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公開番号2024037705
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-19
出願番号2023144276
出願日2023-09-06
発明の名称エッチング液組成物の製造方法
出願人花王株式会社
代理人弁理士法人池内アンドパートナーズ
主分類H01L 21/308 20060101AFI20240312BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】一態様において、容器へ充填する際の液だれを抑制できるエッチング液組成物の製造方法を提供する。
【解決手段】本開示は、一態様において、エッチング液組成物の製造方法であって、前記エッチング液組成物は、基板上に形成された金属膜をエッチングするためのエッチング液組成物であり、エッチング液組成物を吐出する充填口を有する充填ノズルを用いて、前記エッチング液組成物を容器に充填する工程を含み、前記充填ノズルの充填口の素材に対する前記エッチング液の後退接触角が60°以上かつ前進接触角と後退接触角との比(前進接触角/後退接触角)が1.4以下である、エッチング液組成物の製造方法に関する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
エッチング液組成物の製造方法であって、
前記エッチング液組成物は、基板上に形成された金属膜をエッチングするためのエッチング液組成物であり、
エッチング液組成物を吐出する充填口を有する充填ノズルを用いて、前記エッチング液組成物を容器に充填する工程を含み、
前記充填ノズルの充填口の素材に対する前記エッチング液の後退接触角が６０°以上かつ前進接触角と後退接触角との比（前進接触角／後退接触角）が１．４以下である、エッチング液組成物の製造方法。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
前記エッチング液組成物は、２５℃における粘度が１１ｍＰａ・ｓ以上４０ｍＰａ・ｓ未満である、請求項１に記載のエッチング液組成物の製造方法。
【請求項３】
前記エッチング液組成物は、リン酸、硝酸、有機酸、エッチング抑制剤、及び水を含有する、請求項１又は２に記載のエッチング液組成物の製造方法。
【請求項４】
前記有機酸は、酢酸を含むものである、請求項３に記載のエッチング液組成物の製造方法。
【請求項５】
前記有機酸の配合量は、１１質量％以上５９質量％以下である、請求項３又は４に記載のエッチング液組成物の製造方法。
【請求項６】
リン酸、硝酸及び有機酸を含む混酸組成物と、エッチング抑制剤とを配合して前記エッチング液組成物を得る工程を含む、請求項３から５のいずれかに記載のエッチング液組成物の製造方法。
【請求項７】
前記エッチング抑制剤は、ポリアルキレンイミン及びポリアルキレンポリアミンから選ばれる少なくとも１種の窒素含有化合物である、請求項３から６のいずれかに記載のエッチング液組成物の製造方法。
【請求項８】
前記エッチング液組成物は、アゾール化合物を含まない、請求項１から７のいずれかに記載のエッチング液組成物の製造方法。
【請求項９】
前記エッチング液組成物は、過酸化水素を含まない、請求項１から８のいずれかに記載のエッチング液組成物の製造方法。
【請求項１０】
前記エッチング液組成物は、フッ素化合物を含まない、請求項１から９のいずれかに記載のエッチング液組成物の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、エッチング液組成物の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造過程において、例えば、タングステン、タンタル、ジルコニウム、ハフニウム、モリブデン、ニオブ、ルテニウム、オスミウム、レニウム、ロジウム、銅、ニッケル、コバルト、チタン、窒化チタン、アルミナ、アルミニウム及びイリジウム等の少なくとも１種の金属を含む被エッチング膜をエッチングして所定のパターン形状に加工する工程が行われている。エッチング液としては、リン酸、硝酸及び酢酸を含む混酸水溶液が一般的に使用されている。
近年の半導体分野においては高集積化が進んでおり、配線の複雑化や微細化が求められており、パターンの加工技術やエッチング液に対する要求も高まりつつあり、様々なエッチング液組成物やエッチング方法が提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、Ｃｕ／Ｍｏ二重膜をエッチングするために使用されるエッチング液組成物として、リン酸を約５０～８０重量％、硝酸を約０．５～１０重量％、酢酸を約４～３０重量％、塩素含有化合物を約０．５～６重量％、及び残量の水を含む、エッチング液組成物が提案されている。
特許文献２には、銅とモリブデンおよび／またはチタンからなる合金の金属積層膜をエッチングするエッチング方法として、リン酸を４０～５０重量％、硝酸を１．５～３．５重量％、酢酸を２５～４０重量％および水を配合してなるエッチング液組成物を用いてエッチングするエッチング方法が提案されている。
特許文献３には、リン酸５５～７０重量％、硝酸３～１５重量％、酢酸５～２０重量％、リン酸塩０．５～１０重量％、塩素系化合物０．１～５重量％、アゾール系化合物０．０１～４重量％、及び残量の水を含む薄膜トランジスタ液晶表示装置用エッチング組成物が提案されている。
特許文献４には、基板上に形成されたアルミニウム又はアルミニウム合金膜の表面にモリブデン膜が積層された複層構造の金属膜をエッチングして所定パターンを形成するためのエッチング液組成物として、リン酸濃度４０～７０質量％、硝酸濃度０．５～１０質量％、酢酸濃度５０～１５質量％、残部が水からなるエッチング液組成物が提案されている。
特許文献５には、リン酸５０～８０重量％、硝酸２～１５重量％、酢酸３～２０重量％、リチウム系化合物０．０５～３重量％、リン酸塩系化合物０．１～５重量％、及び残量の水を含む薄膜トランジスタ液晶表示装置のエッチング組成物が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１４－２７２７４号公報
特開２０１２－１５６２４８号公報
特開２００９－２１８６０１号公報
特開２００８－２４４２０５号公報
特開２００７－３０５９９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
通常、エッチング液組成物は、容器に充填されて製品化されており、エッチング液組成物を容器に充填する際には、エッチング液組成物中の異物（パーティクル）の含有量を低減するため、フィルタ等を用いたろ過処理が行われている。そのため、フィルタ通液性に優れ、濾過速度が速いエッチング液が求められる。
また、エッチング液を容器に充填する際に液だれが生じることがある。液だれ回数が多くなるほど、拭き取り作業に時間を要するため、生産性が低くなる。生産性向上の観点から、エッチング液には液だれしにくいことも求められる。さらに、容器に充填されたエッチング液には、容器内のエッチング液を取り出すときの液だれがしにくいことも求められる。
【０００６】
そこで、本開示は、一態様において、容器へ充填する際の液だれを抑制できるエッチング液組成物の製造方法を提供する。本開示は、一態様において、容器へ充填する際の液だれの抑制と濾過速度の向上とを両立できるエッチング液組成物の製造方法を提供する。本開示は、一態様において、容器内のエッチング液を取り出すときの液だれを抑制できる容器入りエッチング液組成物を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示は、一態様において、エッチング液組成物の製造方法であって、前記エッチング液組成物は、基板上に形成された金属膜をエッチングするためのエッチング液組成物であり、前記エッチング液組成物は、エッチング液組成物を吐出する充填口を有する充填ノズルを用いて、前記エッチング液組成物を容器に充填する工程を含み、前記充填ノズルの充填口の素材に対する前記エッチング液の後退接触角が６０°以上かつ前進接触角と後退接触角との比（前進接触角／後退接触角）が１．４以下である、エッチング液組成物の製造方法に関する。
【０００８】
本開示は、一態様において、本開示のエッチング液組成物の製造方法に使用するための混酸組成物であって、リン酸、硝酸及び有機酸を含む、混酸組成物に関する。
【０００９】
本開示は、一態様において、容器に充填されたエッチング液組成物であって、前記エッチング液組成物は、基板上に形成された金属膜をエッチングするためのエッチング液組成物であり、前記エッチング液組成物は、リン酸、硝酸、有機酸、エッチング抑制剤、及び水を含有し、２５℃における粘度が１１ｍＰａ・ｓ以上４０ｍＰａ・ｓ未満であり、前記容器の素材に対する前記エッチング液組成物の後退接触角が６０°以上かつ前進接触角と後退接触角との比（前進接触角／後退接触角）が１．４以下である、容器入りエッチング液組成物に関する。
【００１０】
本開示は、一態様において、リン酸、硝酸及び有機酸を含む混酸組成物の、本開示のエッチング液組成物の製造方法への使用に関する。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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