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公開番号2024063994
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-14
出願番号2022172240
出願日2022-10-27
発明の名称熱遮蔽体位置決め治具、熱遮蔽体位置決め方法及びシリコン単結晶の製造方法
出願人株式会社SUMCO
代理人弁理士法人樹之下知的財産事務所
主分類C30B 29/06 20060101AFI20240507BHJP(結晶成長)
要約【課題】熱遮蔽体の水平方向の位置決めを容易にかつ適切に行うことができる熱遮蔽体位置決め治具を提供すること。
【解決手段】熱遮蔽体位置決め治具は、チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め治具であって、前記チャンバに対して着脱自在に構成された治具本体を備え、前記治具本体には、前記チャンバに対する前記治具本体の水平方向の位置決めを行う治具用位置決め部と、前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の水平方向の位置決めを行う熱遮蔽体用位置決め部と、が設けられている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め治具であって、
前記チャンバに対して着脱自在に構成された治具本体を備え、
前記治具本体には、
前記チャンバに対する前記治具本体の水平方向の位置決めを行う治具用位置決め部と、
前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の水平方向の位置決めを行う熱遮蔽体用位置決め部と、が設けられている、熱遮蔽体位置決め治具。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
請求項１に記載の熱遮蔽体位置決め治具において、
前記治具本体における鉛直方向側の部位には、水平方向の大きさが互いに異なる複数種類の熱遮蔽体の水平方向の位置決めをそれぞれ行うための、複数の前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられ、
前記治具本体は、位置決め対象の前記熱遮蔽体に対応する前記熱遮蔽体用位置決め部が前記熱遮蔽体の上側に対向する姿勢で、前記チャンバに装着される、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項３】
請求項２に記載の熱遮蔽体位置決め治具において、
前記治具本体における鉛直方向の一方側の部位には、少なくとも１つの前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられ、
前記治具本体における鉛直方向の他方側の部位には、残りの前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられている、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の熱遮蔽体位置決め治具において、
前記治具本体は、基部と、前記基部から互いに異なる方向に水平方向に延びる複数の腕部と、を備え、
前記複数の腕部には、前記治具用位置決め部及び前記熱遮蔽体用位置決め部がそれぞれ設けられている、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項５】
請求項４に記載の熱遮蔽体位置決め治具において、
前記基部及び前記複数の腕部のうち少なくとも１つには、前記治具本体を把持するための把持部が設けられている、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項６】
請求項５に記載の熱遮蔽体位置決め治具において、
前記把持部は、当該把持部が設けられた部位を貫通する貫通孔により構成されている、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項７】
請求項１に記載の熱遮蔽体位置決め治具を用いて、チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め方法であって、
前記熱遮蔽体を前記チャンバ内に仮配置し、
前記治具用位置決め部による前記チャンバに対する前記治具本体の水平方向の位置決めと、前記熱遮蔽体用位置決め部による前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の水平方向の位置決めと、を同時に行い、又はいずれか一方の位置決めを行った後に他方の位置決めを行い、
前記熱遮蔽体位置決め治具を前記チャンバ及び前記熱遮蔽体から離間させる、熱遮蔽体位置決め方法。
【請求項８】
請求項７に記載の熱遮蔽体位置決め方法を用いて、チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行い、
前記チャンバ内でシリコン単結晶を引き上げる、シリコン単結晶の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱遮蔽体位置決め治具、熱遮蔽体位置決め方法及びシリコン単結晶の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、シリコン単結晶を製造するシリコン単結晶製造装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
このようなシリコン単結晶製造装置には、坩堝内のシリコン融液から引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体が配置されている。熱遮蔽体は、例えば、その上端部が、坩堝及び熱遮蔽体を囲む保温筒により支持されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－０８３４９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
シリコン単結晶製造装置は、ワイヤ又はシャフトにより引き上げられるシリコン単結晶の中心軸と、チャンバの中心軸とが一致するように構成されている。そして、熱遮蔽体は、その中心軸と、シリコン単結晶の中心軸とが一致するように配置されることが好ましい。熱遮蔽体の中心軸とシリコン単結晶の中心軸とを一致させないと、シリコン単結晶と熱遮蔽体との間を流れる不活性ガスの流量の偏りによりシリコン単結晶が揺れたり、シリコン単結晶周囲の熱環境に偏りが発生したりするおそれがあるからである。
【０００５】
従来、熱遮蔽体の配置位置を、作業者が目視で決定したりメジャーを用いて決定したりしていたが、これらの方法では、熱遮蔽体の位置決めを容易に行うことができず、また、作業者により配置位置のばらつきが生じるおそれがある。
【０００６】
本発明は、熱遮蔽体の水平方向の位置決めを容易にかつ適切に行うことができる熱遮蔽体位置決め治具、熱遮蔽体位置決め方法及びシリコン単結晶の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具は、チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め治具であって、前記チャンバに対して着脱自在に構成された治具本体を備え、前記治具本体には、前記チャンバに対する前記治具本体の水平方向の位置決めを行う治具用位置決め部と、前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の水平方向の位置決めを行う熱遮蔽体用位置決め部と、が設けられている。
【０００８】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具において、前記治具本体における鉛直方向側の部位には、水平方向の大きさが互いに異なる複数種類の熱遮蔽体の水平方向の位置決めをそれぞれ行うための、複数の前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられ、前記治具本体は、位置決め対象の前記熱遮蔽体に対応する前記熱遮蔽体用位置決め部が前記熱遮蔽体の上側に対向する姿勢で、前記チャンバに装着される、ことが好ましい。
【０００９】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具において、前記治具本体における鉛直方向の一方側の部位には、少なくとも１つの前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられ、前記治具本体における鉛直方向の他方側の部位には、残りの前記熱遮蔽体用位置決め部が設けられている、ことが好ましい。
【００１０】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具において、前記治具本体は、基部と、前記基部から互いに異なる方向に水平方向に延びる複数の腕部と、を備え、前記複数の腕部には、前記治具用位置決め部及び前記熱遮蔽体用位置決め部がそれぞれ設けられている、ことが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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