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公開番号2024033058
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-13
出願番号2022136436
出願日2022-08-30
発明の名称検査装置
出願人株式会社東芝,東芝インフラシステムズ株式会社
代理人弁理士法人iX
主分類G01N 29/24 20060101AFI20240306BHJP(測定;試験)
要約【課題】検査精度を向上できる検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、検査装置は、超音波を出射可能な複数の出射素子を含む出射部を含む。複数の出射素子は、第1方向に沿って並ぶ複数の第1列素子と、第1周辺素子と、第2周辺素子と、を含む。第2周辺素子の第2方向における第2周辺素子位置は、第1周辺素子の第2方向における第1周辺素子位置と異なる。第1周辺素子の第1方向における位置は、第2周辺素子の第1方向における位置と、複数の第1列素子の第1方向における位置と、の間にある。第1周辺素子と第2周辺素子との間の第1周辺素子距離は、複数の第1列素子の1つと、複数の第1列素子の他の1つと、の間の第1列素子距離よりも長い。複数の第1列素子の他の1つは、複数の第1列素子の1つの隣である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
超音波を出射可能な複数の出射素子を含む出射部を備え、
前記複数の出射素子は、
第１方向に沿って並ぶ複数の第１列素子と、
第１周辺素子と、
第２周辺素子と、
を含み、
前記第１方向に対して垂直な第２方向において前記第１周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２方向において前記第２周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２周辺素子の前記第２方向における第２周辺素子位置は、前記第１周辺素子の前記第２方向における第１周辺素子位置と異なり、
前記第１周辺素子の前記第１方向における位置は、前記第２周辺素子の前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記第１方向における位置と、の間にあり、
前記第１周辺素子と前記第２周辺素子との間の第１周辺素子距離は、前記複数の第１列素子の１つと、前記複数の第１列素子の他の１つと、の間の第１列素子距離よりも長く、
前記複数の第１列素子の前記他の１つは、前記複数の第１列素子の前記１つの隣である、検査装置。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
前記第１周辺素子の前記第１方向における中心と、前記第２周辺素子の前記第１方向における中心と、の間の前記第１方向における距離は、前記複数の第１列素子の前記１つの前記第１方向における中心と、前記複数の第１列素子の前記他の１つの前記第１方向における中心と、の間の距離の０．８倍以上１．２倍以下である、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記複数の出射素子は、第１他周辺素子及び第２他周辺素子をさらに含み、
前記第１他周辺素子の前記第１方向における位置は、前記複数の第１列素子の前記第１方向における前記位置と、前記第２他周辺素子の前記第１方向における位置と、の間にあり、
前記複数の第１列素子の前記第１方向における前記位置は、前記第１周辺素子の前記第１方向における前記位置と、前記第１他周辺素子の前記第１方向における前記位置と、の間にあり、
前記第２方向において前記第１他周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２方向において前記第２他周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられず、
前記第２他周辺素子の前記第２方向における第２他周辺素子位置は、前記第１他周辺素子の前記第２方向における第１他周辺素子位置と異なり、
前記第１他周辺素子と前記第２他周辺素子との間の第１他周辺素子距離は、前記第１列素子距離よりも長い、請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
前記複数の出射素子は、前記第１方向に沿って並ぶ複数の第２列素子をさらに含み、
前記複数の第２列素子の前記第２方向における第２列素子位置は、前記複数の第１列素子の前記第２方向における第１列素子位置とは異なり、
前記複数の第２列素子の１つの前記第１方向における位置は、前記複数の第１列素子の前記１つの前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記他の１つの前記第１方向における位置と、の間にある、請求項１に記載の検査装置。
【請求項５】
前記第１周辺素子距離は、前記第１列素子距離の１．７倍以上である、請求項１に記載の検査装置。
【請求項６】
超音波を出射可能な複数の出射素子を含む出射部を備え、
前記出射部は、第１面を含み、
前記第１面は、第１領域及び第１周辺領域を含み、
前記複数の出射素子は、
前記第１領域に設けられた複数の第１列素子と、
前記第１周辺領域に設けられた複数の周辺素子と、
を含み、
前記複数の周辺素子は、第１周辺素子及び第２周辺素子を含み、
前記複数の第１列素子は、前記第１面に沿う第１方向に沿って並び、
前記第１周辺領域の第２方向に沿う第１周辺領域長さは、前記第１領域の前記第２方向に沿う第１領域長さよりも長く、
前記第２方向は、前記第１面に沿い、前記第２方向は、前記第１方向に対して垂直である、検査装置。
【請求項７】
複数の受信素子を含む受信部をさらに備え、
前記複数の受信素子の１つは、前記複数の出射素子の１つと対向し、
前記複数の受信素子は、前記複数の出射素子から出射された前記超音波を受信可能である、請求項１または６に記載の検査装置。
【請求項８】
検査対象を支持可能な支持部をさらに備え、
前記支持部は、前記複数の出射素子と前記複数の受信素子との間の空間を搬送方向に沿って前記検査対象を通過させ、
前記搬送方向は、前記複数の出射素子の前記１つから前記複数の受信素子の前記１つへの第３方向と交差する、請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
前記検査対象が前記空間を通過するときに、前記検査対象の一部は、前記第３方向において前記複数の第１列素子と重なる、請求項８に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記検査対象が前記空間を通過するときに、前記検査対象の端部は、前記第３方向において、前記第１周辺素子及び前記第２周辺素子の少なくともいずれかと重なる、請求項９に記載の検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、検査装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば超音波などを用いた検査装置がある。検査精度の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－５７８０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、検査精度を向上できる検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態によれば、検査装置は、超音波を出射可能な複数の出射素子を含む出射部を含む。前記複数の出射素子は、第１方向に沿って並ぶ複数の第１列素子と、第１周辺素子と、第２周辺素子と、を含む。前記第１方向に対して垂直な第２方向において前記第１周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられない。前記第２方向において前記第２周辺素子と重なる他の前記出射素子が設けられない。前記第２周辺素子の前記第２方向における第２周辺素子位置は、前記第１周辺素子の前記第２方向における第１周辺素子位置と異なる。前記第１周辺素子の前記第１方向における位置は、前記第２周辺素子の前記第１方向における位置と、前記複数の第１列素子の前記第１方向における位置と、の間にある。前記第１周辺素子と前記第２周辺素子との間の第１周辺素子距離は、前記複数の第１列素子の１つと、前記複数の第１列素子の他の１つと、の間の第１列素子距離よりも長い。前記複数の第１列素子の前記他の１つは、前記複数の第１列素子の前記１つの隣である。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図２は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図３は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図４は、検査装置の特性を例示するグラフである。
図５は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図６は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図７は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図８は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図９は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図１０は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図２は、第１実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図１及び図２に示すように、実施形態に係る検査装置１１０は、出射部１０を含む。出射部１０は、複数の出射素子１０Ｅを含む。複数の出射素子１０Ｅは、超音波１０ｗを出射可能である。
【０００９】
図２に示すように、検査装置１１０において、受信部５０が設けられる。受信部５０は、複数の受信素子５０Ｅを含んで良い。検査装置１１０において、支持部６０が設けられて良い。
【００１０】
超音波１０ｗは、出射部１０と受信部５０との間の検査対象８０に入射する。検査対象８０を通過した超音波１０ｗが、受信部５０の複数の受信素子５０Ｅに入射する。受信部５０から信号Ｓｄが出力される。信号Ｓｄは、受信部５０に入射した超音波１０ｗに応じている。
（【００１１】以降は省略されています）

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