれば、包囲部において第２開口を包囲空間に対して狭めつつも、放射状に発せられた第２光を、第２開口及び第２窓部を介して筐体外に効率良く出射させることができる。
【００１０】
本発明の発光封体は、［４］「前記包囲部は、互いに別体で形成された第１包囲部材及び第２包囲部材を有し、前記第１包囲部材は、前記第１開口を画定しており、前記第２包囲部材は、前記第２開口を画定している、上記［１］～［３］のいずれか一つに記載の発光封体」であってもよい。当該［４］に記載の発光封体によれば、対流の発生を抑制するために好ましい形状の包囲部を精度良く形成することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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